北京怀柔综合性国家科学中心协同创新交叉研究平台-大科学装置用高功率高可靠速调管研制平台项目
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项目详情
项目概况：建设地点位于******北四环西路**号，占地面积*****.**平方米，绿化面积****.**平方米，新增建筑面积*****.**平方米，总投资*****万元（含外汇：**.*万美元），投资构成包括工程费用*****.**万元，占总投资的**.**%；工程建设其他费用****.**万元，占总投资的*.**%；基本预备费***.**万元，占总投资的*.**%。所需全部资金的**%拟向国家发改委申请专项资金，剩余的**%拟由电子所多渠道筹措解决。其中：环保投资***万元，环保投资占总投资比例 *.***%。本项目计划在**个月内完成设计、建设及新增工艺设备的招标、设计、采购、制造、安装、调试等工作，并通过验收。预期投产日期 ****年**月。
建设内容包括：高性能速调管研制中心、系统物理参量监测诊断中心和高性能阴极研发条件。
*、高性能速调管研制中心主要包括高精度焊接与集成技术条件（含速调管焊接条件、速调管集成条件）、微波材料检测与分析技术条件、超高真空技术条件等。
（*）高精度焊接与集成技术条件：速调管焊接条件新增氢气真空两用炉、特殊陶瓷焊接氢气真空两用炉、磁控溅射覆膜机等工艺设备，解决高功率高可靠速调管用金属及陶瓷零部件的焊接问题、输出窗覆膜工艺等，提高速调管性能。
速调管集成条件新增速调管检漏系统、超高真空电子枪发射性能测试系统、激光焊接机、精密电阻点焊系统等工艺设备，满足大科学装置用高功率速调管整管精密装配焊接及在线检漏任务，确保速调管的研制质量和进度。
（*）微波材料检测与分析技术条件：新增便携式三坐标测量机、速调管关键材料分析与检测系统等工艺设备，解决现有制管工艺线不能满足制造高功率高可靠速调管的技术要求，使工艺线制造能力和技术能力大幅提升，有力的保障速调管的制造质量及机械性能的可靠性。
（*）超高真空技术条件：新增大型无油真空排气台和液冷源装置等工艺设备，使大科学装置用高功率高可靠速调管获得超高真空，为大科学装置高性能速调管的可靠性、稳定性、**命提供保障。
*、系统物理参量监测诊断中心：新增高峰值功率速调管测试平台、**均功率速调管测试平台、高功率连续波速调管测试平台等监测诊断设备，解决速调管热测能力不足的问题，并提高了P、L、S、C和X等多个频段速调管的测试能力。
*、高性能阴极研发条件：新增阴极离子束溅射镀膜机、真空感应去铜炉、阴极高温浸盐氢炉等工艺设备，解决了现有平台不能对大尺寸阴极钨铜饼进行真空去铜、不能对钨海绵饼浸渍活性物质、以及无法实现对大尺寸阴极表面进行离子束溅射沉积**合金膜的问题，满足高功率速调管对大尺寸高发射性能阴极的需求。
*政建设条件
本项目用地均位于****科学城核心区。开发区内建有***KV变电站*座，安装*MVA变压器*台，可提供******KVA电力容量，另建有*个开闭站；建有水厂一座，日设计供水能力达**万立方米；建有热力站三座，实行**小时供热，每小时可供汽***蒸吨；建有压缩天然气站两座，每天可供气*****立方米；建有电信支局一座，装机容量*****门，具备**M、***M、网络宽带接入条件；地下雨水、污水管线全部建成，雨水管径****mm，污水管径***~****mm；污水管线连通**北排京怀水务有限公司**污水处理厂，日处理污水能力*.*万吨；开发区建成道路**条，总长**km，形成“三横两纵”的格局，路网分布合理，路路环通，主干路宽**米，次干路宽**米。
本项目依托的*政条件如下：
*、用电
中国科学院电子学研究所**园区配电站不同母线段引来*路**kV电源至拟建项目的高性能速调管科研楼地下一层**/*.*变电室。
*、给水
