紫光南京集成电路基地项目一期项目
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项目详情
项目概况：建设地点位于*******新区桥林**，紫峰路以西，林中路以北，听莺路以南，云杉路 以东，占地面积******.**平方米， 绿化面积*****.*平方米， 总投资*******万元，其中：环保投 资*****万元，环保投资占总 投资比例 *.**%，预期投产日期 **** 年 * 月，本项目将建设 ** 英寸（*D NAND）存储器生产线，建设内容由生产及辅助生产设施、 **设施、化学品和气体供应设施、环保设施、安全设施、消防设施、管理服务设施以及相 应的建筑物组成。**建筑包括芯片生产厂房、生产支持厂房、综合**站、废水处理站、 气化供配。
项目组成一览表
序号 工程项目 建设指标 备注
一、主体工程
*.* 生产厂房 （FAB*） 位于厂区东部，（主体*F），建筑面积******.**m* ），厂 房内安装**英寸芯片生产线，生产规模为**万片/月。
其中，*F：为生产支持区，主要设置气体、化学品供应管 道、酸类废液收集罐区、芯片仓库等； *F：为生产支持区，主要设置变配电室、POU设备间、部分 化学品本地供应系统供应等；
*F：主要为洁净生产车间，内设薄膜区（PVD、CVD工序）、 速升温区、黄光区（曝光、显影工序）、干法刻蚀区、湿 法刻蚀区、离子注入区、扩散区、化学机械抛光区等； *F：主要为*F洁净室的空调系统MAU机组区，洁净室控制室 等。
*F 屋顶为废气处理设施。
二、辅助工程
*.* 综合**站* （CUB*） 位于厂区东侧，建筑面积 *****.**m* ，地上 * 层。 纯水制备系统：*套，包括超纯水系统和初纯水系统，制备 能力**** m* /h。 冷冻站系统：设置循环冷却水泵及冷却塔，冷却塔**台布 置于**站屋顶。 工艺设备循环冷却水系统：设置工艺冷却水变频泵和板式 换热器。 再生废水回收系统：*套，采用“混凝沉淀法”处理工艺， 用于回收处理纯水制备过程中产生的废水。 工艺真空：设置水冷水循环环式真空泵**台（**备*用）， 规格为单台***m*/h。 清扫真空：设置清扫真空泵*台（*备*用），规格为 Q=***m* /h。 OU洗涤塔水回收系统：*套，采用“过滤（多介质过滤器+ 活性炭过滤器）+离子交换”工艺，用于回收处理POU排水。
锅炉房：设置*台**** KW的燃气热水锅炉（全部作为备用 热源）。
*.* 柴油发电机 位于 CUB 内，设置 * 台 ****KW 发电机组作为应急电源。 房
*.* 大宗气体供 应 由厂区北侧大宗气体站（预留用地）为本项目提供氮气、 氢气、氧气、氩气、氦气等大宗气体，以及压缩空气。该 大宗气体站由专业气体供应承包商建设、管理和运营，不 属于本项目建设和评价范围。 不属于本 次评价范 围
*.* 燃气调压站* （NG*） 建筑面积***.** m* ，用于厂区天然气调压
*.* 气化供配厂 房*（GCS*） GCS*A，化学品供应间，建筑面积 ****.**m* ，负责酸液 （如硝酸、硫酸、氢氟酸、磷酸等）、碱液（如氨水）、双 氧水、异丙醇、稀释剂（EBR），在化学品供应间内设置储 罐，化学品通过管路输送至厂房机台。 GCS*B，特气供应间，建筑面积 ****.**m* ，主要负责氨 气、氯气、一氧化二氮、三氟化氮等气体的供应，上述气 体钢瓶经人工用叉车运至特气供应间中相应气体柜后，上 述气体经管路供应到生产车间机台使用点。 *.** 硅烷站 * （SIH**） 建筑面积***.**m* ，主要负责厂区硅烷的供应，硅烷钢瓶 经人工用叉车运至硅烷供应间气体柜后，经管路供应到生 产车间机台使用点。
