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磁控溅射系统采购结果公告
发布日期:2024年05月16日 | 标签:
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公告摘要

    受业主*******委托,招标网于2024年05月16日发布中标公告:磁控溅射系统采购结果公告。
    请中标单位及时与业主相关负责人联系,及时签署相关商务合同;未中标供应商也可及时向业主提出相关质疑。于此项目有关的其他供应商也可与中标商*******联系,及时提供后续设备与服务。

    部分信息内容如下:(查看详细信息请登录
中标信息 中标供应商: **致真智能装备有限公司 选择理由: 总价最低,推荐成交 质疑投诉说明: 如有质疑,请在三个工作日内将质疑说明文件递交至学校采购管理部门,逾期不予受理。 项目名称 磁控溅射系统采购 项目编号 SXNUJJCG****-*** 项目编号 SXNUJJCG****-*** 公告发布日期 ****/**/** **:** 公告截止日期 ****/**/** **:** 公告截止日期 ****/**/** **:** 采购单位 **师范大学 联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系手机 中标后在我参与的项目中查看 联系手机 中标后在我参与的项目中查看 是否本地化服务 否 是否需要踏勘 否 是否需要踏勘 否 踏勘联系人 踏勘联系电话 踏勘联系电话 踏勘地点 踏勘联系时间 踏勘联系时间 采购预算 ¥**,***.** 成交金额 ¥**,***.** 成交金额 ¥**,***.** 送货/施工/服务期限 *-*月 送货/施工/服务地址 **省******太榆路***号**师范大学北区*号教学楼C*** 售后服务 (*) 要求用户可以随时通过电话、电子邮件等方式与厂家维修人员联系。 (*) 在收到用户技术服务的通知后,要求厂家在*个小时内作出响应,*小时内提供解决方案。 (*) 如果通过电话、传真、电子邮件等手段不能解决问题,确认有必要派遣工程师到达用户现场的情况下,厂家需在*个工作日内派遣工程师到达用户现场。 付款条款 交货并验收合格后***%付款 其他说明 采购清单 * 采购内容 数量单位 分项报价 磁控溅射系统 *(套) ¥**,***.** 是否进口 否 品牌及型号 不限定品牌型号/ 技术参数要求 *、真空极限:优于*.*×**-* mbar(烘烤后) *、基片:基片台有负偏压装置,可加 -*** V的负偏压,可实现对样品的刻蚀,改善样品的致密性等参数 *、溅射靶:*个* inch圆形阴极,强磁场* 个,普磁场* 个,可开展Pt、Ta、SiO*、NiFe镀膜生长 *、气路系统:配置一路氩气质量流量计进气,实现溅射气压的调节 *、工作模式:向上溅射(基片台再腔室顶部,靶在腔室底部) *、膜厚均匀性:溅射区域达* inch,保证**mm×**mm区域均匀性*% *、报警及保护:对靶、泵、电机缺水、过流过压、断路等异常情况进行监控报警并执行相应保护措施

为保证您能够顺利投标,请在投标或购买招标文件前向招标代理机构或招标人咨询投标详细要求,有关招标的具体要求及情况以招标代理机构或招标人的解释为准。

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