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垂直腔面发射半导体激光器(VCSEL)及光通讯激光芯片产业化项目
发布日期:2021年02月24日 | 标签:
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项目详情

垂直腔面发射半导体激光器(VCSEL)及光通讯激光芯片产业化项目***机械电子扩建*****.**项目名称:**长光华芯光电技术股份有限公司垂直腔面发射半导体激光器(VCSEL)及光通讯激光芯片产业化项目项目概况:建设地点位于**高新区科技城天目山路与漓江路交叉口东南侧。建设性质:扩建,通过对VCSEL(面发射)及光通讯芯片生产基地的建设及配套设备的购置,研发并生产VCSEL(面发射)及光通讯激光芯片产品。项目建成投产后,年产高功率激光芯片****万颗、器件*万个、模块**.*万个。占地面积*****.**平方米(本项目实际占地面积****平方米)。绿化面积依托租赁方。总投资*****.**万元。其中:环保投资**万元,环保投资占总投资比例*.**%。预期投产日期****年**月。建筑面积*****.**平方米(本项目租赁建筑面积****平方米)。项目主要设备一览表类别 工段 设备名称 规格型号数量 来源备扩建前 扩建后 增减量 注生产设备外延MOCVD(外延生长)-* / * 台 * 台 +* 台 国内生产车间一层MOCVD(外延生长)-*,*,* 旧/ * * 台 +* 台 国内化学气相外延 MOCVD****G*IC、G*IC、****G*HT* 台 * 台 * 国内MOCVD(外延生长)-*" 机械手/ * 台 * 台 * 国内真空检漏机 / * 台 * 台 +* 台 国内低温光致荧光仪/QCL / * 台 * 台 +* 台 国内Raman 光谱 / * 台 * 台 +* 台 国内 真空/氢气回炉-* / * 台 * 台 +* 台 国内 Mis(cleanroomfurnitureet c)(其它) / * 台 * 台 +* 台 国内 光刻、湿法 刻蚀 步进式光刻机 i** Nikoni**a * * 台 +* 台 国内 生产车间一层 步进式光刻机 i*(翻新) *"*" Nikoni*a * * 台 +* 台 国内 电子束光刻机 / * * 台 +* 台 国内 光刻机 Nikoni*a、 Nikoni*a * 台 * 台 * 国内 MOCVD 化学侵蚀,清洗 台 / * * 台 +* 台 国内 自动显影、去胶 tracking 系统(C) / * * 台 +* 台 国内 自动显影、去胶 tracking 系统(D) / * * 台 +* 台 国内自动显影、去胶 tracking 系统(SOG) / * * 台 +* 台 国内 自动显影、去胶 tracking 系统 / * * 台 +* 台 国内 Track 匀胶显影 多样 * 台 * 台 * 国内酸碱清洗台 / * 套 * 套 +* 套 国内 有机清洗台 / * 套 * 套 +* 套 国内 湿式蚀刻清洗系统 Wetbench(ge neral)(通用 -engr) * * 套 +* 套 国内 湿法刻蚀台 / * 套 * 套 * 国内 甩干机 SpinRinseDr yer * 台 * 台 +* 台 国内 烘干炉 / * 台 * 台 +* 台 国内 等离子清洗机 Plasmaclean er-Fab * 台 * 台 +* 台 国内 各式测试仪 多样 * 台 * 台 * 国内 氧化、 干刻 化学气相沉积 PECVD * 台 * 台 * 国内 生产车间一层 离子化学气相沉积镀膜 机 Plasmatherm(SiN) / * * 台 +* 台 国内 电化学电容-电压仪 (ECV) / * * 台 +* 台 国内 活性离子干刻蚀机 (ICP-RIE) ICP-RIE、 RIE * 台 * 台 +* 台 国内 金属干法刻蚀机 ICP-RIE * * 台 +* 台 国内水平炉管、垂直炉管 / * 台 * 台 +* 台 国内 各式测试仪 多样 * 台 * 台 * 国内 金属化 电子枪蒸镀机 / * * 台 +* 台 国内 生产车间一 磁控溅射镀膜机 / * 台 * 台 +* 台 国内 IBS 溅射腔面镀膜机 / * * 台 +* 台 国内 CP 特制腔面处理机 *-* / * 台 * 台 * 国内离子注入 / * * 台 +* 台 国内 层化学电镀镀金系统-自动 / * * 台 +* 台 国内电子枪蒸镀机 / * 台 * 台 * 