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天津中环领先材料技术有限公司节能型功率器件用半导体单晶硅片项目环境影响评价拟审批公示
发布日期:2023年07月28日 | 标签:
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项目详情

*、****高新技术产业开发区政务服务办公室按照《中华人民**国环境影响评价法》《中华人民**国行政许可法》《中华人民**国政府信息公开条例》以及相关法规、规章和规定的要求,公示建设项目环境影响评价拟审批信息。
*、公示时限:*个工作日。
*、公示期间,公众(包括个人、团体等)可以通过邮件或信函(以邮戳为准)方式提出意见。
邮箱:***********
信函请寄至****高新技术产业开发区华苑科技园开华道**号,****高新区政务服务办公室收(邮编:******)。请在信封上注明:**中环领先材料技术有限公司节能型功率器件用半导体单晶硅片项目的意见。
*、听证权利告知:依据《中华人民**国行政许可法》,自公示起五日内申请人、利害关系人可提出听证申请。
*、相关资料由行政许可申请人提供、并以其所提交的形式进行公开。上述资料和信息中如有错漏,使用上述信息和资料作为依据者自行承担责任。
项目名称
**中环领先材料技术有限公司节能型功率器件用半导体单晶硅片项目
建设地点
****高新区华苑科技园(环外)海泰东路**号
建设单位
**中环领先材料技术有限公司
环境影响评价机构
众信汇达(**)环保科技有限公司
项目概况
**中环领先材料技术有限公司位于****高新区华苑科技园(环外),现有两个厂区分别位于海泰东路**号(以下简称“老厂区”)和海泰东路**号(以下简称“新厂区”)。该公司拟投资******万元,建设节能型功率器件用半导体单晶硅片项目,该项目利用新厂区“**中环领先半导体硅片项目(一期)工程”建设的厂房及配套建构筑物,购置安装线切机、清洗机、喷砂机等生产及配套设备;同时在老厂区内建设辅助制氢设施;该项目占地面积*****平方米,其中新厂区*****平方米、老厂区****平方米,建筑面积*****.**平方米。项目建成后具备月产**万片半导体硅片的生产能力。该项目环保投资****万元,主要用于施工期污染防治措施、运营期废气治理措施、废水处理措施、噪声防治措施、固体废物暂存措施及排污口规范化等。
主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施
根据该项目环境影响报告书分析结论:
(一)粘棒工序和抛光蜡使用工序在密闭车间进行,产生的废气经密闭负压收集后,引至*套二级活性炭净化设施处理后,通过*根**米高排气筒P*排放;
酸腐工序产生的废气经设备密闭收集后,引至三级洗涤塔进行净化后,通过*根**米高排气筒P*排放;
喷砂后清洗、背封前清洗、背封炉轨道清洗、去边、抛光后清洗、最终清洗工序、外延后清洗工序产生的废气经设备封闭收集;配液间内产生的废气经送排风系统收集;外延工序产生的废气经设备密闭收集,通过设备配套的“三级水洗+燃烧系统+一级水洗”预处理;上述经收集、预处理的废气一并通过碱洗塔进行净化处理后,通过*根**米高排气筒P*排放;
背封工序产生的废气经封闭收集后,引至硅烷燃烧塔(氧气助燃)+洗涤塔处理设施净化处理后,通过*根**米高排气筒P*排放;
辅助制氢系统转化炉配有低氮燃烧器,产生的废气经收集后,分别经*根**米高排气筒P*、P*排放;燃气热水锅炉配有低氮燃烧器,产生的废气经收集后,通过*根**米高排气筒P*排放。
排气筒P*排放的TRVOC、非甲烷总烃排放浓度及排放速率须满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》(DB**/***-****)相应限值要求,丁酮排放速率及臭气浓度须满足《恶臭污染物排放标准》(DB**/***-****)相应限值要求;排气筒P*排放的氟化物、氮氧化物排放浓度及排放速率须满足《大气污染物综合排放标准》(GB*****-****)相应限值要求,TRVOC、非甲烷总烃排放浓度及排放速率须满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》(DB**/***-****)相应限值要求,臭气浓度须满足《恶臭污染物排放标准》(DB**/***-****)相应限值要求;排气筒P*排放的氟化物、氯化氢排放浓度及排放速率须满足《大气污染物综合排放标准》(GB*****-****)相应限值要求,氨排放速率及臭气浓度须满足《恶臭污染物排放标准》(DB**/***-****)相应限值要求;排气筒P*排放的颗粒物排放浓度及排放速率须满足《大气污染物综合排放标准》(GB*****-****)相应限值要求;排气筒P*、P*排放的颗粒物、二氧化硫、氮氧化物的排放浓度须满足《石油化学工业污染物排放标准》(GB*****-****)相应限值要求;排气筒P*排放的颗粒物、二氧化硫、氮氧化物、一氧化碳排放浓度和烟气黑度须满足《锅炉大气污染物排放标准》(DB**/***-****)相应限值要求。
(二)项目产生的回用水经收集后作为纯水制备系统原水使用,不外排。生产废水、外延废气净化废水、喷淋塔废水经废水收集池按水质分类,依托位于老厂区的提升改造后TCL中环新能源科技股份有限公司污水处理站处理后,通过老厂区总排口DW***排入*政污水管网,最终进入**路污水处理厂集中处理;循环冷却系统排水、纯水制备排污水与经化粪池沉淀后的生活污水一同经新厂区总排口DW***排入*政污水管网,最终进入**路污水处理厂集中处理。DW***排放的水质中BOD*浓度须满足《污水综合排放标准》(DB**/***-****)三级排放限值要求;DW***、DW***排放的水质中PH、COD、SS、氨氮、总氮、总磷、氟化物、LAS、石油类、TOC浓度须满足《电子工业水污染物排放标准》(GB*****-****)排放限值要求。
(三)生产设备、风机、冷却塔等设备为主要噪声源,应优先选用低噪声设备,经隔声减振等措施,确保厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB*****-****)*类标准限值要求。
(四)固体废物分类收集。废胶、混酸废酸液、氢氟酸废酸液、含抛光蜡废液、废加氢催化剂、废脱硫剂、废转化催化剂、废变换催化剂、废PSA吸附剂、废过滤棉、废活性炭、废润滑油、废油桶、含油抹布、废化学品包装物属于危险废物,交由有资质单位统一处置;废晶棒、废硅片及辅助材料、废弃包装材料属于一般固体废物,交由物资回收部门回收处理;生活垃圾袋装收集,交由城*管理部门定期清运。确保处置去向合理,避免产生二次污染。
(五)加强对危险物料的管理,制定应急预案,落实各项事故防范、减缓措施,有效避免事故发生。
公众参与情况
****年*月**日至****年*月**日受理公示期间未收到公众意见
公示时间
****年*月**日至****年*月*日
****年*月**日
来源: **高新区

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