*.** 特气站 * （SGS*） 建筑面积****.**m* ，主要负责储存氯气、氨气等特殊气体
三、贮运工程
*.* 化学品库 * （CWH*） 建筑面积****.**m* ：主要存放异丙醇、CTS-***、TiCl*、 TEOS、LTO***、三甲基铝等化学品。
*.* 化学品库 * （CWH*） * 层，建筑面积 ****.**m* ：主要存放主要存放异丙醇、 CTS-***、TiCl*、TEOS、LTO***、三甲基铝等化学品。
*.* 化学品库 * （CWH*） * 层，建筑面积 ****.**m* ：备用，主要存放化学品。
*.* 综合仓库 * （WH*） * 层，建筑面积 ****.** m* ：主要存放晶圆、各种靶材及成 品，不存储化学品 *.* 甲类仓库 * （JHW*） * 层，建筑面积 ***.**m* ：主要用于存放 *,*,*,* 类甲类化 学品。 *.* 甲类仓库 * （JHW*） * 层，建筑面积 ***.**m* ：主要用于存放 *,* 类甲类化学品 *.* 地下柴油罐 及泵房 * （DT*） ***.**m* ，用于储存柴油发电机备用柴油，柴油泵站 **.** m* 。
四、环保工程
*.* 废水处理站* （WWT*） 酸碱废水处理系统：*套，采用三次中和处理工艺。 含氨废水处理系统：*套，采用“吹脱+硫酸吸收液吸收法” 处理工艺。 含氟废水处理系统：采用“CaCl*混凝沉淀法”处理工艺。 研磨废水处理系统：*套，采用“混凝沉淀法”处理工艺。 含铜废水处理系统：*套，采用“混凝沉淀法”处理工艺。 事故应急池(兼顾生产废水事故应急池及消防废水收集 池)：*个，总有效容积为****m* 。
*.* 废气处理系 统 一般废气排风系统：设置**套风机（**用*备），设置排气 筒**根。 酸性废气处理系统：设置**套碱液喷淋吸收塔（**用*备）， 设置**m排气筒**根。 碱性废气处理系统：设置**套酸液喷淋吸收塔（**用*备）， 设置**m排气筒**根（*用*备）。 有机废气处理系统：设置**套沸石浓缩转轮焚烧系统（包 括石浓缩转轮及焚烧炉）（*用*备），设置**m排气筒*根。 非含砷工艺尾气处理系统：设置燃烧+水洗式POU净化装 置，系统排气并入酸性废气处理系统进行处理，并依托酸 性废气排气筒进行排放。 含砷工艺尾气处理系统：设置干式吸附POU净化装置，再 排入含砷废气吸附装置，共设置砷废气吸附装置*套（*用* 备），设置**m排气筒*根。 锅炉烟气排风系统：设置**m排气筒*根 化学品供应间废气治理系统： 设置酸液喷淋洗涤塔*套（*用*备）+*根（*用*备）**m排 气筒； 设置碱液喷淋洗涤塔*套（*用*备）+*根（*用*备）**m排 气筒； 设置活性炭吸附装置 * 套（* 用 * 备）+* 根（* 用 * 备） **m 排气筒 *.* 危废仓库 * （RWH*） * 层，建筑面积 ****.**m* ：主要存放甲类危险废物。 危废仓库 * （RWH*） * 层，建筑面积 ****.**m* ：主要用于废离子交换树脂、废 过滤芯、抹布/手套/清洗液等（**学物质清洗杂物等）、 废化学品容器、废铅酸电池（厂务设施中 UPS 系统换下尚 可回收使用的电池）、废灯管及废芯片等危险废物等其他类 危废暂存 危废仓库 * （RWH*） * 层，建筑面积 ***.** m* ：主要用于废晶圆、芯片存放。 污泥暂存区 项目在废水处理站设置污泥暂存区。 废液收集罐 设置于生产厂房一层，设置废硫酸、废氢氟酸、废磷酸、 废异丙醇、废稀释剂、废去光阻液等废液储罐。
