山东大学高温高能离子注入机单一来源公告

发布日期：2023年06月11日 | 标签：离子注入机招标大学招标

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公告摘要

    ***********招标公司受业主*******委托，于2023年06月11日在招标网发布山东大学高温高能离子注入机单一来源公告。
    各有关单位请与公告中联系人联系，及时参与投标等相关工作，以免错失商业机会。

    部分信息内容如下：（查看详细信息请登录）

一、项目信息采购人：**大学项目名称：**大学高温高能离子注入机采购拟采购的货物或服务的说明：离子注入是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术，可改变半导体的载流子浓度和导电类型，且在注入剂量、注入角度、注入深度、横向扩散等方面进行精确的控制。该离子注入设备可实现N、P、Al、B等元素掺杂，注入剂量范围*E**～*E** ions/cm*，注入不均匀性片内≤±*.*%/片间≤±*.*%，单电荷最高加速电压为*** KeV，束流发散角度≤*.*°（@*英寸）。拟采购的货物或服务的预算金额：****万元采用单一来源采购方式的原因及说明：需离子注入设备提供单价离子加速电压**-*** keV，二价离子可达*** keV 三价离子可达*.* MeV。最大束流：≥**** eμ*********** Kev，束流平行度≤±*.*°（@ *″），注入剂量*E**～*E** ions/cm*；测试精度：≦±*.*%；注入不均匀性：片内≤±*.*%，片间≤±*.*%。具备成熟的反转静电吸附Stage设计，同一设备可兼具对应高温***℃以上注入工艺和常温注入工艺，工艺切换时间不得大于*分钟；提供能抑制离子束的发散、能进行精细的扫描波形的控制，可得到约**°的大的扫描角的离子注入装置。其他品牌产品不能同时满足单价离子加速电压最高***keV、高低温工艺切换时间不得大于*分钟、**°扫描角的使用技术要求，因此只能采购进口产品。二、拟定供应商信息名称：**科锐芯机电科技有限公司地址：****经济开发区城南街道东吴南路***号*幢****室三、公示期限 ****年*月**日至****年*月**日（公示期限不得少于*个工作日）四、其他补充事宜：无五、联系方式 *.采购人：**大学联系人：田主任联系地址：**大学中心校区明德楼联系电话：****-******** *.采购代理机构：*********** 联系人：　王青东　联系地址：***经十东路*****号成城大厦A座联系电话：****-********

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