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超宽禁带半导体薄膜沉积系统结果公告结果公告
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超宽禁带半导体薄膜沉积系统结果公告结果公告
发布日期:2023年12月04日 | 标签:
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公告摘要
受业主*******委托,招标网于2023年12月04日发布中标公告:超宽禁带半导体薄膜沉积系统结果公告结果公告。
请中标单位及时与业主相关负责人联系,及时签署相关商务合同;未中标供应商也可及时向业主提出相关质疑。于此项目有关的其他供应商也可与中标商*******联系,及时提供后续设备与服务。
部分信息内容如下:(查看详细信息请
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)
中标信息 成交供应商: **泰科诺科技有限公司 选择理由: 总价最低,推荐成交 质疑投诉说明: 如有质疑,请在三个工作日内将质疑说明文件(纸质)递交至国有资产管理处,逾期不予受理。 项目名称 超宽禁带半导体薄膜沉积系统 项目编号 ZBDXJC-******** 公告发布日期 ****/**/** **:** 报价截止时间 ****/**/** **:** 采购单位 中北大学 付款条款 货物交付到现场,安装、调试验收合格,经验收审计完成后,学校一次性支付***%的合同款项。 联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系手机 中标后在我参与的项目中查看 是否需要踏勘 否 踏勘联系人 踏勘联系电话 踏勘地点 踏勘联系时间 采购预算 ¥***,***.** 成交金额 ¥***,***.** 送货/施工/服务期限 合同生效之日起合同生效之日起,**个工作日内完成送货日内 送货/施工/服务地址 **省*******学院路*号 采购清单 * 采购内容 是否进口 计量单位 采购数量 售后服务及其他要求响应 分项报价 超宽禁带半导体薄膜沉积系统 否 套 * 交货后提供至少一周现场设备使用及维护培训服务,五年内无条件免费上门维修设备且保障在**小时内及时回应,五年内免费线上进行相关技术回复; ¥***,***.** 参考品牌及型号 不限定品牌型号 技术参数要求 设备主要技术参数 ★*真空腔室不小于φ***×H***mm,SUS***优质不锈钢真空腔室,上开门结构,顶板焊水线; ★*、真空系统复合分子泵+直联高速旋片式真空泵+高真空阀门+数显复合真空计; ★*真空极限*.*×**-*Pa(设备空载,抽真空**小时) ★*、升压率设备升压率:≤*.*Pa/h(**小时平均值); 设备保压:停泵**小时后,设备真空度≤**Pa; *、抽速从大气抽至*.*×**-*Pa≤**min(设备空载); 设备配置 *、复合分子泵 抽速不小于*** L/s *、机械泵 抽速不小于*L/s ★*、插板阀 DN***高真空电动插板阀 *、前级/预抽阀:DN**气动挡板阀*个; *、放气阀:Φ*mm,电磁截止阀; *、进气阀Φ*mm,电磁截止阀; *、数显复合真空计:两低一高,含规管; ★*、真空室不小于Ф***×H***mm,采用SUS***优质不锈钢.; 采用立式、圆柱体、气缸助力上翻盖结; ★*、磁控溅射室磁控靶,直径*英寸永磁靶不少于*个; **、配独立挡板,防止交叉污染; ★**、基片台尺寸Φ***mm,最大样品尺寸小于Φ***mm 驱动电机:转速*~**转/分钟,连续可调 ★**、基片台加热温度***℃,采用电阻铠装加热器及绝缘、屏蔽等; **、基片台气动挡板; **、观察窗 Φ** **、RF射频电源 ***W 自动匹配不少于*台; ★**、直流电源 ****W;数字式直流电源数显可调控不少于*台; **、脉冲偏压电源:-*kV;不少于*台; **、总控电源 ***V. **、控制面板电源 ***V **、转动控制电源 步进电机、转动等控制 **、电源机柜 **英寸触摸屏+PLC,完善的逻辑程序互锁保护系统 **、气路系统 ★**、质量流量控制器及量程范围:Ar,***sccm;N*,**sccm;O*,**sccm;不少于*路; **、设备尺寸:长×宽×高为****×***×****mm(长宽高),简洁美观,上面板为不锈钢罩板. **、冷水机 *P **、空压机 TYW-Ⅱ型 **、主要氟橡胶圈 **、主要无氧铜圈 **、不锈钢螺钉、螺母 **、水报警装置
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