水源采用地下水，由****供水管网供水，园区内设DN***的环形供水管网，确保生产用水、循环冷却水和生活用水。
*）生产用水
生产用水主要为实验室组件清洗用水。
根据建设单位提供资料，项目组件组装前一般清洗*~*次，使用纯水，清洗用水量为***m*/a。
纯水制备方式：ELGA PURELAB Flex* 纯水仪采用柱预处理单元，去除水中较大的颗粒、悬浮物以及部分有机物，通过反渗透单元、纯化柱、UV、超滤等技术除去水中的离子物质和大分子物质（如病毒、微生物、有机物和热原等）。Millipore Direct Q-*纯水机，制备超纯水。制备方式为Millipore超纯水机制备，工艺为过滤器+反渗透膜+紫外线杀菌。纯水制备效率为**%。实验室用来生产纯水的自来水总量为****m*/a。
*）循环冷却水
根据工艺需求，本项目共需循环冷却水约***m*/h，年需水量约为*****m*/a，进水压力要求*.*MPa~*.*MPa，进水温度**℃，出水温度为**℃。在屋顶设置两台流量为***m*/h的逆流式玻璃钢低噪音冷却塔，并在地下室循环水泵房设置两台台变频恒压循环水泵（H=*.**MPa，Q=***m*/h，N=**KW，互为备用）和有效容积为**m*的调节水箱。
*）生活用水
项目建成后新增***人，根据《建筑给水排水设计规范》（GB*****-****）规定，本项目办公人均生活用水定额按**L/d计，则本项目生活用新鲜水量约****m*/a。
*）绿化用水
绿地和道路浇洒采用中水，约*m*/d，年绿化约***天，年用水量为***m*/a.
*、排水
本项目投入使用后，污废水主要是实验废水废液和生活污水。实验室里浓度较高的废水，交由当地有处理资质的公司进行处理；本工程室内较清洁的一般废水可直接排入室外污水管网，排入中国科学院电子学研究所**园区内的中和池，经中和池处理后，方可排入*政污水管网；生活污水经排水管道收集后，排至室外污水管网，进入中国科学院电子学研究所**园区内的化粪池，经过化粪池预处理处理后排入*政污水管，后接入**北排京怀水务有限公司**污水处理厂进行处理。
*、雨水：屋面、道路雨水采用雨水入渗系统加以控制，设置调蓄排放池，室外收集场地内、屋顶雨水，采用入渗井、下凹式绿地的方式涵养地下水，多余的雨水排到*政规划雨水管网。
*、采暖与制冷
采暖：采用开发区集中供热系统，热源为**雁栖诚泰热力中心东站。
制冷：夏季制冷需求*/**℃空调用冷水，由园区制冷站统一提供。
*、通风
（*）热测区全室排风系统和事故排风系统，换气次数按*/**次/时计算，排风采用地沟排风，至室外的管道采用铅板防护，排风机置于室外地面。
（*）卫生间、更衣室等产生异味的房间设置机械通风系统，排风量按照**次/h计算
（*）配电间设机械排风，换气次数**次/h，水泵房设机械排风，换气次数*次/h。
（*）地下一层变电站、开闭所设机械送、排风系统，用于平时排风和排除气体灭火后的废气，换气次数按**次/h计算。
（*）地下一层水泵房设置机械排风系统，分别选用一台管道轴流风机，排风量按照*次/h计算。
（*）所有使用氮气的房间设事故通风系统，与氧浓度报警联动；所有使用氢气的房间设事故通风系统，与可燃气体浓度报警联动；事故通风机在室内、外便于操作地点设置电气开关。
新增设备一览表序号 设备名称 主要参数 数量
* 氢气真空两用炉（**先端
HF****G） ? 有效工作区：≥?****×****mm；
? 最高温度：≥****℃；
? 工作温度：≥****℃；
? 温度均匀性：±**℃；
? 控温区：*温区控制；
? 设备装载量：*.*t；
? 极限真空度：优于*×**-*Pa。 *台
* 特种陶瓷焊接氢气真空两用炉（**北方华创VVF****） ? 有效工作区：≥?***×***mm；
? 最高温度：≥****℃；
? 工作温度：≥****℃；
