微流控器件微流道加工系统竞价公告-CB119422021002815
发布日期:2021年07月25日 | 标签:
75906041
gonggao
;湖南省
2021.07.25
2021.07.29
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招标编号 |
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公告摘要
***********招标公司受业主*******委托,于2021年07月25日在招标网发布微流控器件微流道加工系统竞价公告-CB119422021002815。
各有关单位请于2021.07.29前与公告中联系人联系,及时参与投标等相关工作,以免错失商业机会。
部分信息内容如下:(查看详细信息请登录)
基本信息:
发布时间:****-**-** **:**:**
截止时间:****-**-** **:**:**
申购单号:*****************
申购主题:微流控器件微流道加工系统
采购单位:****
报价要求:国产含税
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:
签约时间:发布中标结果后*天内签约合同
送货时间:合同签订后**天内送达
安装要求:免费上门安装(含材料费)
收货地址:**省/***/***/
申购明细:
采购内容 数量 单位 预算单价 品牌 型号 规格参数 质保及售后服务 微流控器件微流道加工系统 * IOE URE-****/**L *.技术参数 *.* 曝光面积:*英寸 *.* 曝光波长:***nm *.* 分辨力:*.*μm-*μm *.* 对准精度:±*.*μm *.* 掩模样片整体运动范围:X:**mm;Y:**mm *.* 掩模尺寸:*.*英寸、*英寸、*英寸、*英寸 *.* 样片尺寸:直径**mm-- ***mm及各种不规则片 *.* ★厚度可适应*.*mm--*mm(最大可扩展为**mm) *.* 曝光方式:定时(倒计时方式)或定剂量 *.** 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能 *.** ★双目双视场对准显微镜:可通过目镜目视对准,也可通过CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数***倍,光学+电子放大***倍,物镜三对:*倍、**倍、**倍,目镜三对:**倍、**倍、**倍 *.** 调平接触压力通过传感器保证重复 *.** ★数字设定对准间隙和曝光间隙 *.** ★具备压印模块接口,也具备接近模块接口 *.** 掩模相对于样片运动行程:X: ±*mm; Y: ±*mm; θ: ±*º *.** ★最大焦厚:***μm(SU*胶) *.** 光源平行性:*.* º *.** 曝光能量密度:>**mW/cm&sup*; *.** 单层曝光一键完成 *.** 采用球气浮自动找平 *.** 照明不均匀性: 小于*.*%( 直径***mm范围); *.** ★曝光光源:紫外LED(进口); *.外形尺寸:约****mm(长)、****mm(宽)、****mm(高) *.配置:设备主要由均匀照明曝光系统(进口LED光源模块、整形模块、调节台、光学系统及冷却风扇灯)、对准工件台系统(掩膜整体运动台、相对运动台、转动台、调平机构、基片抽拉式上下机构、自动调焦机构、承片台*个,掩膜夹*个等)、对准系统(光源、电源、双目双视场显微镜主体、目镜*对、物镜*对,CCD对准、液晶显示器等)、电控系统、气动控制系统及真空泵、空压机等辅助配套设备构成。 ★项为必须响应项,代理商需提供厂家授权书 按行业标准提供服务
报价地址:https://www.easyjcx.com/#/index