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集成电路大硅片改扩建项目
发布日期:2024年04月03日 | 标签:
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项目详情

集成电路大硅片改扩建项目***机械电子扩建*****项目名称:集成电路大硅片改扩建项目项目概况:集成电路大硅片改扩建项目,建设地点位于**回族自治区*****经济技术开发区,一分厂位于**经济技术开发区光明西路**号,二分厂位于**经济技术开发区宝湖西路*号,建设性质改扩建,总投资为*****万元,建设规模:本项目改扩建后,可将**英寸单晶硅片产能由***万片/a提升至***万片/a,即新增产能***万片/a。本项目工程组成一览表(一分厂)类别项目建设内容备注主体工程*英寸单晶炉车间?在现有预留车间内新增**台**英寸单晶炉,可年产单晶硅棒***t;主要生产工艺为:装料→抽真空→高温化料→掺杂→稳温→ 引晶/拉晶→清炉。新增后处理车间?依托二分厂后处理车间,本次一分厂生产的单晶硅棒运至二分厂截断、切片等后处理;生产工序主要有截断→单晶检测→滚磨→粘接/固化→切割、脱胶→清洗/烘干;生产设备主要有切片机、滚磨机、截断机、腐蚀机、剥离清洗机、检测设备、酸腐蚀机、碱腐蚀机、择优腐蚀机等。依托二分厂辅助循环冷却系统?依托现有循环水系统(总循环水量为****m?/h),主要供单晶炉冷却降温使用。采用闭式方形冷却塔,共*座;冷冻机房设有*套冷冻设备,制冷剂采用R***a;*个****m?循环水池。依托?本次新增*座冷却塔。新增空压机房?依托现有,*座,占地面积***m?,内设*台空压机。依托纯水站?依托现有,*座,占地面积***m?,设有*套制纯水设备,采用RO反渗透工艺,纯水制备能力为**m?/h。工程锅炉房?依托现有,*座,占地面积***m?,设置*台*th的燃气热水锅炉,用于厂区冬季办公生活供暖。变电站?依托现有,*座,占地面积为***.**m? , 设置*台主变压器(*×*****kVA)。办公楼?依托现有,*座,*F,占地面积****m?,用于职工办公。门卫?现有设置*个门卫室,西、北侧各*个,北侧入口为人流通道,西侧入口为物流通道。储运工程库房原料库?依托现有原料库*座,占地面积****m?,主要用于原料的暂存。依托产品库?现有产品库*座,占地面积****m?,主要用于产品的暂存。氩气站?依托现有氩气罐区,*个容积均为**m?液氩储罐,*个气化罐(缓冲罐)。公用工程供电?电源接自园区供电管网,经厂区配电系统接入本项目用电单元。/供热?生产设备采用电加热;办公生活采用厂区天然气锅炉供热。/供水?由**经济技术开发区供水管网统一提供。本项目一分厂新增用水主要为循环冷却系统用水、真空泵用水、纯水制备系统用水和生活用水,新鲜总用水量为**.**m?/d(****.?**m??/a)。/排水?? 本项目一分厂新增废水主要为循环系统排水、真空泵冲洗废水、纯水制备系统排水以及生活污水,废水产生总?? 量约为**.**m?/d(****.**m?/a),依托现有排水系统。循环冷却系统排水、真空泵冲洗废水、纯水制备系统排水均属于清净下水,直接汇入厂区生产废水排放口排入园区污水管网,最终进入***第九污水处理厂;生活污水利用化粪池处理后利用生活污水排放口排入园区污水管网,最终进入***第九污水处理厂。/环保工程废气处理抽真空及清炉废气:清炉废气经设备自带滤芯除尘器处理后与抽真空废气依托现有“脉冲滤筒除尘器(*套,*用*备)+**m高排气筒(DA***)”处理设施处理达标后排放。依托废水处理本项目一分厂生产废水均属于清净下水,直接利用生产废水排放口排入园区污水管网,最终进入***第九污水处理厂。生活污水及食堂废水依托现有隔油池(*个*m?)+化粪池(*个**m?)处理后经生活污水排放口排入园区污水管网,最终进入***第九污水处理厂。噪声治理新增噪声设备设置消声、基础减振,厂房隔声等措施。新增固体废物生活垃圾:依托现有生活垃圾收集箱,收集后交由环卫部门统一处理。依托一般固废间:依托现有*座,面积**.*m?。埚底料收集后外委回收处理后作为生产原料回用于生产(已与***必达金属制品有限公司签订协议)。废坩埚、废石墨件、废钢线、废离子交换树脂等由厂家回收。收尘粉由**龙泰达建筑工程机械有限公司外运至工业固废填埋场处理。