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项目详情
集成电路材料测试分析平台项目***文化体育******项目名称：集成电路材料测试分析平台项目项目概况：集成电路材料测试分析平台项目，建设地点位于*****（区）新徕路***号租赁生产厂房（*幢）*层C区，建设性质**，总投资****万元，其中环保投资**万元，环保投资占总投资比例*%，施工工期****年**月至****年*月，租赁建筑面积***平方米，拟**实验室，从事电子工业相关材料研发和分析测试等实验，实验内容分为七个部分：高通量材料研发、研磨工艺研发、清洗液研发、物理分析测试、化学分析测试、光刻胶树脂测试、快速退火炉工艺研发。其中，物理分析测试和化学分析测试规模为对外检测服务规模。实验内容及规模序 号 实验内容 所在位置 实验批次 实 验 时 间 研发量 实验样品去向* 高通量材料研发 HTC 区 **** 次/年 *h/d ***d/a ， **** 片/年 委外测试，测试后 作固废处理* 研磨工艺研发 研磨区 *** 次/年 *h/次 *** 片/年 至材料表征实验 区进行物理检测， 测试后作固废处 理* 清洗液研发 刻蚀区 **** 次/年 *h/d ***d/a ， *t/年 至材料表征实验 区进行化学检测， 硅片清洗效果委 外测试，测试后样 品作固废处置* 物理分析测试 材料表征 实验区 **** 次/年 *h/d ***d/a ， / 材料表征实验区 检测，测试后样品 作固废处置* 化 学 分 析 测试 有机前处理 **** 次/年 *h/次， ***d/a / 无机前处理 **** 次/年 *h/次， ***d/a /* 光刻胶树脂测试 黄光区 **** 次/年 *h/d ***d/a ， **** 片/年 黄光区测试，测试 后作固废处理* 快速退火炉工艺研发 退火炉区 **** 次/年 *h/d ***d/a ， **** 片/年 委外测试，测试后 作固废处理项目组成一览表名称 位置 组成 建设内容及规模 备注主 体 工程*** 号厂区生产 厂房（ 局部 * 幢）*F各实验区 租赁二层建筑面积 ***m*，新增实验设备，设置 HTC 区、研磨区、刻蚀 退火炉区，从事材料研发和分析测试等实验。 区、材料表征实验区、黄光区和**辅 助 工程*** 号厂区 门卫 建筑面积 **m* 依托 新傲公 用 工程*** 号厂区** 站（* 幢）， ****.**m* 纯水供应 所需纯水向新傲公司购买，本项目需求量约 **.*t/d。 其他租赁企业芯物公司的需求量 ***.*t/d、新硅公司 的需求量 ***.**t/d，新傲公司在**站一层设 * 套 纯水制备系统，采用双介质过滤器+二级RO+膜脱气 +MGR混床+抛光混床+微滤的方法，纯水制备总能力 为 ***t/h（最大 ****t/d），可满足租赁企业的需求。 /压缩空气供 应 所需压缩空气向新傲公司购买，本项目需求量 *.**m* /min 。 其 他 租 赁 企 业 芯 物 公 司 的 需 求 量 *.**m* /min。新傲公司在**站二层内，设无油式空 压机 * 台，各 **m* /min。可满足租赁企业的需求。 /冷冻水供应 所需冷冻水向新傲公司购买，本项目需求量很小。 其他租赁企业芯物公司的需求量 ****USRT。新傲公 司在**站二层，设离心式冷冻机组 * 台，总冷量 ****USRT；设全热回收冷热水机组 * 台，****USRT。 可满足租赁企业的需求。 / 供电 园区电网提供，依托新傲公司 * 台 ****KVA变压器 依托 新傲给水系统 由现有给水引入管，新敷设少量供水管网。 ***** 号厂区 排水系统 废水排水管网**，依托 *** 号厂区现有 * 个污水 总排口，现有 * 个雨水排口，雨水排口均设截止阀。 依 托 新傲储运 工程*** 号厂区危化 品仓库(* 幢)*F 酸库、有机 库 本项目独立使用，与其他库区之间设有防爆墙。 