中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目2#第五批——扩展电阻测试仪SRP国际招标公告(2)
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公告摘要
各有关单位请与公告中联系人联系，及时参与投标等相关工作，以免错失商业机会。
部分信息内容如下：（查看详细信息请登录）
*、招标条件
项目概况:中芯集成电路制造（**）有限公司计划为中芯**特种晶圆工艺生产线项目购买一批工艺生产设备
资金到位或资金来源落实情况:资金已到位
项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件
*、招标内容
招标项目编号:****-************/**
招标项目名称:中芯**特种晶圆工艺生产线项目*#第五批——扩展电阻测试仪SRP
项目实施地点:中国**省
招标产品列表(主要设备):
序号 产品名称 数量 简要技术规格备注* 聚焦离子束FIB *台 电子束分辨率*.*nm (**keV),能量**eV~**keV,离子束分辨率*.*nm (**keV), 五轴样品台, 无油真空系统, XYZR全自动纳米机械手, FIB 自动操作, SE/BSE/DBS/STEM探测器* 自动微裂片系统 *台 误差*.*um以内, 自动操作, 激光定位, 液氮喷布系统, 量测功能* 电子显微镜及能谱SEM/EDS *台 冷场发射，物理放大倍率达到至少**万倍,分辨率达到*nm，电子束能量范围*.*？-？**keV(步进精度*.*keV),免加液氮能谱* 扩展电阻测试仪SRP *台 测试范围***Ω-****Ω,校准误差≤**%(p-type),**% (n-type), 重现性≤±**%, 提供p型n型校准用标准样品* 高真空离子镀膜金属溅射机 *台 实现片内高均匀性的金属薄膜沉积高真空离子镀膜金属溅射机/（Metal Dep Al PVD)* 晶圆表面颗粒检测机 *台 非图形晶圆表面的缺陷类型及空间分布，污染颗粒和异常微观表面分类/ Defect types and spatial distributions on the surface of non-graphics wafers, contamination particles and abnormal microscopic surface classification* 晶圆测试探针机 *台 同时满足高精度和高效率的*英寸探针台/Most significant machine model for ***mm wafers High precision, high rigidity machine.* 等离子体聚合物刻蚀机 *台 Bosch polymer低温快速去除，无残留（≦* minutes @ *** deg C, or ≦ * minutes @ *** deg C） 无形貌变化和侧壁损伤 CD loss <*%* 滚筒晶圆清洗机 *台 *.实现**纳米级别清洗 *．使用化学品对光阻进行去除以达到需要的要求** 晶圆清洗机 *台 * 晶圆清洗机/W.S. F/E PR Stripper *台/* set *.实现**纳米级别清洗 *．使用化学品对晶圆表面进行清洗以达到需要的要求 * 晶圆清洗机/W.S. Nitride strip *台/* set *.实现**纳米级别清洗 *．使用化学品对氮化硅进行刻蚀以达到需要的厚度和均匀性 * 晶圆清洗机/W.S. F/E PR Stripper *台/* set *.实现**纳米级别清洗 *．使用化学品对光阻进行去除以达到需要的厚度和均匀性** PR工艺凃布显影、光刻显影设备 *台 * PR工艺凃布显影/Polyimide Coater *台/* set 实现光刻涂胶 * 光刻显影设备/Deeveloper *台/* set 实现光刻显影** I-line 涂布显影设备 *台 * I-line 涂布显影设备/I-line Track *台/*set For i-line stepper(*C*D) * I-line 涂布显影设备/DUV Scanner_Track *台/*set For KrF scanner(*C**D)** 低应力氮化硅生长炉 *台 实现氮化硅生长，均匀性好,应力小
*、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:*）具有独立的法人资格，相应的经营范围。投标方应具有正规注册的办事处、维修站及零备件保税库。在中国境内应有专门负责的经验丰富的维修工程师和专门的技术应用支持工程师。 *）投标人提供的设备需要在业界有安装使用的经验 。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
*、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:****-**-**
招标文件领购结束时间:****-**-**
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：*****路***号恒达大厦**楼**机电设备招标有限公司
招标文件售价:￥***/$**
*、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:****-**-** **:**
投标文件送达地点:*****路***号恒达广场**楼
开标地点:*****路***号恒达广场**楼
*、投标人在投标前应在必联网（http://www.ebnew.com）或机电产品招标投标电子交易平台（http://）完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。
*、联系方式
招标人:中芯集成电路制造（**）有限公司
地址:中国**省******皋埠镇**路***号
联系人:韩倩倩
联系方式:+**-**-********-*****
招标代理机构:**机电设备招标有限公司
地址:*****路***号
联系人:王鼎 王晟
联系方式:***-******** ********
*、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):
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为保证您能够顺利投标，请在投标或购买招标文件前向招标代理机构或招标人咨询投标详细要求，有关招标的具体要求及情况以招标代理机构或招标人的解释为准。