? 温度均匀性：±*℃；
? 控温区：*温区控制；
? 装载量：***kg。 *台
* 磁控溅射覆膜机（**泰克诺
JCPF-****） ? 溅射室极限真空：≤*×**-*Pa；
? 溅射室工作真空：≤*×**-*Pa；
? 工件最高加热温度：≥***℃；
? 覆膜工件直径：≥Φ***mm；
? 覆膜均匀区直径：≥Φ***mm；
? 覆膜均匀性：优于*%。 *台
* 速调管检漏系统（**欣瑞拓科技有限公司RH-**D） ? 检漏口真空度：≤*×**-*Pa；
? 检漏灵敏度：*×**-*～*×**-**Pa•m*s-*；
? 检漏口对氦抽速：≥**L•S-*；
? 检漏启动真空度：≤*kPa。 *台
* 超高真空电子枪发射性能测试系统（**南光P***-FB**） ? 极限真空度：?*×**-*Pa；
? 工作真空度：?*×**-*Pa；
? 有效工作区：≥?***~***mm；
? 灯丝电源功率：*～****W；
? 高压电源：*～*kV；
? 测温仪测量范围：***～****℃。 *套
* 激光焊接机（**赛菲尔SL-**X-***Q） ? 光纤激光器波长：****nm；
? 脉冲宽度：*.*～**ms；
? 输出功率：*～***W；
? 轨迹跟踪：CCD定位，跟踪精度≤±*.**mm；
? 工作台行程：X轴≥***mm，Y轴≥***mm，Z轴≥***mm *台
* 精密电阻点焊系统（汉森维德Hanson****） ? 焊接电流：***～****A（脉冲电流）；
? 焊接时间控制精度：≤**μs；
? 最大焊接时间：****ms；
? 压力传感器量程范围：*～***kg；
? 带数据管理及检测系统。 *台
* 便携式三坐标测量机（日本尼康MCAx *.*） ? 测量范围：*～*.*m；
? 点重复性精度：≤*.***mm；
? 空间精度：≤*.***mm。 *台
* 速调管关键材料分析与检测系统（卡尔蔡司EVO**） ? 加速电压：*.*～**kV；
? 放大倍数：*～******X；
? 样品室尺寸：≥?***×***mm；
? 最大样品高度：***mm；
? 极限真空度：≤*×**-*Pa；
? 图像：拍照存储 *台
** 大型无油真空排气台（**南光P***-**） ? 真空度：主真空系统极限真空度≤*.*×**-*Pa；外真空系统极限真空度≤*.*×**-*Pa；
? 烘箱工作区：≥?****×****mm；
? 最高温度：≥***℃；
? 工作温度：≥***℃；
? 温度均匀性：恒温区内±**℃；
? 烘烤控温区：*温区控制；
? 设备装载量：≥*t。 *台
** 液冷源装置（**兆胜YLZ-***） ? 制冷量：≥***kW；
? 供液温度：≤**℃；
? 供液压力：*～*.*MPa；
? 供液流量：*～**m*/h；
? 液体过滤精度：***μm；
? 耗电：≤**kW；
? 噪声：室内≤**dB，室外≤**dB。 *台
** 高峰值功率速调管测试平台 *****MHz高功率微波测量系统 ? 测量频率范围：*****MHz～*****MHz；
? 负载频率：*****MHz~*****MHz。
? 含水负载、定向耦合器、弧光保护器、波导和微波元件等 *套
X波段功率放大器（**思金合通信技术有限公司PAX-****W） ? 频率范围：*****MHz～*****MHz；
? 微波功率：>**** W。
? 输入功率：<**mW
高压脉冲调制器（**国睿兆伏电子股份有限公司HP***KV/***A） ? 最高输出电压：***kV；
? 工作电流：***A；
? 脉冲宽度：>*.*?s；
? 最高重复频率：**Hz。
** **均功率调制器（**鑫轩电子系统工程有限公司SPM***KV） ? 最高输出电压：***kV；
? 最大输出电流：***A；
? 脉冲宽度：≥**?s；