国内快速热退火仪 / * * 台 +* 台 国内各式测试仪 多样 * 台 * 台 * 国内研磨、抛光、清洗研磨/抛光机 手动、自动 * 台 * 台 * 国内生产车间一层上腊机、去蜡清洗机 / * 台 * 台 * 国内酸碱清洗台 / * 套 * 套 * 国内有机清洗台 / * 套 * 套 * 国内等离子清洗机 / * 台 * 台 * 国内减薄,抛光机-生产型 生产型 * * 台 +* 台 国**色光刻间其它小型设备/ * * 台 +* 台 国内台阶仪 StylusProfiler 自动/ * * 套 +* 套 国内超声清洗机 / * 台 * 台 +* 台 国内切割机 / * 台 * 台 +* 台 国内烘烤炉VacuumOven* 台 * 台 +* 台 国内光纤研磨 / * 台 * 台 +* 台 国内热沉金属化镀膜机EvaporatorMetal * 台 * 台 +* 台 国内生产车间一层激光划裂设备 表切/隐切 * 台 * 台 +* 台 国内热沉清洗台-酸Wetbench(Solder,heatsink)* * 台 +* 台 国内热沉清洗台-溶剂Wetbench(Solder,heatsink)不锈钢* * 台 +* 台 国内解理镀膜划片机/解理机/工作台 / * 套 * 套 * 国内生产车间一层镀膜机 Evaporator * 台 * 台 * 国内镀膜光谱仪 Spectrameter * * 台 +* 台 国内解理机 Cleaver * 台 * 台 +* 台 国内腔面镀膜机-* 电子束 / * * 台 +* 台 国内自动排巴设备 / * 台 * 台 * 国内各式测试仪 多样 * 台 * 台 * 国内Chroma 测试台VCSELFF/ * ** 台 +** 台 国内激光划片机 / * * 套 +* 套 国内剥离 Liftoff * * 台 +* 台 国内液氮管道PA-*,*,* 配件* * 台 +* 台 国内制冷/加热机 / * 套 * 套 * 国内氮气柜 / * 套 * 套 +* 套 国内芯片工艺机 / * 套 ** 套 +** 套 国内 氮气纯化 / * * 套 +* 套 国内 管纯化 Pd-*/* * 套 * 套 * 国内 工作台、氮气柜、VMB 各样 * 套 ** 套 +* 套 国内 激光器测试台-自动 / * * 台 +* 台 国内 WaferAOICamtek / * * 台 +* 台 国内 自动粘片机 *-* / * * 台 +* 台 国内 金/铝箔/丝焊线机-自动 / * * 台 +* 台 国内 封装 自动粘片机 *-* / ** 台 ** 台 * 国内 生 产 车 间 二 层 焊线机 WireBonder * 台 * 台 * 国内 回流焊炉 / * 台 * 台 * 国内 手套箱 / * 台 * 台 * 国内 干燥箱 / * 台 * 台 * 国内 各式测试仪 多样 * 台 * 台 * 国内 测试 测试台 COS、MCC、 MCCQCW ** 套 ** 套 * 国内 冷水机 / * 套 * 套 * 国内 老化 老化台 COS、MCP 系统、MCC ** 套 ** 套 * 国内 冷水机 / * 套 * 套 * 国内 测试台 / * ** 台 +** 台 国内 老化寿命台 / * ** 台 +** 台 国内 芯片缺陷自动·检测系统 / * * 台 +* 台 国内 IT(计算机及信息工程) -高数据量 / * * 台 +* 台 国内 巴条缺陷自动·检测系统 / * * 台 +* 台 国内 光纤耦合 FAC 台、合束台、耦合 台、M 整机测试台 / *** 套 *** 套 * 国内 烘烤箱/温循箱 / * 台 * 台 * 国内 冲击振动仪 / * 台 * 台 * 国内 手套箱 / * 台 * 台 * 国内 水冷机 / * 套 * 套 * 国内 环保设 施 废气、尾气 处理 外延尾气洗涤塔 处理量: ****m* /h * 套 * 套 * 国内 - Scruber(洗涤) 处理量: ****m* /h * * 套 +* 套 国内 - MOCVD 废气处理设备 / * * 套 +* 套 国内 - 氨气洗涤塔 / * 套 * 套 +* 套 国内 - 燃烧装置 / * 套 * 套 +* 套 国内 -碱液喷淋塔 处理量: *****m* /h * 套 * 套 +* 套 国内 - 二级活性炭吸附装置 处理量: ****m* /h * 套 * 套 +* 套 国内 -各式风机 多样 * 台 * 台 +* 台 国内 - 废水处理 污水处理站 废水处理系 统 **t/h * 套 * 套 +* 套 国内 - 公辅设 施 空调 新风空调机组 *****m* /h ** 套 ** 套 +** 套 国内 - 冷却循环 循环机组 *****m* /h~ *****m* /h * 套 * 套 +* 套 国内 - 风(水)冷热泵机组 制热量 ****kW * 套 * 套 +* 套 国内 - 风(水)冷冷水机组 制冷量 ****kW * 套 * 套 +* 套 国内 - 冷却循环水泵 流量各 ***m* /h,一 用一备 * 套 * 套 +* 套 国内 - 工艺冷却水系统 / * 套 * 套 +* 套 国内 - 变电站 **KV 变电站 SCB**-**** /**/*.