合肥皖芯集成电路有限公司新增射线装置
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项目详情
（平方米） ** 建设单位 **皖芯集成电路有限公司 法定代表人 王兴亚 联系人 李美月 项目投资(万元) ***** 环保投资(万元) ** 拟投入生产运营日期 ****-**-** 建设性质 ** 备案依据 该项目属于《建设项目环境影响评价分类管理名录》中应当填报环境影响登记表的建设项目，属于第*** 核技术利用建设项目项中销售Ⅰ类、Ⅱ类、Ⅲ类、Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；使用Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；医疗机构使用植入治疗用放射性粒子源的；销售非密封放射性物质的；销售Ⅱ类射线装置的；生产、销售、使用Ⅲ类射线装置的。 建设内容及规模 一、建设内容： 我司于制程使用射线装置，共有X射线衍射仪及离子植入机两种，X射线衍射仪针对控片进行硼磷浓度及金属膜厚量测，X-ray对晶格产生绕射现象，精确测定物质的晶体结构，织构及应力，精确的进行物相分析；离子植入机用高能电子束轰击金属靶产生射线，将带有一定能量的离子注入到硅片去达到掺杂的目的，在硅片上形成所需要的组件电子特性。 二、建设规模： *.我司目前已有*台X射线衍射仪及**台离子植入机，均已于****.**.**日取得辐射安全许可证（皖环辐证（A****）），另有*台离子植入机已于****年*月**日完成环境影响评价登记表，辐射安全许可证正在办理中。 *.近期因生产需要，将新增台*台X射线衍射仪（最大管电压*.*kV、最大管电流***mA）。 *.射线装置具体使用位置：*台X射线衍射仪使用地点位于*F洁净室生产车间内。 主要环境影响 采取的环保措施及排放去向 辐射环境影响 环保措施:
环保措施:*.机台年度监测按照规定办理，于厂内定期实施辐射作业人员个人剂量监测和工作场所辐射剂量监测。*.我司已建立辐射安全管理及防护小组，负责本单位的辐射安全及防护工作，针对辐射工作人员的健康、个人剂量及工作场所及放射设备进行定期检测辐射剂量、作业人员培训等，建立相关计划及制度，以达到完善管理及监督之目的。*.设备于安装、测试、维护之过程中皆遵守设备安装标准程序，以利于辐射防护管理和控制，并于设备明显处张贴辐射警示标语及图标作为提示。*.辐射作业人员均配个人辐射剂量片，定期送有资质检测机构进行检测，检测结果均已邮件形式告知各辐射作业人员。*.人员于操作前须完成法规要求辐射防护专业培训及厂内设备操作训练、安全操作规程，均由经过考试合格的人员操作。*.每年进行辐射事件应急演练，演练结束之后针对演练内容及演练过程进行总结。
??承诺：**皖芯集成电路有限公司 王兴亚承诺所填写各项内容真实、准确、完整，建设项目符合《建设项目环境影响登记表备案管理办法》的规定。如存在弄虚作假、隐瞒欺骗等情况及由此导致的一切后果由 **皖芯集成电路有限公司， 王兴亚 承担全部责任。 备案回执：该项目环境影响登记表已经完成备案，备案号：********************。
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