蒸镀系统竞争性磋商公告
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公告摘要
各有关单位请于2021.05.26前与公告中联系人联系，及时参与投标等相关工作，以免错失商业机会。
部分信息内容如下：（查看详细信息请登录）
二、项目编号：S*******
三、采购人：****采购与招投标管理中心
地址：**省***东环路**号**楼****室
邮编：****** 传真：****-********
联系人：罗老师 电话：****-********，********
电子邮箱：***********
技术联系人：谢老师 电话：***********
电子邮箱：***********
四、采购货物品名、数量及主要性能参数要求
蒸镀系统 *套
（一）主要技术要求
*.腔体要求：***mm×***mm×***mm，前后两个开门，腔门密闭性能好，并配有玻璃观察窗与防污挡板；两门均可单独打开，前门采用滑轨式设计，与手套箱相连；侧面具有真空系统接口法兰。
*.真空系统：采用国际知名品牌高性能泵组结构，半小时内达到工作要求*×**-*帕；采用高精密全量程真空计，量程可从大气压至**-*Torr，腔体的真空极限优于*×**-*帕；具有旁路抽气系统，可实现分子泵不停的情况下对真空腔室进行充气，并打开舱门。
*.基片：样品台可升降，调整源-基片距离；基片可采用大基片架配套小基片模式，可放置四片小基片，小基片**mm×**mm；衬底可旋转、加热，转速*～** RPM可调；基片盘下方配气动挡板，在预蒸发时挡住基片盘；可实现不同掩模定制，厚度可调的掩模版设计；在真空条件下，转换掩膜板并实现零间隙掩模接触。
*.蒸发电源：配*个有机蒸发源和*个金属蒸发源，其中有机蒸发源温度最高可到*** oC；采用国际知名品牌高性能蒸发电源，可恒压/恒流驱动并可进行切换；采用PID闭环控制，实现恒速率增发，并可数显；每组电极配挡板，气缸驱动，电脑界面上控制开启。
*.膜厚探测：采用高性能膜厚探测系统，实现多路同时显示，实现双源共蒸发；可精确控制膜厚，精度*.**埃；可实现膜厚清零操作，清零之后按新的膜厚重新计算；可显示晶振质量或寿命等参数。
*.控制方式：将电气部件集成于设备机架中，抛弃控制柜，采用控制屏或电脑界面，并采用人机**界面中英文操控系统；可实现半自动镀膜，按指定的速率达到输入膜厚值自动关闭基片挡板，并关闭蒸发电源。
*.保护措施：对冷却水循环系统检测保护，温度检测保护，真空度检测保护，对泵与电源进行缺水、欠压、过压过流、断路等异常情况报警并采取有效保护措施。
*.所提供的配件必须保证在综合测试中达到相应配件指标，且稳定性良好，波动小于*%。
*.具有升级空间，可对原有的控制系统进行改造升级。
（二）服务：质保期不少于*年。
（三）报价要求：
若采购需求未发生实质性变动（由磋商小组进行认定），本项目将不再组织二次报价，即以供应商响应文件中的报价为最终报价。
五、评分标准
本次磋商采用综合评分法，总分为***分，具体内容如下：
（一）技术参数、配置及整体综合性能分（**分）
*．技术参数及配置（**分）
以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的彩页或产品说明书等作为主要评判依据，其他情况由磋商小组根据实际情况进行评判。
（*）所提供产品多项不满足磋商公告要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经磋商小组评审可作为无效响应文件。
（*）所提供产品不满足磋商公告要求（偏离）、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的，每处扣*分。
*．综合性能情况（**分）
（*）所提供产品性能参数优于竞争性磋商文件中技术要求情况（磋商小组认为超出指标有意义的）（*分）。其中优于项，每处加*分。
（*）所提供产品的*场反馈情况（**分）。根据所提供产品的品牌影响力、*场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用提供产品发表的学术论文情况等综合评定。
（二）价格分（**分）
*．基准价：满足竞争性磋商文件要求且价格最低的报价为基准价，基准价为满分**分；