*kV * 座 * 座 +* 座 国内 - 纯水系统 纯水系统 **t/h * 套 * 套 +* 套 国内 - 空压系统 风冷无油螺杆空压机 Q=***Nm* / h * 套 * 套 +* 套 国内 - 真空系统 真空泵组 Q=**Nm* /h * 套 * 套 +* 套 国内 - 纯化系统 氢气纯化器 *NSMP * 套 * 套 +* 套 国内 - 氮气纯化器 *NS-MP * 套 * 套 +* 套 国内 - 供热系统 蒸汽供热系统 蒸汽温度 ***℃,出水 温度 **℃, 用量 *t/h * 套 * 套 +* 套 国内 -制冷系统 冷机 * 组 * 组 ****kW,* 组 ****kW * 组 ** 组 +* 组 国内 -项目主要建设内容 类别 工程名称 建设内容 备注 扩建前 扩建后 变化情况 主体 工程 生产车间 *#生产楼一 层部分区域 建筑面积 ***m* 建筑面积 ****m* +***m* 本次新增区域位于 *# 生产楼空闲位置(洁 净车间:湿度:**-**; 洁净度:清洗车间百 级、刻蚀车间千级、 外延车间万级、镀膜; 温度:**℃) *#生产楼二 层部分区域 建筑面积 ***m* 建筑面积 ***m* +***m* 贮运 工程 仓库 * 面积约 ***m*, *#生产楼一层 面积约 ***m*,*#生 产楼一层 不变 主要储存暂时不用的 新旧设备 仓库 * 面积约 ***m*, *#生产楼二层 面积约 ***m*,*#生 产楼二层 不变 运输 原料由厂商安排汽车随用随送,现场不存放超过 **h 使用量公用 工程 蒸汽 ****t/a ****t/a +***t/a 集中供热 给水 新鲜用水 *****.*t/a,回 用生产废水 ****.*t/a、蒸汽 冷凝水 ***t/a 新鲜用水 *****.*t/a,回用生产废 水 ****.**t/a、 蒸汽冷凝水 ****t/a +新鲜用水 约 ****.*t/a, 回用生产 废水 ***.**t/a、 蒸汽冷凝 水 ***t/a *政管网供给排水 外排生产废水 ****.**t/a、生 活污水 ****t/a 外排生产废 水 *****.**t/a、 生活污水 ****t/a 外排生产 废水 +****.**t/ a、生活污 水+***t/a 经污水排口接管至科 技城水质净化厂 纯水制备 * 套制备能力 均为 **t/h 的纯 水制备系统,采 用 RO 工艺 * 套制备能 力均为 **t/h 的纯水制备 系统,采用 RO 工艺 新增*套制 备能力均 为 **t/h 的 纯水制备 系统,采用 RO 工艺 * 套制备能力均为 **t/h 的纯水制备系 统,采用 RO 工艺 供电 年用电 *** 万 度 年用电 *** 万度 +*** 万度 由新区电网提供 空气净化系统 一套空气净化系 统,主要包括循环 机组、高效过滤器。 两套空气净化系统, 主要包括循环机组、 高效过滤器 新增一套空气净化系 统 循环冷却系统 两套冷却循环水 泵,循环能力为 ***m* /h 四套冷却循环水泵, 循环能力为 ***m* /h 新增两套冷却循环水 泵 环保 工程 废气 处理 外延尾气处理 设备密闭收集后, 经自带过滤器+洗 涤塔处理后,进入 酸性废气处理系 统,尾气由 *#生产 楼顶 **mP* 排气 筒(内径 *.*m)达 标排放;* 套洗涤 塔,风量 ****m* /h 设备密闭收集后,经 自带过滤器+洗涤塔 处理后,进入酸性废 气处理系统,尾气由 *#生产楼顶 **mP*、 P* 排气筒(内径 *.*m)达标排放;* 套洗涤塔,总风量均 为 *****m* /h 新增 * 套洗涤塔 +**mP* 排气筒,总风 量 *****m* /h 氧化尾气处理 设备密闭收集后, 经自带过滤器+燃 烧器处理后,尾气 进入酸性废气处理 系统,尾气由 *#生 产楼顶 **mP* 排 气筒(内径 *.