? 最高重复频率：***Hz。 *套
** 高功率连续波速调管测试平台 连续波调制器（**省金屹电源科技有限公司PSM***KVDC-**A） ? 脉冲/直流电压：**kV；
? 最高脉冲/直流电流：**A；
? 直流电压纹波与噪声：≤*.*%；
? 输出脉冲顶降、前冲：≤*%；
? 脉冲前沿：≤***us；
? 脉冲后沿：≤***us；
? 脉冲工作模式：脉宽*.*ms～***ms，重频**Hz～***Hz。 *套
高功率液冷源（**兆胜空调有限公司YLZ-****kW） ? 制冷量：*MW；
? 供液流量：≥****L/min；
? 供液温度：**～**℃；
? 噪音：室外机≤**dB（A）；
? 电加热功率：***kW；
? 最大耗电量：工作时配电≤***kW
** 阴极离子束溅射镀膜机（***蓝天IBSD***） ? 真空室有效尺寸：≥?***×***mm；
? 极限真空度：≤*×**-*Pa；
? 行星工件转台：四工位，每个工位的工件最大外径≥?***mm；
? 主溅射离子源：直径*cm，溅射电压****V，束流***mA；
? 辅助离子源：直径*cm，溅射电压****V，束流***mA。 *台
** 真空感应去铜炉（ZGS-***） ? 均温区：≥?***×***mm；
? 最高温度：≥****℃；
? 工作温度：≥****℃；
? 热态最大承载量：≥*kg；
? 料架：钨制双层料架；
? 控制：程控；
? 水冷：采用制冷机组。 *台
** 阴极高温浸盐氢炉（**先端真空炉业有限公司HF****） ? 最高温度：≥****℃；
? 工作温度：≥****℃；
? 均匀加热区：≥Φ***×***mm；
? 加热方式：钨网加热；
? 承重：**kg。 *台
本项目主要经济技术指标表
序号 名称 单位 数量
* 新征地面积 m* *****.**
* 可建设用地面积 m* *****.**
* 总建筑面积 m* *****.**
*.* 地上建筑面积 m* *****.**
*.* 地下建筑面积 m* ****.**
* 建筑基底占地面积 m* ****.**
* 容积率 - *.**
* 建筑密度 - **.**%
* 绿地面积 m* ****.**
* 绿地率 - **.**%
* 新增道路面积 m* ****.**景观绿化工程、电气安装工程、通风工程、停车场工程、围墙工程、门窗工程、采暖工程、环氧地坪、标识标牌、智能化工程、吊顶工程、土石方、消防工程、人防工程、外墙保温工程、场地平整、幕墙工程、给排水工程、安防工程、机电安装工程、供配电工程、照明工程、土建工程、室外景观、供暖工程、防水工程、室外配套工程、防雷工程、楼宇亮化、桩基础、化粪池工程、水暖工程、装饰装修工程、中水回用、燃气工程、强弱电工程、垃圾分类设备、智能停车系统、基坑支护、管网工程安防设施、配电箱、办公设备、喷淋系统、电气设施、通风系统、强弱电系统、办公家具、中央空调、供排水设施、不锈钢楼梯栏杆、插座、灯具、空调、停车场设备、计算机、变配电设备、照明设施、开关、风幕机、监控系统、综合布线、电梯设备、避雷器、变压器、电子监控设备、卫生洁具、变频器、消防设施、防火门、开窗器、开窗机、新风系统、消防火警系统专业服务、技术服务、物业管理、会议服务、安保服务、培训服务、消防维保电线电缆、装饰涂料、管材管件、石材、厕所隔板、报警器、墙砖、混凝土、地砖、保温材料、防水材料、防腐材料、应急照明、地板、外墙铝单板、外墙装饰材料、砖瓦、陶瓷制品业主单位中国科学院电子学研究所***-********中国******北四环西路**号中国科学院电子学研究所***-********中国******北四环西路**号项目负责人樊会明办公室职员***********
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