内部分设*个独立隔间，作酸库（*m*）、有机库（*m*）， 储存项目使用的各类酸、有机化学品。研磨工艺研 发所需氨水、氢氟酸、双氧水由芯物公司位于租赁 厂房 *F的集中化学品中转区通过管道直供，仅保证 车间使用量，车间内不储存。 ***** 号厂区生产 厂房(* 幢) 特气柜 依托芯物公司 *F特气间，建筑面积 **m*，在其内部 本项目设独立的氨气特气柜和供应管道。 **一般仓库 租赁厂房的 *F，位于材料表征实验区西侧，存放普 通货物。 ***F试剂柜 租赁厂房的 *F，共 * 个，存放瓶装化学试剂 **环 保 工程*** 号厂区 废气治理 酸性废气处理和排放系统：设 * 用 * 备碱洗塔，单 套处理能力 *****m* /h，排气筒DA*** 高 **m。芯物 公司一期项目酸性废气设计需求风量 *****m* /h，处 理余量 ****m* /h，本项目新增 ****m* /h，在处理余 量范围内，依托可行。 依 托碱性废气处理和排放系统：设 * 用 * 备酸洗塔，单芯物 套处理能力 *****m* /h，排气筒DA*** 高 **m。芯物 公司一期项目碱性废气设计需求风量 ****m* /h，处 理余量 *****m* /h，本项目新增 ****m* /h，在处理余 量范围内，依托可行有机废气处理和排放系统：设 * 用 * 备活性炭吸附 装置，装填量 *.***t，风量 *****m* /h，排气筒DA*** 高 **m。芯物公司一期项目有机废气设计需求风量 ****m* /h，处理余量****m* /h，本项目新增****m* /h， 在处理余量范围内，依托可行。 *** 号厂区 废水处理 本项目的实验清洗废水收集混合后，设废水水质监 控点，最终纳入新傲公司设计能力 ****t/d的综合废 水处理站，经二次中和处理后，与生活污水一并， 经 *** 号厂区污水总排口纳入*政污水管网。该废 水处理站的日常维护管理由新傲公司负责，废水处 理过程使用药剂产生的废化学品包装亦有新傲公司 负责委托处置。 依 托 新傲*** 号厂区 固体废物储 存 一般固废暂存区，依托新傲公司的一般仓库，划分 **m* 单独区域供本项目使用。具体位置见附图 *。 **废液储存：位于生产厂房 * 幢的一层半地下区域， *****m* 酸性废液、***m* 碱性废液、***m* 有机 废液储罐。 **其他危废暂存：位于酸库、碱库西南侧空地，新增 约 **m* 集装箱式危废暂存间。 ***** 号厂区 噪声防治 低噪声设备，建筑隔声，设备减震。 ***** 号厂区 防渗措施 综合废水处理站：一般防渗区，等效黏土防渗层 Mb≥*.*m、K≤*×**-* cm/s（或参照GB***** 执行） 依 托 新傲废气处理设施区：地上 *F，采用硬化水泥地坪 依 托 芯物实验区域：地上 *F，采用硬化水泥地坪 **废液储罐：地上，硬化水泥地坪并敷环氧树脂涂层； 集装箱危废间落实防泄漏、防渗、防淋、防风、防 火等措施，渗透系数满足≤**-** cm/s **酸库、有机库：硬化水泥地坪并涂敷环氧树脂涂层， 渗透系数满足≤**-** cm/s ***** 号厂区 风险防范措 施 利用生产厂房（*）幢 *F的特气间，内设本项目专用 氨气特气柜和有毒气体浓度侦测器，特气柜负压排 风接至芯物公司的酸洗塔 依 托 芯物酸库、有机库：设防泄漏托盘/地沟、防渗地坪 新增废液储罐：设围堰、防渗地坪。集装箱危废间落实 防泄漏、防渗、防淋、防风、防火等措施。 新增 事故废水收集防控措施：事故应急池有效容积 ***m*，*** 号厂区雨水总排口处设雨水截止阀 依 托 新傲主要实验设备清单实验内容 位置 设备名称 规格型号 使用工序 单位 数量高通量材 料研发 HTC 区?