桌面式原子层沉积系统（JJ2024000015）采购公告
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公告摘要
各有关单位请于2024.05.17前与公告中联系人联系，及时参与投标等相关工作，以免错失商业机会。
部分信息内容如下：（查看详细信息请登录）
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
公告说明 采购清单* 采购商品 采购数量 计量单位 所属分类 桌面式原子层沉积系统 * 套 真空应用设备 无 无 品牌 品牌* 无 型号 无 品牌* 型号 品牌* 型号 品牌* 型号 品牌* 型号 品牌* 型号 预算单价 ￥******.** 技术参数及配置要求 ★*. 尺寸：长***mm×宽***mm×高***mm±*%；工艺温度≥***℃；成膜不均匀性：≤±*%（不低于*英寸wafer沉积氧化钛薄膜）
*.前驱体源：配备* 个单管式**ml前驱体源，一条清扫气线；源瓶：配备*个单管式**ml前驱体源（含）*个。
*.源瓶加热器：配备*个***℃单管加热器，精度：***±* oC。
★*.采用抽屉式样品装载，*寸wafer ；配备粉末样品处理装置，实现晶圆及粉末式ALD，一机两用。
★*.腔体采用真空腔体，配备高温铝腔温度≥***℃，温度控制精度≤±* oC。
★*.包括多组毫秒级ALD阀门，氧化管路采用双阀门设计，保证源进气量的稳定性。采用自动化加热，加热温度≥*** oC。
*.气体质量流量计：*个精确的载气流量控制，氩气最大量程***sccm；真空规：薄膜真空规，实时显示工艺压力,标准**torr电容薄膜。真空泵：**m*/H 飞越油泵，含泵前段返油过滤器，泵后端油雾过滤器 ；反应腔抽真空时间:**S；腔体衬板：提高腔体使用寿命，便于维护清洗，减少particle脱落。需配备一体式工控机，屏幕尺寸大于**英寸，带触摸功能；软件功能：配备行业标准多个GUI界面，用于自动和手动操作，系统监视器，报警和配方编辑，工艺菜单编辑功能，简易工步预设格式，多工艺菜单存储等功能。 参考链接 售后服务 商品承诺:原厂全新未拆封正品;商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;
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报名地址:https://app.yuncaitong.cn/login.html
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