*．其他供应商的报价得分按照下列公式计算：报价得分＝（基准价／报价）×**分。
（三）综合商务（**分）
*．供应商综合实力（*分）
根据供应商综合实力评定。
*．售后服务与培训情况等（**分）
（*）质保期（*分）。符合磋商文件要求的，得*分，每增加一年质保期加*分。
（*）服务、技术支持与培训承诺情况（*分）。
根据磋商响应文件的相关承诺、服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。
*．其它（*分）
（*）磋商响应文件质量（*分）。根据磋商文件的规范性、完整性等情况综合评定。
（*）其它优惠措施等（*分）。根据供应商提供的在磋商文件要求范围以外，磋商小组认可的优惠措施综合评定。
六、磋商响应报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金(含美国产品被加征关税)、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。
七、供应商资质要求
（一）在中国境内注册成立的企业，具有独立法人资格。
（二）经营范围包含报价产品。
（三）本项目不接受联合体报价。
八、磋商响应文件的组成
（一）磋商响应文件一般由下列材料组成（部分表格样式见附件），复印件须加盖供应商公章，所有材料须按序装订成册：
*. 磋商响应资料与页码对照表。
*. 磋商响应函（原件）。
*. 响应基本情况一览表（原件）。
*. 详细配置清单（原件）。
*. 技术规格偏离表（原件）。
*. 公司简介（包括公司性质、公司规模、公司业绩、公司荣誉、公司资质、财务状况等，原件）。
*. 资格证明材料
（*）营业执照、税务登记证以及组织机构代码证（复印件）。
（*）法定代表人授权书（原件）。
（*）法定代表人身份证明材料（如身份证、护照等）（复印件）。
（*）法人授权代表身份证明材料（如身份证、护照等）及单位社保证明（复印件）。
（*）供应商最新的年度审计报告或财务报告（复印件）。
（*）仪器设备生产或经营企业许可证（复印件，特殊行业必须提供）。
（*）仪器设备销售代理授权证明（非投标产品生产制造厂商投标的，须按第*.*条要求提供，专项授权书提供原件、代理证书提供复印件）。
（*）有关质量认证中心出具的质量体系认证证书（例如：ISO、FDA、CE、*C等，国家强制要求的设备必须提供，复印件）。
（*）近三年来与本次磋商仪器设备相同产品的用户名单及联系方式（以教学、科研用户为主，原件）。
*. 服务措施、服务承诺（主要包括针对本项目的服务、培训方案及其他优惠措施等）（原件）。
*. 供应商认为应该提供的其他材料。
（二）特别说明
*.“磋商响应文件”应装订并密封，并加盖投标单位公章；
*.正本一份，副本三份，如副本与正本有出入，以正本为准；
*.相关材料及填写规范按照《****招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行。
九、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，参照《****招标采购仪器设备投标人须知》第**条中的要求执行。
十、磋商文件价格：人民币***元（相关缴纳事宜详见附件*），售后不退。
十一、供应商在报名前，须认真阅读《****招标采购仪器设备投标人须知》和本磋商公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在****年 *月**日**：**前将报名函（格式见附件*）发送邮件至采购人处（***********）。
十二、递交磋商响应文件相关事宜：
（一）顺丰快递（建议优先采用）
*. 寄达时间：****年*月**日**：**前；
*. 收件人信息：
收件人：招标中心罗荣飚
联系方式：***********
收件地址：**省***东环路**号**楼****室
（二）现场递交
*. 现场递交时间：****年*月**日*：**～**：**
*. 现场递交地点：**省***东环路**号****东校区东大门
十三、递交磋商文件截止时间：****年* 月**日**：**。
十四、磋商时间：****年* 月** 日**：**。
竞争性磋商公告附件.rar
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