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超宽禁带半导体薄膜沉积系统结果公告结果公告
发布日期:2023年12月04日 | 标签:
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公告摘要

    受业主*******委托,招标网于2023年12月04日发布中标公告:超宽禁带半导体薄膜沉积系统结果公告结果公告。
    请中标单位及时与业主相关负责人联系,及时签署相关商务合同;未中标供应商也可及时向业主提出相关质疑。于此项目有关的其他供应商也可与中标商*******联系,及时提供后续设备与服务。

    部分信息内容如下:(查看详细信息请登录
中标信息 成交供应商: **泰科诺科技有限公司 选择理由: 总价最低,推荐成交 质疑投诉说明: 如有质疑,请在三个工作日内将质疑说明文件(纸质)递交至国有资产管理处,逾期不予受理。 项目名称 超宽禁带半导体薄膜沉积系统 项目编号 ZBDXJC-******** 公告发布日期 ****/**/** **:** 报价截止时间 ****/**/** **:** 采购单位 中北大学 付款条款 货物交付到现场,安装、调试验收合格,经验收审计完成后,学校一次性支付***%的合同款项。 联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系手机 中标后在我参与的项目中查看 是否需要踏勘 否 踏勘联系人 踏勘联系电话 踏勘地点 踏勘联系时间 采购预算 ¥***,***.** 成交金额 ¥***,***.** 送货/施工/服务期限 合同生效之日起合同生效之日起,**个工作日内完成送货日内 送货/施工/服务地址 **省*******学院路*号 采购清单 * 采购内容 是否进口 计量单位 采购数量 售后服务及其他要求响应 分项报价 超宽禁带半导体薄膜沉积系统 否 套 * 交货后提供至少一周现场设备使用及维护培训服务,五年内无条件免费上门维修设备且保障在**小时内及时回应,五年内免费线上进行相关技术回复; ¥***,***.** 参考品牌及型号 不限定品牌型号 技术参数要求 设备主要技术参数 ★*真空腔室不小于φ***×H***mm,SUS***优质不锈钢真空腔室,上开门结构,顶板焊水线; ★*、真空系统复合分子泵+直联高速旋片式真空泵+高真空阀门+数显复合真空计; ★*真空极限*.*×**-*Pa(设备空载,抽真空**小时) ★*、升压率设备升压率:≤*.*Pa/h(**小时平均值); 设备保压:停泵**小时后,设备真空度≤**Pa; *、抽速从大气抽至*.*×**-*Pa≤**min(设备空载); 设备配置 *、复合分子泵 抽速不小于*** L/s *、机械泵 抽速不小于*L/s ★*、插板阀 DN***高真空电动插板阀 *、前级/预抽阀:DN**气动挡板阀*个; *、放气阀:Φ*mm,电磁截止阀; *、进气阀Φ*mm,电磁截止阀; *、数显复合真空计:两低一高,含规管; ★*、真空室不小于Ф***×H***mm,采用SUS***优质不锈钢.; 采用立式、圆柱体、气缸助力上翻盖结; ★*、磁控溅射室磁控靶,直径*英寸永磁靶不少于*个; **、配独立挡板,防止交叉污染; ★**、基片台尺寸Φ***mm,最大样品尺寸小于Φ***mm 驱动电机:转速*~**转/分钟,连续可调 ★**、基片台加热温度***℃,采用电阻铠装加热器及绝缘、屏蔽等; **、基片台气动挡板; **、观察窗 Φ** **、RF射频电源 ***W 自动匹配不少于*台; ★**、直流电源 ****W;数字式直流电源数显可调控不少于*台; **、脉冲偏压电源:-*kV;不少于*台; **、总控电源 ***V. **、控制面板电源 ***V **、转动控制电源 步进电机、转动等控制 **、电源机柜 **英寸触摸屏+PLC,完善的逻辑程序互锁保护系统 **、气路系统 ★**、质量流量控制器及量程范围:Ar,***sccm;N*,**sccm;O*,**sccm;不少于*路; **、设备尺寸:长×宽×高为****×***×****mm(长宽高),简洁美观,上面板为不锈钢罩板. **、冷水机 *P **、空压机 TYW-Ⅱ型 **、主要氟橡胶圈 **、主要无氧铜圈 **、不锈钢螺钉、螺母 **、水报警装置

为保证您能够顺利投标,请在投标或购买招标文件前向招标代理机构或招标人咨询投标详细要求,有关招标的具体要求及情况以招标代理机构或招标人的解释为准。

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