废包装材料(塑料袋、纸箱)交由园区环卫部门统一处理。依托现有危废库*座,面积**m?,新增废矿物油暂存后定期定期交由有资质单位处置(已与**宁东清大国华环境**有限公司签订危险废物处置协议)。风险防范依托现有一座***m?事故水池。本项目工程组成一览表(二分厂)类别项目建设内容备注主体工程**英寸单晶炉车间?? 现有*座,*F,钢结构,占地面积****m?;?? 对现有**台**英寸单晶炉进行技术改造,改造后单晶炉数量不变,主要方式为:①通过优化工艺降低DIP数、缩短化料时间、缩短冷却时间、缩短拉晶准备时间以及增加液口距控制仪、控制拉速精度、优化工艺参数调整单晶四物性参数等措施,使得合格率提升;②加高炉筒、增加投料量(拉制晶棒长度****mm变为****mm,炉筒高度****mm增高指****mm,单炉投料量可较之前增加***kg)。?? 主要生产工艺为:装料→抽真空→高温化料→掺杂→稳温→ 引晶/拉晶→清炉。技术改造在现有车间预留区域新增**台单晶炉,工艺如上。新增后处理车间现有*座,*F,钢结构,占地面积****.**m?;生产设备主要有切片机、滚磨机、截断机、腐蚀机、剥离清洗机、检测设备、酸腐蚀机、碱腐蚀机、择优腐蚀机等生产工序主要有截断→单晶检测→滚磨→粘接/固化→切割、脱胶→清洗/烘干。依托在现有车间预留区域新增截断机、滚磨机、剥离清洗机各*台,切片机**台,以及其他辅助设备等;工艺如上。新增辅助循环冷却系统依托现有循环水系统(总循环水量为****m?/h)。冷却塔采用方形冷却塔,*座;同时设有*套冷冻设备,制冷剂采用HFC-***a;循环水池:*个****m?。依托纯水站依托现有软水站,设置*套制纯水设备,采用RO反渗透工艺,纯水制备能力为**m?/h。锅炉房现有锅炉房*座,占地面积***m?,内置*台*th和*台*th的燃气热水锅炉,用于厂区办公生活供暖。工程变电站现有设置**/**kV降压站*座,*F框架结构,占地面积***m?,站内设置*台主变压器(*×*****kVA)。办公楼依托现有办公楼*栋,*F,占地面积****.**m?。宿舍楼依托现有宿舍楼*栋,*F,占地面积****.**m?,用于职工倒班休息。门卫现有设置*个门卫室,南、北侧各*个,南入口为人流通道,北入口为物流通道。储运工程库房原料库依托现有原料库*座,占地面积***m?,主要用于原料的暂存。依托化学品库化学品库分为酸库(*座,占地***m?)和碱库(*座,占地***m?),主要贮存酸、碱等,均采用桶(瓶)装。产品库现有产品库*座,占地面积***m?,主要用于产品的暂存。氩气站依托现有氩气罐区,*个**.*m?和*个**.**m?的液氩储罐。公用工程供电电源接自园区供电管网,经厂区配电系统接入本项目用电单元。/供热生产设备采用电加热;办公生活采用厂区天然气锅炉供热。供水?? 由**经济技术开发区供水管网统一提供。本项目二分厂新增用水主要为生产用水和生活用水,生产用水包括单晶棒滚磨用水、截断用水、铬酸配制用水、单晶检测清洗用水、切片清洗用水、循环冷却系统用水、真空泵用水以及纯水?? 制备系统用水。本项目新鲜总用水量为***.**m?/d(*****.**m?/a)。/排水?? 二分厂新增废水主要为单晶棒滚磨废水、截断废水、单晶检测废水、切片清洗废水、循环冷却系统排水、真空泵冲洗废水、纯水制备系统排水以及生活污水,废水产生总量约为***.**m?/d(*****.**m?/a,含物料进水),依托现有排?? 水系统。所有废水经厂区总排放口排入*政管网,最终进入***第三污水处理厂。/环保程废气处理抽真空及清炉废气:清炉废气经设备自带滤芯除尘器处理后与抽真空废气依托现有*套“二级滤筒除尘器+板式过滤器+二级碱液喷淋塔+**m高排气筒(DA***)”处理设施处理达标后排放。酸洗废气:依托现有,密闭集气罩收集后采用*套“四级串联碱液喷淋塔+**m排气筒(DA***)”处理达标后排放。污水处理站:依托现有*套“*级生物除臭喷淋塔+除雾板+*级活性炭吸附+**m高排气筒(DA***)”处理设施处理达标后排放。依托废水处理?? 依托厂区现有污水处理站,废水采用分质、分类收集处理的原则:?? 截断滚磨废水处理设施:*套,规模***m?/d,处理工艺为“混凝沉淀”。?? 切片废水处理设施:采用两套独立的切片废水处理设施处理,高浓度切片废水先采用废水预处理设施(*套,规模为**m?/d和**m?