双轴精密运动台系统

发布日期：2024年03月29日 | 标签：

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公告摘要

    ***********招标公司受业主*******委托，于2024年03月29日在招标网发布双轴精密运动台系统。
    各有关单位请与公告中联系人联系，及时参与投标等相关工作，以免错失商业机会。

    部分信息内容如下：（查看详细信息请登录）

项目名称双轴精密运动台系统项目编号 XJD************* 公告开始日期 ****-**-** **:**:** 公告截止日期 ****-**-** **:**:** 采购单位 **交通大学付款方式货到安装、调试、验收合格后，付全款。签约时间要求发布竞价结果后*天内签订合同到货时间要求发布竞价结果后**天内送达预算总价 ***** 币种人民币收货地址 **省********** 供应商资质要求无采购清单 * 采购商品采购数量计量单位附件双轴精密运动台系统 *.** 无品牌不限型号不限预算单价 ***** 规格参数一、机械部分 *.运动模组数据 *.*.XY精密位移台 *.*.*交叉滚珠直线模组：V型滚珠防蠕动结构； *.*.*有效行程：***mm****mm； *.*.*速度：≥*** mm/s； *.*.*加速度：≥*.*g； *.*.*重复定位精度：≤ *μm； *.*.*XX方向直线度：≤ *μm； *.*.*YY方向直线度：≤ *μm； *.*.*分辨率：*.*nm； *.*.*正交性：< * arcsec； *.*.**限位信号：正常可触发； *.*.**外观：黑色。 *.*.辅助平移机构 *.*.*有效行程：*** mm； *.*.*速度：≤** mm/s； *.*.*重复定位精度：≤ *μm； *.*.*分辨率：*.*μm； *.晶圆载台模块： *.*.适配类型：晶圆片/Si片/SiC片； *.*.适用尺寸：*英寸、*英寸、*英寸、**英寸晶圆硅片； *.*.支撑方式：真空吸附（配吸笔）； *.*.二维俯仰角位调节：±**°； *.*.材质：铝/阳极涂层，黑漆，密孔陶瓷； *.*.其他：超静音真空发生器。 *.其他标准模块： *.*.减震机构 *.*.*减震方式：地脚隔振垫*个，空气隔振*个； *.*.*材质：钢制**架及光路保护罩； *.*.*整体结构：整机外壳，带亚克力板的双开门结构。 *.*.除尘净化机构：FFU空气过滤系统 *.*.*噪音值：**-**dba *.*.*效率：**.**%@*.*um *.*.*风速：*.**m/s *.*.机架及钣金：机架方管焊接，钣金烤漆RAL****； *.*.供气模组：可移动小型空压机。二、电气部分 *.*.运动控制卡：满足*轴总线控制； *.*.运动模组：*轴运动模组，总线式驱动器； *.*.IPC：支持串口、RJ**、I* **G GPU *T 内存，工业电脑； *.*.IO：独立的I/O控制模块，系统实现自定义； *.*.报警：三色报警，设备状态提示； *.*.显示器：**：*高分比显示器； *.*.配电：工控配电盘，含滤波及不同电压供电需要。三、软件部分 *.*.运动控制模块：设定运动轨迹； *.*.配置设置模块：自定义参数生成配方； *.*.前段显示模块：满足现场测试使用的前界面； *.*.权限设置模块：管理员、操作者； *.*.统计模块：运行状态汇总； *.*.日志及查询模块：日志及log查询。售后服务 *.在设备安装完成后，提供不少于*个工作日的培训，提供*年保修和技术支持。设备验收完毕后乙方负责保修十二个月，期间由自然损耗造成所需维修产生的零配件、上门检测及人工费用由乙方负责。十二个月质保期之后，由乙方协助甲方维护设备。 *. 提供*年不少于*次免费软件升级与维护。报价地址：https://www.ejingcai.com.cn/site

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