材料系小型原子层沉积镀膜设备采购延期公告
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公告摘要
请各有关单位及时调整投标等相关工作，以免错失商业机会。
部分信息内容如下：（查看详细信息请登录）
购
明
细 序号 名称 数量 单位
*
小型原子层沉积镀膜设备（核心货物）
*
台
是否接受进口
拒绝进口
品牌
**毅睿、**韫茂、**睿津
型号
TH-**、Mini Desktop ALD、QBI-**
技术规格及参数
*.* 设备整体尺寸≤*** x *** x *** mm;
*.* 工艺温度: 正常室温到***℃之间可调:
*.* 成膜不均匀性: *% (氧化铝)
*.* 前驱体源: 配备≥ * 个单管式 **ml 前驱体源，一条清扫气线;
*.* 源瓶配备≥* 个单管式 **ml 前驱体源，含 *个手阀:
*.* 源瓶加热器配备≥* 个 ***℃单管加热器
*.* 进样室采用抽屉式样品装载样品，可装载*寸晶圆片。
*.* 腔体需为高温真空腔体，载盘温度控制精度 *** ±* ℃
*.* 设备包括多组毫秒级 ALD 阀门，响应时间≤*ms，ALD 阀组采用紧凑式面板安装，氧化源管路设计采用双ALD阀门设计，可实现定量进源:
*.** 阀组采用自动化加热，最高加热温度: ***℃:
*.** 气体质量流量计: 配备* 个精确的载气流量控制，氩气/氮气最大量程 ***sccm;
*.** 真空规: 配备薄膜真空规，实时显示工艺压力，标准 **torr 电容薄膜;
*.** 真空泵抽速: 配备油泵，抽速≥**m*/H，含前段返油过滤器，泵后端油雾过滤器，反应腔抽真空时间≤**S;
*.** 设备极限真空度≤**mtorr;
*.** 需配备腔体内衬板，提高腔体使用寿命，便于维护清洗，减少 particle 脱落
*.** 需配备专业的 ALD 泵前级过滤器，保护真空泵;
*.** 需配备一体式工控机: **.* 寸，带触摸功能
*.** 软性基本功能:行业标准多个 GUI 界面，用于自动和手动操作，系统监视器，报警和配方编辑，工艺菜单编辑功能，简易工艺预设格式，多工艺菜单存储功能
*.** 报警及安全控制：配备温度，压力，气体流量，源串扰，卸载，电气和气动控制异常报警系统
*.** 设备可支持后续升级到最高浓度 **%臭氧发生器系统模块，替代水工艺。
质保期
*年
售后要求
*. 质保期：中标人提供制造商免费质保*年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算，在保修期内，一旦发生质量问题，投标人保证在接到通知**小时内赶到现场进行修理或更换，保修期间维修及零件更换费用由厂家负担。由制造商提供质保服务，由制造商提供售后服务； *. 维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，*小时内响应，**小时内派员上门现场维护，并在**小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用； *. 验收标准：根据招标要求及双方所签订的技术协议书逐条验收，设备经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保**件。 以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告： a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料； b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求； c、货物具备产品合格证； *. 技术培训：在用户所在地对用户进行为期*天的培训。培训内容包括仪器的技术原理、操作、数据处理、基本维护等,保证用户至少*人能熟练操作仪器和分析数据。验收后半年内组织买方相关人员*人免费参加在厂家举办的相关应用培训班。
付款方式 合同生效并收到相应发票后支付合同总额的**%作为进度款设备到达指**装现场且安装、调试合格并提供全额发票后，经学校确认无质量问题后支付**%的货款。 交货期 合同签订后*天（自然日）内，具体时间根据学校要求提前*天（自然日）通知送货 报价网址：http://jc.biddingoffice.sustech.edu.cn
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