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项目详情
先进化合物半导体光电子平台**项目***机械电子********项目名称：先进化合物半导体光电子平台**项目项目概况：先进化合物半导体光电子平台**项目，建设地点位于**高新区科技城漓江路东、**山**，建设性质：扩建，总投资******万元，其中环保投资****万元，环保投资占总投资比例*.*%，施工工期*个月，用地面积约*****.*平方米，建筑面积约为*****平方米，形成年产*亿颗芯片、***万器件的能力。本期项目组成一览表类别 工程名称 本期项目建设内容 备注主体工程 科研楼 建筑面积 ****.*m* 位于厂区西侧，共 * 楼主体工程 **站 建筑面积 ****.**m* 位于厂区东侧，共 * 楼主体工程?生产车间 位于**厂区中心位 置，共 * 层（含负一 层），总建筑面积 *****.**m*?负一楼西侧为地下停车位，东侧为废水 站（收集池）和纯水站房，建筑面积 *****.**m*?一楼东侧、西侧均为芯片生产车间，东 侧建筑面积 ****.**m*，西侧建筑面积 为 ****.**m*，两车间一用一备?二楼西侧为芯片封装车间，建筑面积 ****.***m*，东侧为三楼芯片生产车间 下技术夹层?三楼西侧为芯片封装车间，建筑面积 ****.*m*，东侧为芯片生产车间，建筑 面积 ****.**m*?四楼西侧为芯片封装车间，建筑面积 ****.*m*，东侧为三楼芯片生产车间上 技术夹层?公用工程?原料材料准备间 建筑面积 ***.**m* 位于 B* 生产厂房一楼，主要储存热沉、 焊料、金属、光学部件、镀膜材料?化学品中间仓库 （有机 *） 建筑面积为 **.*m* 位于 B* 化学品中间仓库，主要用于暂 存甲醇、乙醇、丙酮、异丙酮?化学品中间仓库 （有机 *） 建筑面积为 **.*m* 位于 B* 化学品中间仓库，主要用于暂 存甲醇、乙醇、丙酮、异丙酮?化学品供液间 *(酸) 建筑面积 **.**m* 位于 B* 化学品中间仓库，用于存放盐 酸、氢溴酸、磷酸?化学品供液间 *(碱) 建筑面积 **.**m* 位于 B* 化学品中间仓库，用于存放氢 氧化铵、氢氧化钠?化学品暂存间 *(酸) 建筑面积 **.**m* 位于 B* 生产厂房一楼，主要储存酸溶 液、**h 用量，针对一楼西侧芯片生产车间供酸?化学品暂存间 *(碱) 建筑面积 **.**m* 位于 B* 生产厂房一楼，主要储存碱溶 液、**h 用量，针对一楼西侧芯片生产 车间供碱?化学品暂存间 *(酸) 建筑面积 **.**m* 位于 B* 生产厂房一楼，主要储存酸溶 液、**h 用量，针对一楼东侧芯片生产 车间供碱?化学品暂存间 *(碱) 建筑面积 **.**m* 位于 B* 生产厂房一楼，主要储存碱溶 液、**h 用量，针对一楼东侧芯片生产 车间供碱?惰性气体间 建筑面积 **.**m* 位于 B* 生产厂房一楼，用于贮存惰性 气体?氢气纯化间 建筑面积 **.*m* 位于 B* 生产厂房 * 楼，主要放置氢气 纯化器，在线使用?氮气纯化间 建筑面积 **.**m* 位于 B* 生产厂房 * 楼，主要放置氮气 纯化器，在线使用?特殊气体存放间 * 建筑面积 **.**m* 位于 B* 生产厂房一楼，主要存放特气 柜，针对一楼东侧芯片生产车间在线使 用?特殊气体存放间 * 建筑面积 **.**m* 位于 B* 生产厂房一楼，主要存放特气 柜，针对一楼西侧芯片生产车间在线使 用?氢气站 依托一期项目已建成 氢气站，面积 ***m*， 用于存放氢气鱼雷 车，在线使用 本项目不增设，依托一期项目?成品仓库 * 建筑面积 ***.**m* 位于 B* 生产厂房 * 楼 成品仓库 * 建筑面积 ***.**m* 位于 B* 生产厂房 * 楼?危废暂存间 * 建筑面积 **.**m* 位于 B* 化学品中间仓库，用于存放本 期项目危险废物?危废暂存间 * 建筑面积 **.**m* 位于 B* 化学品中间仓库。用于存放本 期项目危险废物?一般固废暂存间 依托一期已建成一般 固废暂存区，面积 *** m* 本期项目不新增，依托一期项目?公用工程?给水 新鲜用水约 ******.****t/a 由新区自来水厂提供?排水 回用生产废水 *****.***t/a、纯水制 备浓水 ****.****t/a， 循环冷却水 ******t/a，外排生产 废水 ****.