高真空多靶磁控溅射镀膜机（XF-WSBX-2400161）采购公告
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公告摘要
各有关单位请于2024.05.30前与公告中联系人联系，及时参与投标等相关工作，以免错失商业机会。
部分信息内容如下：（查看详细信息请登录）
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
公告说明 采购清单* 采购商品 采购数量 计量单位 所属分类 高真空多靶磁控溅射镀膜机 * 台 金属喷涂设备 无 无 品牌 品牌* 型号 品牌* 型号 品牌* 型号 品牌* 型号 品牌* 型号 品牌* 型号 预算单价 ￥******.** 技术参数及配置要求 *.真空腔室；φ***×H***mm（实际以设计尺寸为主），SUS***优质不锈钢真空腔室，顶板焊水线；
*.真空系统；复合分子泵+直联高速旋片式真空泵+高真空阀门+数显复合真空计；
*.真空极限；*.*×**-*Pa（设备空载，抽真空**小时）;
*.设备升压率：≤*.*Pa/h（**小时平均值）；设备保压：停泵**小时后，设备真空度≤**Pa；
*.抽速；从大气抽至*.*×**-*Pa≤**min（设备空载）；
*.基片台；基片台尺寸Φ***mm，最大样品尺寸小于Φ***mm；配有基片台挡板；旋转转速*～**转/分钟，可调可控；基片台与腔室绝缘设计，可加偏压电源；配备水冷基片台（间接水冷）基片台在下。
*.溅射靶及电源；配置*套*英寸永磁共焦磁控（强磁）溅射靶（靶角度、靶基距手动可调），向下溅射；预留*只靶位，磁控靶配有气动挡板结构；工作方式：各靶可独立/顺次/共同工作，采用磁控靶从上向下溅射镀膜
电源；直流脉冲溅射电源*kW，数字化控制及显示，*台；
直流电源， 数字化控制及显示，*台；
脉冲偏压电源：-*kV， 数字化控制及显示，*台；
*.工作气路系统；质量流量控制器及量程范围：Ar，***sccm；N*，**sccm；
*.膜厚不均匀性；≤±*%（单靶镀膜，基片台Φ**mm范围内）；
**.控制方式；PLC+触摸屏控制；
**.报警及保护；对缺水进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统； 参考链接 售后服务 服务网点:当地;电话支持:*x**小时;质保期:*年;服务时限:报修后*小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;送货至******校区热能所B***实验室安装;
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报名地址:https://app.yuncaitong.cn/login.html
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