湖南国联招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2019-11-19在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:项目名称: 株洲中车时代电气股份有限公司全自动膜厚测量仪、自动颗粒测量仪、全自动套刻精度量测设备、注入剂量检测设备及服务采购项目;
招标货物名称:
全自动膜厚测量仪,数量2台;
自动颗粒测量仪,1台;
全自动套刻精度量测设备(Overlay),1台;
注入剂量检测设备,1台;
全自动膜厚测量仪: 该设备采用椭偏加反射方法,能实现全自动测量方式,自动硅片传输处理,自动测量和分析,数据自动map和存储和自动校准等;能够对SiO2膜,多晶硅膜、BPSG、氮化硅、光刻胶膜等单层或多层薄膜进行无损自动测量;能对直径8英寸的硅片进行膜厚及其均匀性测量(Mapping功能);能够对折射率n、消光系数k等薄膜特性参数进行测量和分析。
自动颗粒检测仪主要技术参数:用于200mm硅片表面颗粒自动检测,设备需要能够抓取到0.1μm及以下的缺陷,对于不同的缺陷进行自动分类、统计,并可以显示出缺陷分布图。
全自动套刻精度量测设备(Overlay):用于半导体制造硅片光刻工艺中,前后层图形套刻精度量测的设备,该套刻精度测量设备能够将检测结果分析并反馈给曝光机进行自动校正。
注入剂量检测设备:该设备用于200mm芯片制造离子注入工艺后的监控(包括注入能量、剂量、注入角度的监控),可以满足Pattern Wafer与Monitor wafer测试要求。
本项目所有招标设备不分散中标。
详见招标文件第八章货物需求一览表及技术规格。
交货时间:收到中标通知后6个月内卖方工厂发货;
指定到货地点:株洲中车时代电气股份有限公司指定地点
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:本项目招标前期准备工作已完成,具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:0646-194HNGLI0760
招标项目名称:株洲中车时代电气股份有限公司全自动膜厚测量仪、自动颗粒测量仪、全自动套刻精度量测设备(Overlay)、注入剂量检测设备及服务采购项目
项目实施地点:中国湖南省
招标产品列表(主要设备):
序号 |
产品名称 |
数量 |
简要技术规格 |
备注 |
1 |
全自动膜厚测量仪 |
2台 |
该测量系统用于无损自动测量IGBT和FRD硅片上膜层(多晶,氧化层,Nitride,BPSG,光刻胶等)的膜层厚度、折射率n、消光系数k;详见招标文件第八章货物需求一览表及技术规格。 |
全新或原厂翻新设备 |
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自动颗粒测量仪 |
1台 |
用于200mm硅片表面颗粒自动检测,设备需要能够抓取到0.1μm及以下的缺陷,对于不同的缺陷进行自动分类、统计,并可以显示出缺陷分布图。 |
全新或原厂翻新设备 |
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全自动套刻精度量测设备(Overlay) |
1台 |
用于半导体制造硅片光刻工艺中,前后层图形套刻精度量测的设备,该套 |
全新或原厂 |
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注入剂量检测设备 |
1台 |
该设备用于200mm芯片制造离子注入工艺后的监控(包括注入能量、剂量、注入角度的监控),可以满足Pattern Wafer与Monitor wafer测试要求。 |
全新设备 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:投标人具有所投设备的制造或销售资格,其他详见第八章货物需求一览表及技术规格
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2019-11-19
招标文件领购结束时间:2019-11-26
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点:长沙市蔡锷南路69号天辰?腾达商务楼6楼
招标文件售价:¥400/$60
其他说明:¥400/包 ;非现金购买招标文件,请备注标明本项目的招标编号(有分包的项目还需标明包号)、投标单位名称。
5、投标文件的递交
投标截止时间(开标时间):2019-12-10 10:00
投标文件送达地点:湖南省公共资源交易中心相应开标室(长沙市雨花区万家丽南路二段29号)
开标地点:湖南省公共资源交易中心相应开标室(长沙市雨花区万家丽南路二段29号)
6、投标人在投标前应在必联网(
http://www.ebnew.com)或机电产品招标投标电子交易平台(
http://)完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。
7、联系方式***
招标人:株洲中车时代电气股份有限公司
地址:***
联系人***
联系方式***
招标代理机构:湖南国联招标有限公司
地址:***
联系人***
[email protected]
联系方式***
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):招商银行长沙分行营业部
招标代理机构开户银行(美元):中国工商银行长沙汇通支行 SWIFT CODE:ICBKCNBJHUN
账号(人民币):696581515310001
账号(美元):1901024009114019635
9、其他补充说明
其他补充说明:1、投标人应当于招标文件载明的投标截止时间前在投标前应在必联网(http://www.ebnew.com)或机电产品招标投标电子交易平台(http://)完成注册信息核验及账户开通,请自行致电网站进行确认是否成功注册(账户开通),以确保投标人的投标数据能够按时上传,并用于开标、评标相关工作。否则,投标人将不能进入招标程序,由此产生的后果由其自行承担。必联网(http://www.ebnew.com)作为电子交易平台提供相关服务,详情请链接:http://www.ebnew.com/info/625042633.html 以及:http://www.ebnew.com/service/yuezhao/core_suppliers/service_list.html。
2、招标代理机构开户银行账户仅用于购买招标文件,不作为投标保证金账户使用;本项目要求投标人将投标保证金汇入以下账户:
投标保证金递交账户:
户名:湖南省公共资源交易中心
开户行:长沙银行湘府路支行
账号:607012987