深圳技术大学离子注入机意向公开
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公告摘要
各有关单位请尽快与采购业主相关联系人联系，及时参与投标等相关工作，以免错失商业机会。
部分信息内容如下：（查看详细信息请登录）
*.适用尺寸：*、*、*、*英寸晶圆以及不规则碎片；
*.注入能量：低能量注入：* ~**keV，波动±*%;高能量注入：** ~***keV，波动≤±*.*keV、***keV ~***keV，波动≤±*.*%；
*.注入温度：常温至***℃可调，加热台采用水冷或气冷方式降温；
*.注入角度：注入角可*°或*°，样品旋转角度*°至**°可调；
*.注入剂量精准度≤*.*%；
*.离子注入剂量范围：*×**** at/cm* ~*×**** at/cm*；
*.离子加速系统的加速电源，输出*~***KeV，加速管内配有永磁体被，系统配减速的电源装置；
*.离子源真空系统采用分子泵和干式机械泵两级真空泵组，真空度≤*.****-* Pa；离子束汇聚系统真空度≤*.****-* Pa；注入腔体真空度≤*.****-* Pa；
*.离子提取系统的离子提取电压：*~**kV, 配备变压器；离子提取电极加速器电压≤-*.*KV；
**.离子质量分析系统质量范围为*~**amu（原子质量）（当离子提取能量为**keV时），系统配备质谱分析功能：**°偏转的电磁铁分析仪，输出电流**~**A；联系人:吴国才联系电话:****-********预计采购时间:****-**备注:无本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
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