激光光谱研究所磁控溅射仪采购结果公告
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公告摘要
请中标单位及时与业主相关负责人联系，及时签署相关商务合同；未中标供应商也可及时向业主提出相关质疑。于此项目有关的其他供应商也可与中标商*******联系，及时提供后续设备与服务。
部分信息内容如下：（查看详细信息请登录）
采购清单 * 采购内容 是否进口 计量单位 采购数量 售后服务 分项报价 磁控溅射镀膜系统 否 套 * *. 产品免费质保期为 * 年（整机）。 *. 质保期内设备的维修免费（人为损坏因素除外）。 *. 质保期内由于设备本身原因而引起的零配件（易损件除外）的更换，其费用由供方承担。 *. 建立客户设备信息档案，随时跟踪设备运行及维护，保证设备正常运行。 *. 在接到需方要求供方进行技术支持的正式通知（含电话或邮件通知）后，供方技术人员于 ** 小时内，赶到技术服务现场。 *. 对于质保期以外设备的维护，供方只收取成本费。 *. 所有配件、备件质保期外，供方长期按成本价及时提供。 *. 供方派技术工程师对需方人员进行技术培训。使需方人员能掌握有关系统设备的使用、维护和管理，达到能独立进行操作、日常测试维护等工作的目的。 *. 供方应提供详细的培训课程讲义及培训。 **. 安装验收完毕后对需方 不少于 * 人进行培训，内容包括：实验方法原理、实验操作、拟合软件的使用、仪器维护、安全要点以及其他相关内容。 **. 培训费用：所发生的培训费用由供方承担。 ￥***,***.** 参考品牌及型号 **普迪真空 技术参数要求 *. 极限真空：优于*×**-*Pa（经烘烤除气后）； *. 抽速测试：从大气抽到工作真空（*×**-*Pa）时间少于**分钟； *. 系统漏率：≤*x**-*Pa.l/S(以氦质谱检漏仪测试指标考核）； *. 系统保压：系统抽至高真空后停泵关机保压**小时后真空度小于**Pa; *. 基片加热：样品台最高加热温度***℃； *. 溅射尺寸：衬底基片最大*英寸； *. 样品台：基片可旋转，可调速； *. 成膜质量：托盘*英寸范围内均匀性优于±*%； *. 溅射靶：*个*英寸圆形靶枪，角度可调，其中*支为强磁靶； **. 溅射电源：*台直流电源，*台射频电源； **. 工艺气体：*路工艺气体，配备进口薄膜真空计； **. 膜厚仪：进口石英晶振膜厚控制仪，带 *套水冷探头；
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