/d,处理工艺均为“絮凝沉淀+铁碳微电解+厌氧发酵”),处理后的废水与低浓度切片废水混合进入生化处理系统(*套,规模为***m?/d和****m?/d,处理工艺均为“絮凝沉淀+水解酸化+接触氧化”)。?? 含氟废水处理设施:*套,规模***m?/d,处理工艺为“中和+混凝沉淀”。?? 食堂废水及生活污水处理设施:隔油池(*个*m?)+化粪池(*个**m?)+*座地埋式一体化生活污水处理设施(规模**m?/d,处理工艺为“调节池+水解酸化+接触氧化+沉淀池”)。依托厂区废水总排口配套废水在线监测设施*套。噪声治理新增噪声设备设置消声、基础减振,厂房隔声等措施。新增固体废物生活垃圾:依托现有生活垃圾收集箱,收集后交由环卫部门统一处理。依托一般固废间:依托现有,共*座,单座面积**m?。头尾料、埚底料收集后外委回收处理后作为生产原料回用于生产(已与***必达金属制品有限公司签订协议)。废坩埚碎片、废石墨件、废钢线、废离子交换树脂、废滤芯、废滤膜等由厂家回收。废样片、污水站污泥由**龙泰达建筑工程机械有限公司外运至工业垃圾填埋场处理。废包装材料(塑料袋、纸箱)交由园区环卫部门集中处置。?? 依托现有危废库共*座:?? *座,面积**m?,主要暂存污泥(含氟、切片);?? *座,面积***m?,主要暂存新增的废矿物油、废切削液泥、废酸液(含铬)、含砷废物、含砷粉尘、含砷热场、废胶/树脂、废包装物、废活性炭、实验废液(在线设备)等危险废物暂存后定期定期交由有资质单位处置(已与**?? 宁东清大国华环境**有限公司签订危险废物处置协议)。风险防范依托现有一座***m?事故水池。本项目完成后产品方案一览表产品名称规格/型号产能包装方式储存位置备注现有改扩建后整体单晶硅片***mm(**英寸)***万片/a***万片/a盒装库房外售注:本项目一分厂只生产**英寸单晶硅棒(***ta),截断、切片等后处理运至二分厂进行。本项目完成后主要生产设备一览表序号名称规格型号数量备注一分厂*单晶炉FT-CZ****C**台新增*热场**英寸**套新增*磁场**英寸**套新增*真空泵TM******台新增*循环水冷却塔CCT-D**CUF/CXW-***ASSW*座新增*循环水泵CL*****-*****台现有*空压机SM**W,产气量**.*m?/min*台现有*空压机冷却水泵CL*****G-*******台现有二分厂*单晶炉FT-CZ******台改造**台新增*热场**英寸**套改造**套新增*磁场**英寸**套现有**套新增*截断机ABS**-**S***-LTG-S**TL*台现有ABS**-**S***-LTG-S**TL*台新增*滚磨机AGR**-**S***-RSG-SNS*台现有AGR**-**S***-RSG-SNS*台新增*切片机F***E-**H**台现有E***E-**H**台新增*剥离清洗机C-RW-****台现有C-RW-****台新增*砂浆回收装置定制*套现有,切削液回收*真空泵YE*-***M*-***台现有**台新增**循环水冷却塔CXW-***ASSW*座现有**循环水泵CL*****-*******台现有*台新增**空压机E***n-W**.*,产气量**.*m?/min*台现有*台新增**空压机冷却水泵CL*****G-*******台现有*台新增环评机构:众旺达(**)技术咨询有限公司受理时间:****-**-**景观绿化工程 电气安装工程 通风工程 停车场工程 围墙工程 门窗工程 环氧地坪 标识标牌 智能化工程 土石方 消防工程 场地平整 幕墙工程 给排水工程 安防工程 机电安装工程 供配电工程 土建工程 室外景观 防水工程 室外配套工程 防雷工程 楼宇亮化 桩基础 强弱电工程 基坑支护钻床 上板机 贴片机 干燥机 环保设备 除尘设备 输送设备 冲床 输送设备 抛丸机 检测设备 喷码机 挤出机监理服务 方案编制服务 环境影响报告编制服务 地质勘察服务 招标代理服务 安全评估服务 技术咨询服务 审计服务 工程设计服务防水材料 防腐材料 保温材料 地板 瓷砖 混凝土 水泥 钢筋 劳保用品 安全帽 防护帽 防护服 劳保服 劳保鞋 绝缘鞋 劳保手套 工作服业主单位**中欣晶圆半导体科技有限公司*************回族自治区***经济技术开发 区项目负责人吕飞办公室职员***********

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