ALD原子层沉积系统竞价公告-CB105902024000489
发布日期:2024年05月10日 | 标签:
159649634
gonggao
;南山区
2024.05.10
2024.05.17
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公告摘要
***********招标公司受业主*******委托,于2024年05月10日在招标网发布ALD原子层沉积系统竞价公告-CB105902024000489。
各有关单位请于2024.05.17前与公告中联系人联系,及时参与投标等相关工作,以免错失商业机会。
部分信息内容如下:(查看详细信息请登录)
基本信息: 发布时间:****-**-** **:**:** 截止时间:****-**-** **:**:** 申购单号:***************** 申购主题:ALD原子层沉积系统 采购单位:**** 报价要求:国产含税 发票类型:增值税专用发票 币种:人民币 预算: 付款方式:货到验收合格后付款 备注说明: 签约时间:发布竞价结果后*天内签约合同 送货时间:合同签订后*天内送达 安装要求:免费上门安装(含材料费) 收货地址:**省/***/***/ 申购明细: 采购内容 数量 单位 预算单价 品牌 型号 规格参数 质保及售后服务 ALD原子层沉积系统 * 套 ****** 普迪真空 ALD-T***Q *、真空腔室:**** 铝阳极氧化处理,腔室内尺寸Φ***×** mm; *、真空系统:双极旋片油泵,抽速度不小于 ** m*/h;气动真空阀门+耐污染薄膜真空计; *、极限真空:系统极限优*×**-*Torr,系统真空漏率小于 ****-** Pa.m*/s; *、样品台尺寸:* 英寸样品托,兼容 * inch 及以下样品尺寸; *、样品台温度:*英寸内样品表面加热温度最高可达***℃,温度控制精度±*.*℃; *、前驱体路数:*路可加热至***℃的金属驱体源和*路水以及臭氧前驱体源; *、吹扫管道:*路质量流量计控制前驱体源吹扫管道,分别吹扫金属前驱体源和水前驱体源管道; *、生长模式:连续和停留沉积模式选择; *、控制系统:PLC+工控机+触摸屏人机交互界面; **、电源功率:**-**Hz,***VAC /**A交流电源; **、沉积非均匀性:在*inch硅片上,沉积***ycle氧化铝非均匀性<±*%; **、仪器尺寸:***mm x *** mm x **** mm(长*宽*高); **、可沉积材料种类:SiO*、TiO*、SnO、FeO、CoO、NiO、Al*O*、ZnO、HfO*、ZrO*、MgO等 按行业标准提供服务 报价地址:https://www.easyjcx.com/#/index