***t/a、生 活污水 ****t/a 含砷废水、含氮磷废水、含氟废水、有 机废水分质进行预处理后进入新增的 生产废水回用系统不外排，一般酸碱废 水预处理后和生活污水一同接管科技 城水质净化厂?纯水制备 * 套 **t/h 采用 RO 工艺?供电 年用电 **** 万度 由新区电网提供新增加一路 **KV 供电空压系统 水冷无油螺杆空压机 ** Q=**.*m* /min P=*.**MPa，***kW?水冷冷冻式干燥机** Q=**m* /min P=*.*MPa?微热吸附式干燥机** Q=**m* /min P=*.*MPa?空气净化系统 新增 ** 套空气净化 系统 主要包括 ** 套新风空调机组和 ** 套循 环机组?制冷系统?低温磁悬浮变频冷水 机** 额定制冷量：***RT，*/**℃?低温螺杆式冷水机** 额定制冷量：***RT，*/**℃?低/中温双工况离心 式冷水机** 额定制冷量：****RT，*/**℃**/**℃?循环冷却系统 新增 * 套冷却循环水 泵 循环能力为 ****m* /h?废 气 治 理 有机废气处理 有机废气处理系统由 * 套二级活性炭吸附装置处理构成，设计 风量为 *****m* /h，尾气由 B* 生产楼顶 **mP*、P* 排气筒达 标排放（以车间布局东西两侧各两套（一用一备）两个排气筒）?氧化尾气处理 设备密闭收集后，经自带过滤器+燃烧器＋自带水喷淋装置处 理后，尾气进入酸性废气处理系统，尾气由 B* 生产楼顶 **m 高 P*、P* 排气筒达标排放（以车间布局东西两侧各两套（共 四套，两用两备两个排气筒）?酸性废气处理 酸性废气处理系统由 * 套碱液喷淋塔构成，设计风量 *****m* /h，主要处理酸洗、刻蚀等工段酸性废气以及预处理 后的氧化尾气，尾气由 B* 生产楼顶 **m P*、P* 排气筒排放 （以车间布局东西两侧各两套（共四套，两用两备）两个排气 筒）?废 水 处 理 一般酸碱废水 处理系统 新增 * 套酸碱废水处 理装置，处理能力为 ***t/d 中和处理后，达标排放至科技城水质净 化厂?含砷、含氟、含氮磷、有机、研磨、 抛光废水 分质由各预处理设施处理后经过滤 +EDR+三效蒸发器蒸发，蒸馏水经 RO 系统处理后，回用于产线，不外排?公辅废水 制纯浓水、冷却排水和生活污水与处理 后的一般酸碱废水，一起通过*政管网 排入科技城水质净化厂，最终汇入浒光 **?生活污水 通过*政管网排入排入科技城水质净 化厂，最终汇入浒光**?降噪措施 合理布局，采用低噪声设备，隔声减振， 距离衰减?固废处理 扩建前危废仓储区面积 **m*，一般固废 暂存区面积 *** m*，扩建后新增危废仓 库 ***.**m*，一般固废暂存区依托一期 项目已建暂存间，不新增。危险废物委 托资质单位进行处理，固废实现零排放?风险防范措施 消防尾水池（事故应急水池）***m*， 本期项目依托原有一期项目已建事故池?雨污水排口 本项目**厂房建成后，将新增雨污水 排口，排水方案已通过***高新区 （***）供水管理所审批。全厂主要经济技术指标一览表?原有一期项目 本期项目（**厂房）?用地性质 工业（研发） 工业?总用地面积 （m*） *****.** *****.*?总建筑面积 （m*） *****.** *****.**?其 中 计容建 筑面积 （m*） *****. ** *#中试楼 *****.* * *****. ** 科研楼 ****.**?*#生产楼 *****.* * 生产厂房 *****.**?*#附属用房 ****.** **楼 ****.**?*#化学品中间仓库 ****.** 开闭所 ****#化学品中间仓库 （氢气卸车站+化 学品中间仓库） ***.** 地下车库 --?传达室 *、* **.** 化学品中间 仓库 ***.** 连廊 ***.** / /?不计容 建筑面 积（m*） ****.* * 地上（m*） / *****. ** 地上（m*） /?架空（m*） / 架空（m*） / （半）地下（m*） ****.**?（半）地下 （m*） *****.**?建筑占地面 积（m*） ****.** ****建筑密度 （%） **.** **.**?容积率 *.* *.***?绿地率（%） **.** *.**?最大建筑高 度（m） **.* **.*全厂项目方案?工程名称 （车间、生产 装置或生产 线） 产品名称 年设计能 力 上下游关系 年运 行时 数?