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中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台电子束蒸发仪、磁控溅射仪采购项目中标公告
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中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台电子束蒸发仪、磁控溅射仪采购项目中标公告
发布日期:2021年01月21日 | 标签:
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大学招标
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截止日期
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公告摘要
受业主*******委托,招标网于2021年01月21日发布中标公告:中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台电子束蒸发仪、磁控溅射仪采购项目中标公告。
请中标单位及时与业主相关负责人联系,及时签署相关商务合同;未中标供应商也可及时向业主提出相关质疑。于此项目有关的其他供应商也可与中标商*******联系,及时提供后续设备与服务。
部分信息内容如下:(查看详细信息请
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)
一、项目编号:HZ********-****(招标文件编号:****-****N*******)
二、项目名称:中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台电子束蒸发仪、磁控溅射仪采购项目
三、中标(成交)信息
供应商名称:科特莱思科(**)商贸有限公司
供应商地址:中国(**)自由贸易试验区张衡路****弄**-**号
中标(成交)金额:***.*******(万元)
供应商名称:***图智能科技有限公司
供应商地址:**省******望**街道银盆南路***号***房
中标(成交)金额:***.*******(万元)
四、主要标的信息
序号 供应商名称 货物名称 货物品牌 货物型号 货物数量 货物单价(元) * 科特莱思科(**)商贸有限公司 详见公告 详见公告 详见公告 详见公告 详见公告 序号 供应商名称 货物名称 货物品牌 货物型号 货物数量 货物单价(元) * ***图智能科技有限公司 详见公告 详见公告 详见公告 详见公告 详见公告
五、评审专家(单一来源采购人员)名单:
何煌(主任评委)、刁一峰、朱丽琴、刘兴武、袁小明(业主评委)
六、代理服务收费标准及金额:
本项目代理费收费标准:按国家计委计价格【****】****号文及发改办价格[****]***号规定标准的**%收取,按中标金额计算。
本项目代理费总金额:*.******* 万元(人民币)
七、公告期限
自本公告发布之日起*个工作日。
八、其它补充事宜
*、供应商投标情况:
第一包:中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台电 子束蒸发仪采购项目
供应商信息名称
资格性
审查结果
符合性
审查结果
投标报价(元)
综合
得分
推荐
排名
是否成交
候选人
科特莱思科(**)商贸有限公司
审核通过
审核通过
*******
**.**
*
是
昊臣机电(**)有限公司
审核通过
审核通过
*******
**.*
*
是
**景帆国际进出口有限公司
审核通过
审核通过
*******
**.**
*
是
***晞灵国际贸易有限公司
审核通过
审核通过
*******
**.**
*
否
第二包:中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台磁控溅射仪采购项目
供应商信息名称
资格性
审查结果
符合性
审查结果
投标报价(元)
综合
得分
推荐
排名
是否成交
候选人
***图智能
科技有限公司
审核通过
审核通过
*******
**.**
*
是
**硕德科技
有限公司
审核通过
审核通过
*******
**.**
*
是
昊臣机电(**)有限公司
审核通过
审核通过
*******
**.**
*
是
**摩世达科技有限公司
审核通过
审核通过
*******
**.**
*
否
科特莱思科(**)商贸有限公司
审核通过
审核通过
*******
**
*
否
*、主要标的信息
第一包:中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台电子束蒸发仪采购项目
分项项目名称
(标的名称/条目号/
品目名称)
规格型号
(或项目特征描述)
品牌
产地
数量/单位
金额(元)
备注
*
镀膜工艺腔
***不锈钢方形腔室
Kurt J.Lesker
美国
一台
*****
*
真空泵系统
CTI低温泵+爱德华干泵
EDWARDS
美国/英国
*套
******
*
真空测量系统
KJLC ***系列全量
程真空计
Kurt J.Lesker
美国
*套
******
*
系统框架
开放式框架
Kurt J.Lesker
美国
*套
******
*
电子束蒸发系统
KL-*型电子枪、
*x**CC坩埚、
Kurt J.Lesker
德国
*套
******
*
膜厚控制系统
软件集成膜厚控制
Kurt J.Lesker
美国
*套
******
*
控制系统及工作
eKLipseTM软件
Kurt J.Lesker
美国
*套
******
*
配件(晶振片)
KJLCRYSTAL*-G**
Kurt J.Lesker
美国
*盒
****
*
配件(石墨坩
EVCFABEB-**
Kurt J.Lesker
美国
*个
****
**
冷水机
H*-KJ,制冷量*kw
同洲维普
中国
*套
*****
第二包:中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台磁控溅射仪采购项目
分项项目名称
(标的名称/条目号/
品目名称)
规格型号
(或项目特征描述)
品牌
产地
数量/单位
金额(元)
备注
*
主反应腔室
AJA *** S/S不锈钢超高真空反应腔体,腔室尺寸**.*"高 x **"外径
AJA
美国
* 套
******
*
样品台
最大容纳直径*英寸的基片;最高加热温度***℃,温控精度±*℃
AJA
美国
* 套
******
*
磁控溅射靶枪
AJA*英寸超高真空磁控溅射靶枪;靶枪采用稀土磁铁,可以承受 ***℃
高温和 **-**Torr 真空环境
AJA
美国
* 套
******
*
射频电源
AJA ***W射频电源,自动匹配网络,含电缆
AJA
美国
* 套
******
*
脉冲直流电源
TruPlasma DC ****系列脉冲直流电源*KW
TRUMPF
德国
* 套
******
*
真空泵组
主腔室一套:Pfeiffer *** l/s宽量程涡轮分子泵以及*.* cfm
(NeoDry**)干式机械泵
预真空室一套:**l/s宽量程复合涡轮分子泵以及*cfm机械前级泵
Pfeiffer
德国
* 套
******
*
电源转换器
SBRF-*-A(射频)/SBDC-*-A(脉冲直流)
AJA
美国
* 套
*****
*
气路
MKS质量流量控制计(Ar-***sccm, O*、N*-**sccm),带气动隔离阀和过滤器
MKS
美国
* 路
******
*
预真空室
配有磁性传送臂、带定制样品托盘衬托器、全量程真空计、手动插板阀
AJA
美国
* 套
******
**
膜厚监控系统
SQM-***
Inficon
瑞士
* 套
*****
**
工作站及控制系统
Phase II-J
AJA
美国
* 套
******
**
水冷机
CW****AN
特域
中国
* 个
*****
**
耗材(常用靶材)
常用靶材总共*个:Al,Ni,Ge,ITO,NiO,TiO*
中诺新材
中国
* 个
*****
**
耗材(加热灯丝)
定制
定制
中国
** 个
*****
*、公告期限
自本公告发布之日起一个工作日。投标供应商如对此公告有异议的,请于此公告发布之日起七个工作日内,以书面形式向采购人、代理机构一次性提出质疑。
*、其他补充事宜
本次中标公告同时在中国政府采购网(http://www.ccgp.gov.cn/)中南大学校园网(http://tz.its.csu.edu.cn/)、中南大学采购与招标管理中心网(http://czzx.csu.edu.cn/)上发布。
九、凡对本次公告内容提出询问,请按以下方式联系。
*.采购人信息
名 称:中南大学
地址:***麓山南路***号
联系方式:张老师 ****-********
*.采购代理机构信息
名 称:***********
地 址:******湘府东路***号招标大厦
联系方式:张女士 王女士 ****-********
*.项目联系方式
项目联系人:吴老师
电 话: ***********
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