物理气相沉积设备 * 寸 薄膜沉积 台 *原子层沉积设备 * 寸 薄膜沉积 台 *臭氧发生器及自带臭氧尾气破坏器/ 自制臭氧 台 *臭氧尾气破坏器 / 原子层沉积设备 台 *X 射线光电子能谱仪*/ 分析测试 台 *研磨工艺研发研磨区化学机械研磨设备 / 化学机械研磨 台 *抛光液供应系统 / 集中供液 台 *清洗液研发刻蚀区清洗机 槽式 清洗 台 *甩干机 / 甩干 台 *集中供液系统 / 集中供液 台 *物理及化学分析测试材料表征实验区离子色谱仪（IC 仪） 赛默飞 ICS **** 测试分析 台 *TOC 分析仪 耶拿 multi N/C **** 测试分析 台 *TOC 分析仪 耶拿 multi N/C UV HS 测试分析 台 *液体颗粒计数仪 RION KS-**BF 测试分析 台 *分析天平 / 称重 台 *超声波清洗机 / 清洗 台 *红外加热灯 / 样品处理 台 *电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）PE Nexion **** 测试分析 台 *超净进样台 / 测试分析 台 *超纯水仪 Milli-Q IQ **** Element 测试分析 台 *氦气检漏仪 / 测试分析 台 *尘埃粒子计数器 / 测试分析 台 **D 扫描仪 / 测试分析 台 *化学电离飞行时间质谱仪(CI-TOFMS) / 测试分析 台 *热裂解进样器 / 测试分析 台 *高低温湿热试验箱 电加热 测试分析 台 *表面电阻测试仪 / 测试分析 台 *静电测试仪 / 测试分析 台 *运输振动试验机 / 测试分析 台 *跌落试验机 / 测试分析 台 *超声波探测仪 / 测试分析 台 *摩擦系数仪 / 测试分析 台 *有机通风橱 风量 ****m*/h 样品处理 个 *无机通风橱 风量 ****m*/h 样品处理 个 *容量瓶 / 测试分析 个 若干消解罐 / 测试分析 个 若干滤纸、漏斗等过滤设备/ 测试分析 个 若干黄光区液体颗粒计数仪 RION KS-**A 测试分析 台 *接触角测试仪 KRUSS DSA***W 测试分析 台 *凝胶色谱仪(GC-MS) / 测试分析 台 *有机通风橱 风量 ****m*/h 样品处理 个 *无机通风橱 风量 ****m*/h 样品处理 个 *光刻胶树脂测试黄光区曝光系统 VUVES-****i 曝光 台 *冷却器 / 冷却 台 *涂胶机及集液槽 LSC ***C 涂胶 台 *烘烤机 LWB-** 烘干 台 *HMDS 应用系统 APPS-** 预处理 台 *膜厚量测系统 KF-** 测试分析 台 *显影机及集液槽 RDA-***OGN 显影 台 *高通量配胶机 / 样品制备 台 *涂膜均匀分析机及集液槽 Dual **** 涂膜分析 台 *ArF 浸水测量仪 WE*A-* 测试分析 台 *快速退火 炉工艺研 发 退火 炉区 退火炉 * 寸 快速退火 台 *环评机构：**建科环境技术有限公司联系地址：******宛**路**号联系人：石工联系电话：***-********通风工程 围墙工程 门窗工程 采暖工程 环氧地坪 智能化工程 吊顶工程 土石方 人防工程 外墙工程 幕墙工程 外墙保温工程 场地平整 安防工程 机电安装工程 照明工程 亮化工程 土建工程 供暖工程 防水工程 防雷工程 桩基础 装饰装修工程 基坑支护 管网工程 标识标牌 消防工程安防设施 锅炉 电气设施 通风系统 强弱电系统 供排水设施 灯具 空调设备 计算机 一卡通系统 变配电设备 照明设施 开关 监控系统 综合布线 电子数码类设备 消防设施 开窗机 消防火警系统 新风系统 办公家具 实验室设备专业服务 教育服务电线电缆 管材管件 石材 报警器 墙砖 混凝土材料 地砖 保温材料 防水材料 防腐材料 应急照明 地板 外墙装饰材料 油漆涂料 砖瓦 陶瓷制品业主单位**集成电路材料研究院有限公司***-*************（区）新徕路***号租赁生产厂房（*幢）*层C区项目负责人赵国太办公室工程师***********
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施工准备 土地整理 三通一平