*.* 环境风险 项目电气室采用CO*灭火系统，中央控制室及数据中心等 处采用FM***气体灭火系统；有机化学品存储区采用泡沫 灭火系统；厂区各建构筑物配备有室外消火栓、室内消火 栓，除特殊区域外，均配置有湿式自动喷水灭火系统 项目设置*个事故应急池，总容积****m* 设置消防废水收集池*个，容积不低于****m* ，对消防废水 进行收集，消防废水收集池配备管道和泵。
五、公用工程
*.* 供电 本项目电源由厂区范围内的***kV变电站供给。变电站由 专业公司建设、运营，不属于本次项目评价范围。 不属于本 次评价范 围
*.* 供气 由*政天然气管网供给，经调压计量后进入厂区。
*.* 供水 由*政热源供给，并设置*台****KW燃气锅炉，作为备用 热源。 六、配套工程
*.* 生产支持厂 房 *（OS*） 作为办公区、研发使用，建筑面积*****.**m* ，地上*层， 地下*层。
本项目主体工程及产品方案
项目名称 紫光**集成电路基地项目一期
生产规模 项目将建设 ** 英寸（*D NAND）存储器生产线，并开展存储器及关联产
品（模块、解决方案）的研发、制造和销售，设计产能为 ** 万片/月。
产品方案 主要采用 **-**nm 生产工艺，主要产品为 *D NAND 存储器芯片
年工作时间 ****h
本项目主要经济技术指标
序号 名称 单位 数量 备注
* 建设用地面积 ㎡ ******.**
* 建筑基底面积 ㎡ ******.**
* 建筑密度 % **.**% 规划要求≤**%
* 总建筑面积 ㎡ ******.**
其中
地上 ㎡ ******.**
地下 ㎡ *****.**
* 计容建筑面积 ㎡ ******.*
* 容积率 *.** *.*≤FAR≤*.*
* 生产服务设施性用房用地面积 ㎡ *****.**
* 生产服务设施性用房用地面积
比例 % *.**% 规划要求≤*%
* 生产服务设施性用房建筑面积 ㎡ *****.**
** 生产服务设施性用房建筑面积
比例 % **.**% 规划要求≤**%
** 绿地率 % **.**% 规划要求≥**%
** 机动车位 个 **** 当量换算后为 **** 个
** 非机动车停车位 个 ***电气安装工程、通风工程、围墙工程、采暖工程、环氧地坪、智能化工程、钢结构工程、吊顶工程、土石方、消防工程、外墙保温工程、安防工程、机电安装工程、供配电工程、照明工程、土建工程、防水工程、室外配套工程、防雷工程、桩基础、管网敷设、强弱电工程、PVC地板、管网工程安防设施、配电箱、喷淋系统、电气设施、通风系统、强弱电系统、办公家具、中央空调、供排水设施、不锈钢楼梯栏杆、插座、灯具、空调、停车场设备、护栏、应急电源盒、变配电设备、照明设施、开关、吸潮器、风幕机、监控系统、综合布线、通风保暖照明设备、地磅、劳动防护设备、起重设备、变压器、养护检验设备、输送设备、称重设备、烘干箱、空气调节器、车库门、消防设施、防火门、上料机、提升门、卷帘门、打码机、消防火警系统、涂装设备专业服务、技术服务电线电缆、管材管件、钢材、石材、报警器、开启门锁、墙砖、混凝土、防水材料、应急照明、防护服、外墙装饰材料、砖瓦**紫光存储科技有限公司***********项目负责人陈炜宁办公室职员***-********业主单位**紫光存储科技有限公司***********
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