光通信与智能传感芯片产业化项目
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项目详情
项目概况：建设地点位于******环**域火炬工业园通用厂房三期同龙二路***号厂房*-*层，工程规模：厂房建筑面积 ****m* 。总规模：InP 光通讯外延片***** 片/ 年，VCSEL 外延片***** 片 /年。芯片*** 万颗/年.总投资 ***** 万元，环保投资 *** 万元。计划开工时间 ****-*，预计投产时间 ****-**。
项目工程组成一览表
分类 工程组成 建筑面 积（m*） 建设功能及布局
主体工程 一层外延车间 ***m* 外延片生产车间为洁净车间，生产InP 光通讯 外延片和VCSEL 外延片。* 台MOCVD 及配套, 包括MOCVD 区、光栅区、光刻区、组装区、捡 漏区、技术夹道等。生产区为洁净无尘车间 二层芯片生产 ***m* 芯片生产车间为洁净无尘车间,包括薄膜间、 灰区、光刻间、化药间、清洗间、减薄间、芯片维修、解理区、测试间等。
辅助工程 三层办公室、 会议室 ***m* 办公室、会议室、QC 室 N* 站 ***m* 一层厂区南侧放置林德气体提供的液氮储罐* 个，**、** 立方米容积各一个。 H* 站 **m* 一层厂区南侧放置林德气体提供的氢气集装 格。每个气瓶集装格由**-**个氢气气瓶组成， 每个气瓶容积是**L 制纯水系统 ***m* 一层厂区东侧 位于制纯水室，一级RO+二级RO+EDI 超纯水系 统。纯水得率约为**% 特气间 **m* 一层厂区西北侧 存储硅烷、磷烷、砷烷、乙硅烷、TMGa、TEGa、 TMAl、TMIn、DEZn、CP*Mg（MO 源在线使用） 等特殊气体 化学品仓库 **.*m* * 个，位于厂区北侧，存放项目使用的化学品。 制冷机房、PCW 循环水系统、 一楼新风机组 （MAU） ***m* 一层厂区中部靠东侧（临近纯水室），用于厂 区空调制冷，新风处理，及反应腔室温度的精 准控制，主要由热交换器、循环泵、制冷螺杆 压缩机和控制系统、新风机组构成。 变配电室 ***m* 一层厂区东南侧变配电 洁净空气供气 机组（CDA） ** m* 二层东北角，给洁净车间供气 二楼新风机组 （MAU） ** m* 二层东南侧，提供洁净车间新风机组 UPS 电源组 ** m* 二层东南角，提供生产所需不间断电源
公用工程 给水工程 接自*政供水管网，向各用水处供水 供电工程 接自国家电网，经变电后，向用电处供电
环保工程 废水处理 在厂区北侧建设污水处理站。 含砷、含磷、含氟废水：化学混凝沉淀+过滤； 其他生产废水：中和后排放。 生产废水达标排放后通过*政污水管网排入翔安污水处 理厂。制纯水尾水直接排入*政污水管网。 生活污水：依托翔安火炬园区化粪池处理达三级标准后通 过*政污水管网排入翔安污水处理厂。 废气处理 砷烷磷烷废气 * 级串联喷淋+除湿 +活性炭吸附 *#排气筒**m 有机废气 活性炭吸附 *#排气筒**m 工艺设备尾气 酸碱废气 碱液喷淋塔 *#排气筒**m 一般废气（外 延洁净车间排 气） 无一般废气（芯 片洁净车间排 气） *#排气筒**m 噪声防治设施 隔声、减震、消声措施,选用静音电机，设备基础采用弹 簧减震和橡胶减震处理。 固废防治设施 一般固废设立一般固废暂存间，位于厂区北侧。 危险废物 设立危废暂存间**m*，位于厂区北侧， 采用防渗、防雨、通风措施，专人管理。 定期委托有资质的公司处置 生活垃圾 生活垃圾收集在垃圾收集桶交由环卫部 门处置 环境风险应急池设置 配套建设* 个容积为**m*的污水处理站 事故应急池，* 化学品仓库分别配置***L 的泄漏物收集池
环评机构：**闽科环保技术开发有限公司
受理日期：****-*-**电气安装工程、通风工程、围墙工程、采暖工程、环氧地坪、消防工程、场地平整、安防工程、机电安装工程、照明工程、土建工程、防水工程、室外配套工程、防雷工程、控制台、强弱电工程安防设施、配电箱、电气设施、通风系统、强弱电系统、办公家具、供排水设施、插座、发电机、灯具、停车场设备、仪器仪表、变配电设备、照明设施、开关、吸潮器、风幕机、皮带机、监控系统、综合布线、计量设备、通风保暖照明设备、地磅、冷风机、**辊桶组件、驱动装置、链条、降温设备、劳动防护设备、起重设备、养护检验设备、输送设备、车库门、消防设施、电子测量设备、储罐、上料机、提升门、卷帘门、色选机、混合机、消防火警系统、涂装设备专业服务、技术服务、消防维保电线电缆、管材管件、钢材、铝旁板、报警器、开启门锁、拉杆、承座、片架、应急照明、防护服全磊光电股份有限公司*****************环**域火炬工业园通用厂房 三期同龙二路*** 号厂房项目负责人张欣元办公室职员***********业主单位全磊光电股份有限公司*****************环**域火炬工业园通用厂房 三期同龙二路*** 号厂房
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