*m) 达标排放 设备密闭收集后,经 自带过滤器+燃烧器 处理后,尾气进入酸 性废气处理系统,尾 气由 *#生产楼顶 **mP*、P* 排气筒(内 径 *.*m)达标排放 / 酸性废气处理 酸性废气处理系统 由 * 套碱液喷淋塔 并联构成,每套风 量 *****m* /h,主 要处理酸洗、刻蚀 等工段酸性废气以 及预处理后的外延 尾气、氧化尾气, 尾气由 *#生产楼 顶 **mP* 排气筒 (内径 *.*m)排放酸性废气处理系统由 * 套碱液喷淋塔组成, 两套并联构成,每套 风量 *****m* /h,主要 处理酸洗、刻蚀等工 段酸性废气以及预处 新增 * 套碱液喷淋塔, 每套风量 *****m* /h理后的外延尾气、氧 化尾气,尾气由 *#生 产楼顶 **mP*、P* 排 气筒(内径 *.*m)排 放 有机废气处理 集气罩收集后,经 * 套二级活性炭吸 附装置处理,风量 ****m* /h,尾气由 *#生产楼顶**mP* 排气筒(内径 *.**m)排放 集气罩收集后,经 * 套二级活性炭吸附装 置处理,风量均为 ****m* /h,尾气由 *# 生产楼顶 **mP*、P* 排气筒(内径 *.**m) 排放 新增 * 套二级活性炭 吸附装置+**mP* 排 气筒,风量 ****m* /h 排风系统 用于排放车间内强 排风及热排风,风 量 *****m* /h,由 *#生产楼顶 * 个 **m 排气筒排放 用于排放车间内强排 风及热排风,风量 *****m* /h,由 *#生产 楼顶 * 个 **m 排气筒 排放 新增 P*、P* 排气筒 废水 处理 含砷、含氟、含氮 磷、有机废水分质 预处理系统 含砷废水(包括外 延洗涤废水)、含 氮磷废水、含氟废 水(包括碱液喷淋 废水)、有机废水 等分质进行预处理 后进入三效蒸发器 +RO 系统 含砷废水(包括外延 洗涤废水)、含氮磷 废水、含氟废水(包 括碱液喷淋废水)、 有机废水等分质进行 预处理后进入生产废 水三效蒸发器+RO 系 统 新增 * 套回用系统 生产废水回用系 统 部分生产废水(含 砷、含氟、含氮磷、 有机废水)经三效 蒸发器蒸发,蒸馏 水经 RO 系统处理 后,回用于纯水制 备系统(研磨和抛 光工序) 部分生产废水(含砷、 含氟、含氮磷、有机 废水)经三效蒸发器 蒸发,蒸馏水经 RO 系统处理后,回用于 纯水制备系统进入研 磨和抛光工序 一般酸碱废水处 理系统 一套酸碱废水 处理装置,处理 能力为 **t/h, 中和处理后,达 标排放至科技 城水质净化厂 两套酸碱废 水处理装 置,处理能 力为 **t/h, 中和处理 后,达标排 放至科技城 水质净化厂 新增一套 酸碱废水 处理装置, 处理能力 为 **t/h 经污水排放口接管至 科技城水质净化厂 (本次** * 个排污 口,在汇入租赁厂区 总排口之前设置单独 的采样口) 公辅废水 制纯浓水、冷却 排水等公辅废 水以及生活污 水与处理后的 一般酸碱废水, 一起通过*政 管网排入科技 城水质净化厂, 最终汇入浒光 ** 制纯浓水、 冷却排水等 公辅废水以 及生活污水 与处理后的 一般酸碱废 水,一起通 过*政管网 排入科技城 水质净化厂,最终汇 入浒光** 不变生活污水 通过*政管网 排入科技城水 质净化厂,最终 汇入浒光** 通过*政管 网排入科技 城水质净化 厂,最终汇 入浒光** 不变 降噪措施 合理布局,采用低噪声设备,隔声减振, 距离衰减 / 固废措施 一般固废暂存 区面积 ***m*, 位于 *#号楼一 层北侧。危险废 物日产日清,委 托有资质单位 处理,固废实现 零排放 一般固废暂 存区面积 ***m*,位于 *#号楼一层 北侧。危险 废物日产日 清,委托有 资质单位处 理,固废实 现零排放 不变 依托租赁厂区内现有 仓库 风险防范措施 消防尾水池(事 故应急水池) ***m* 消防尾水池 (事故应急 水池)***m* 不变 依托厂内现有风险防 范措施土建工程 钢结构工程喷码机 检测设备 抛丸机 输送设备 挤出机 冲床 布袋除尘装置 机械加工设备 干燥机 钻床 上板机 贴片机安保服务 保洁服务 食堂承包 食材配送电线电缆 管材管件 钢材 石材 报警器 开启门锁 墙砖 混凝土 防水材料 应急照明 PVC地板 外墙装饰材料 砖瓦 劳保用品 安全帽 防护帽 防护服 劳保服 劳保鞋 绝缘鞋 劳保手套业主单位**长光华芯光电技术股份有限公司*************高新区昆仑山路 *** 号科技城工业坊-A 区 * 号厂房项目负责人顾志刚办公室职员

温馨提示:

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