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磷化铟晶圆片生产基地项目
发布日期:2024年05月19日 | 标签:
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项目详情

项目代码 ****-******-**-**-****** 项目名称 磷化铟晶圆片生产基地项目 项目类型 备案类 项目法人单位 ***华讯智能制造有限公司 总投资额 ******.****万元 产业结构指导目录 建设规模及内容 华讯方舟集团旗下磷化铟项目始于 **** 年,项目致力 于磷化铟单晶生长研发和磷化铟单晶基片加工,是我国首家磷化铟单晶生长企业。团队由海外顶级半导体专家及工程师组成。经过十多年的无数次试验、攻关克难,成功开发出 VGF生长法生产磷化铟单晶片(EPD≤**** cm*)的整套工艺和生产设备,从此实现高品质低位错磷化铟单晶片的全部国产化。**** 年“基于 B-VGF 法高品质磷化铟单晶衬底制备技术” 研发及产业化项目经中国信息产业部、中国电子学会磷化铟组及中国科学院半导体研究所等权威机构检测,参数均优于国际商用水平,填补了该项材料在国内的技术空白。磷化铟单晶片在卫星通信、*G、人工智能、互联网经济时代,有着广阔的发展前景和应用*场。公司自主设计、制造安装整套磷化铟单晶生长设备实现国产化,同时还拥有低成本,高质量的 VB-VGF 晶体生长工艺和技术以及先进的晶片加工技术和芯片表面洁净清洗技术。 项目用地规模***-***亩;项目总体需采购高压长晶炉***套,**台晶片切片机,**台研磨机、**台抛光机、**台清洗机,实现大尺寸晶片生产技术突破,达到世界先进水平。 项目第一阶段:完成项目立项及总体规划;完成磷化铟*-*英寸单晶片生产线、晶片切片、研磨、抛光、清洗生产线的建设;启动*英寸VGF法高品质磷化铟单晶片关键技术的研发。 项目第二阶段:建设***台高压长晶炉和*条切磨片产线,扩充磷化铟单晶片产能;启动外延片、磷化铟多晶合成关键技术的研发。 研发及产业化项目经中国信息产业部、中国电子学会磷化铟组及中国科学院半导体研究所等权威机构检测,参数均优于国际商用水平,填补了该项材料在国内的技术空白。磷化铟单晶片在卫星通信、*G、人工智能、互联网经济时代,有着广阔的发展前景和应用*场。公司自主设计、制造安装整套磷化铟单晶生长设备实现国产化,同时还拥有低成本,高质量的 VB-VGF 晶体生长工艺和技术以及先进的晶片加工技术和芯片表面洁净清洗技术。 项目用地规模***-***亩;项目总体需采购高压长晶炉***套,**台晶片切片机,**台研磨机、**台抛光机、**台清洗机,实现大尺寸晶片生产技术突破,达到世界先进水平。 项目第一阶段:完成项目立项及总体规划;完成磷化铟*-*英寸单晶片生产线、晶片切片、研磨、抛光、清洗生产线的建设;启动*英寸VGF法高品质磷化铟单晶片关键技术的研发。 项目第二阶段:建设***台高压长晶炉和*条切磨片产线,扩充磷化铟单晶片产能;启动外延片、磷化铟多晶合成关键技术的研发。 项目第三阶段:完成*寸单晶片产线建设;完成外延片产线建设。 审批部门 审批事项 审批状态 办理时间 批复文号 ***发展和改革局 权限内企业、事业单位、社会团体等投资建设的固定资产投资项目备案 批复办结 ****-**-** -

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