原有一 期项目?*#生产车间 芯片 * 亿件 **%芯片外售，*%进入 光电器材 ****h?光电器材 *** 万件 **%光电器件外售， **%进入光电模块?光学模块 * 万件 **%光电模块外售。 **%进入光电系统?光电系统 **** 台 全部外售?本期项 目?平台车间 *~* 寸/*~* 寸芯片 生产线 芯片（含研 发）* * 亿颗 **%用于研发，**%外 销，**%进入光电器材 器件 ****h?平台车间 *~* 寸/*~* 寸器件 封测生产线* 光电器件 （含研发） *** 万件 **%光电器件外售， **%研发主要生产单元、主要工艺、主要生产设施及设施参数?类别 工段 设备名称 规格型号 数量 来源 备注?本期平台 项目生产 /研发设 备*?光刻、 湿法 刻蚀 光刻机 Cannon MPA-*** * 台 国内 位于** 厂房 B* 生 产楼 * 楼 及 * 楼东 侧车间光刻机 Nikon i** * 台 国内全息光刻 / * 台 国内电子束光刻 / * 台 国内Track 匀胶显影 多样 * 台 国内酸碱清洗台 / * 套 国内有机清洗台 / * 套 国内湿法刻蚀台 / * 套 国内甩干机 Spin Rinse Dryer * 台 国内烘干炉（烘干温度小于 ***℃）/ * 台 国内等离子清洗机 多样 * 台 国内各式测试仪 多样 ** 台 国内氧化、干刻化学气相沉积 PECVD * 台 国内原子力沉积 ALD * 台 国内活性离子干刻 蚀机 ICP-RIE、 RIE * 台 国内水平炉管、垂 直炉管 / * 台 国内?各式测试仪 多样 * 台 国内?金属化 磁控溅射镀膜 机 / * 台 国内电子枪蒸镀机 / * 台 国内 快速热退火仪 （温度大于 ***℃） / * 台 国内?各式测试仪 多样 * 台 国内 研磨、 抛光、 清洗 研磨机 自动 * 台 国内?抛光机 自动 * 台 国内 上蜡机 / * 台 国内 酸碱清洗台 / * 套 国内 有机清洗台 / * 套 国内 切割机 / * 台 国内 烘烤炉（温度 小于 ***℃） / * 台 国内 解理镀膜 镀膜机（金属 膜） Evaporator Metal * 台 国内 激光划裂设备 表切/隐切 * 台 国内 镀膜机（光学 膜） Evaporator * 台 国内 解理机 Cleaver * 台 国内 划片机/解理机 /工作台 / ** 套 国内自动排巴设备 / * 台 国内 各式测试仪 多样 ** 台 国内 制冷/加热机 / * 套 国内 氮气柜 / * 套 国内 芯片工艺机 / ** 套 国内 管纯化 Pd-*/* * 套 国内 工作台、氮气 柜、气体管路 分支箱（VMB） 各样 ** 套 国内 封装 贴片机 Die Bonder ** 台 国内 位于** 厂房 B* 生 产楼 *、*、 *楼西侧生 产车间?焊线机 Wire Bonder ** 台 国内 回流焊炉 / ** 台 国内 手套箱 / * 台 国内 干燥箱 / * 台 国内 各式测试仪 多样 ** 台 国内 测试 测试台 ／ ** 套 国内 冷水机 / ** 套 国内 老化 老化台 ／ *** 套 国内 冷水机 / ** 套 国内环评机构：***宏宇环境科技股份有限公司地址：**高新区**路***号*幢*楼联系人：宋工联系电话：********景观绿化工程 电气安装工程 通风工程 停车场工程 围墙工程 门窗工程 环氧地坪 标识标牌 智能化工程 土石方 消防工程 场地平整 幕墙工程 给排水工程 安防工程 机电安装工程 供配电工程 土建工程 室外景观 防水工程 室外配套工程 防雷工程 楼宇亮化 桩基础 强弱电工程 基坑支护钻床 上板机 贴片机 干燥机 环保设备 除尘设备 输送设备 冲床 输送设备 抛丸机 检测设备 喷码机 挤出机监理服务 方案编制服务 环境影响报告编制服务 地质勘察服务 招标代理服务 安全评估服务 技术咨询服务 审计服务 工程设计服务防水材料 防腐材料 保温材料 地板 瓷砖 混凝土 水泥 钢筋 劳保用品 安全帽 防护帽 防护服 劳保服 劳保鞋 绝缘鞋 劳保手套 工作服业主单位**长光华芯半导体激光创新研究院有限公司*************高新区科技城漓江路东、**山**项目负责人顾志刚办公室职员***********,***********
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施工准备 土地整理 三通一平
