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紫外光刻机竞价项目成交公告
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紫外光刻机竞价项目成交公告
发布日期:2021年01月15日 | 标签:
光刻机招标
38194253
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公告摘要
受业主*******委托,招标网于2021年01月15日发布中标公告:紫外光刻机竞价项目成交公告。
请中标单位及时与业主相关负责人联系,及时签署相关商务合同;未中标供应商也可及时向业主提出相关质疑。于此项目有关的其他供应商也可与中标商*******联系,及时提供后续设备与服务。
部分信息内容如下:(查看详细信息请
登录
)
一、采购需求信息 项目号 HW********** 设备品目类别 仪器设备 设备用途 科研 竞价开始时间 ****-**-** **:**:** 竞价结束时间 ****-**-** **:**:** 紫外光刻机 商品名称 紫外光刻机 品牌/厂家 IOE/中国科学院光电技术研究所 型号 URE-****/**L 数量 * 计量单位 台 成交单价 ******.** 元 成交供应商 中国科学院光电技术研究所 保修年限 *年 技术指标 ? 曝光面积:*英寸? 曝光波长:***nm? 分辨力:*.*μm-*μm? 对准精度:±*. *μm? 掩模样片整体运动范围:X:**mm;Y:**mm? 掩模尺寸:*.*英寸、*英寸、*英寸、*英寸? 样片尺寸:直径Ф**mm-- Ф***mm(各种不规则片),厚度可适应*.*mm--*mm(最大可扩展为**mm)? 曝光方式:定时(倒计时方式)或定剂量? 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能? 双目双视场对准显微镜:可通过目镜目视对准,也可通过CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数***倍,光学+电子放大***倍,物镜三对:*倍、**倍、**倍,目镜三对:**倍、**倍、**倍? 调平接触压力通过传感器保证重复? 数字设定对准间隙和曝光间隙? 具备压印模块接口,也具备接近模块接口? 掩模相对于样片运动行程:X: ±*mm; Y: ±*mm; q: ±*º? 最大焦厚:***nm(SU*胶,用户提供检测条件)? 光源平行性:*.* º? 曝光能量密度:>**mW/cm&sup*;? 单层曝光一键完成? 采用球气浮自动找平? 照明不均匀性: ±*.*%( Ф***mm范围);? 曝光光源:紫外LED; 安装及售后要求 对提供产品实行至少*年质保期和永久的跟踪维护服务。设备技术响应时间在*小时内,现场技术支持响应时间在**小时内,**小时内排除设备故障;质保期满后负责长期按成本价提供所需配件 附件 无
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