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项目详情
报批前公示 项目基本信息 环评批文日期
****-**-** 项目名称 集成电路制造用*** 毫米砷硅片及外延改造项目(一阶段) 项目名称 集成电路制造用*** 毫米砷硅片及外延改造项目(一阶段) 建设单位 **新昇半导体科技有限公司 所属行业 计算机、通信和其他电子设备制造业 建设地点 ****泥城镇****云水路****号 项目基本信息 本项目对现有一期项目进行技术改造,改造内容包括: *)将部分硅片原料由自制硅棒改为外购含砷晶段,进行含砷硅片的生产(即硅片掺砷技改); *)将现有使用(混氢)磷烷和(混氢)硼烷的外延工艺,改为全部使用(混氢)砷烷,少量添加(混氢)磷烷和(混氢)硼烷的掺砷外延(即外延片掺砷技改)。 *)环保设施新增一套含砷废水处理系统,以及配备含砷废气处理设施。 项目分两阶段建设,其中硅片掺砷技改全部在二阶段实施,外延片掺砷技改分两阶段实施。 设计单位 / 计划开工日期 ****-**-** 环评项目登记号 ***-**-**-** 环评批文文号 沪自贸临管环保许评[****]**号 环评批文日期 ****-**-** 联系人 王先生 联系电话 ******** 电子邮箱 binbing.*********** 建设期 实际开工日期
****-**-** 实际开工日期 ****-**-** 实际开工日期 ****-**-** 施工期环保措施落实情况(pdf) ** 施工期环保措施落实报告 集成电路制造用***毫米砷硅片及外延改造项目.pdf 下载 施工期环境监测结果(pdf) 竣工及调试期 开始调试日期
开始调试日期 竣工日期 开始调试日期 联系人 联系电话 非重大调整报告(pdf) 环保措施落实情况(pdf) 竣工环保验收 公示起始日期
公示起始日期 公示起始日期 验收报告 ***生态环境局主办***大数据中心制作 联系电话:********办公时间:周一至周五*:**--**:**(节假日除外)
温馨提示:
• 此项目提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展,信息包括批复、公示等内容。
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