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原子层沉积设备成交结果公告
发布日期:2024年05月24日 | 标签:
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公告摘要

    受业主*******委托,招标网于2024年05月24日发布中标公告:原子层沉积设备成交结果公告。
    请中标单位及时与业主相关负责人联系,及时签署相关商务合同;未中标供应商也可及时向业主提出相关质疑。于此项目有关的其他供应商也可与中标商*******联系,及时提供后续设备与服务。

    部分信息内容如下:(查看详细信息请登录
【分散采购备案单】原子层沉积设备 项目编号:BH************ 项目类型:货物 采购方式:竞价 项目概况 项目名称: 原子层沉积设备 项目编号: BH************ 开始时间: ****-**-** **:** 结束时间: ****-**-** **:** 供应商资格要求: 参照《中华人民**国政府采购法》第二十二条规定的资格条件。 预算金额(元) ****** 联系电话: *********** 成交供应商信息 **鑫晟盛科技有限公司 ****** 符合需求,价格最低 采购货物名单信息 序号 货物名称 数量 计量单位 预算单价(元) 原子层沉积设备 * 台 ****** * 技术参数 *. 腔室:外热式水平流单腔腔室; *. 样品台配有可拆卸片托,可放下最大 * 英寸晶圆; *. 反应温度:最高 ***℃,温度控制精度±*℃ *. * 路标准加热液态前驱体源,配置 swagelok 高温快速 ALD阀 (响应时间<**ms)、手动阀、**ml 不锈钢源瓶,源瓶及管路加热 温度 RT-***℃,控制精度±*℃; *. * 路常温源,配置 swagelok 快速 ALD 阀(响应时间<**ms)、 手动阀、**ml 不锈钢源瓶; *. 含两路载气系统,全套 swagelok 管路+VCR 密封,前驱体源管路 具有在线清洗功能 *. 高性能真空系统,整机极限真空<*×**-*Torr,真空漏率< *×**-* Pa·L/S *. 配置机械泵,额定抽速≥**m*/h *. 真空泵前级配置热阱,加热温度最高 ***℃,控制精度±*℃,用 于吸附、分解未反应的前驱体源; **. 进口压力传感器(真空计),真空计前设有保护真空计的高效过 滤网以及气动隔膜阀; **. 高精度 PLC+工控机沉积自动控制系统,满足高精度 ALD沉积需 求 **. 可视化的操作界面,实时显示系统各部分运行状态,可方便的调 节温度、流量、脉冲时间等参数,编辑并保存配方参数; **. 多用户权限分配,软硬件互锁,异常报警、紧急停机等功能确保 安全性; **. 沉积模式:连续模式、停流模式; **. 人机界面:外挂式触摸屏,可自由选择悬停位置 **. 在 *英寸硅片上以厂家提供的工艺配方沉积 *** 循环氧化锡, 以晶圆上至少 * 个均匀分散点进行膜厚测试,膜厚非均匀性≤±*%

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