矩形靶磁控溅射系统竞价公告-CB100562022001370_招标网

矩形靶磁控溅射系统竞价公告-CB100562022001370

信息发布日期：2022.12.10 标签：天津市招标

招标编号：	CB100562022001370
加入日期：	2022.12.10
截止日期：	2022.12.12
招标业主：	天津大学
地区：	天津市
内容：	基本信息：发布时间：**-- :: 截止时间：**-- :: 申购单号：*************** 申购主题：矩形靶磁控溅射系统采购单位：** 报价要求：国产含税发票类型：增值税专用发票币种：人民币预算：付款方式：货到验收合格后

招标公告正文

基本信息：

发布时间：2022-12-10 10:41:23

截止时间：2022-12-12 09:00:00

申购单号：CB100562022001370

申购主题：矩形靶磁控溅射系统

采购单位：天津大学

报价要求：国产含税

发票类型：增值税专用发票

币种：人民币

预算：

付款方式：货到验收合格后付款

备注说明：

签约时间：发布竞价结果后7天内签约合同

送货时间：合同签订后7天内送达

安装要求：免费上门安装（含材料费）

收货地址：***

申购明细：

采购内容	数量	单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务
矩形靶磁控溅射系统	1			沈阳科仪	JGP800	1、磁控溅射系统，靶材尺寸：400x80mm；靶材厚6mm. （非铁钴镍材料），永磁靶,射频溅射与直流溅射兼容，靶内水冷，配置靶挡板组件，磁控靶与基片的距离约80mm。 2、基片往复摆台1套，基片尺寸和数量：可放置250x300mm基片1片，真空室里面有一台样品小车，小车可以在真空室的轨道上带着样品一起往复运动，小车通过链轮链条驱动下运动，运动速度可调，最快速度为1.5米/分钟，基片可加热，加热温度400℃（固定加热工位，不随小车移动），采用进口控温表进行温度控制，控温精度±1℃。 3、100SCCM、200SCCM质量流量控制器（北京）、Dg16电动截止阀、管路、接头等共2路；经过混气室，由Dg16气动进气阀往真空室内充入工作气体。 4、Dg16手动放气阀、管路、接头等：1路（解除真空充入氮气）。 5、安装机台架组件1套，优质方钢型材焊接成，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四个脚轮，可固定，可移动。 6、系统配有水路系统，用来对分子泵、真空室、磁控靶等进行冷却，在水路上安装有水流继电器，一旦缺水或水压不足，将进行报警并切断相应电源，以防止损坏设备。 7、1500W全自动匹配射频电源1台，功率稳定度≤±0.5%，输出频率13.56MHz，频率信号为标准正弦波，输出阻抗50欧姆，承受驻波比＞3，通讯口RS232\RS485\标准Modebus。 8、2000W直流溅射电源1台，输入电压AC180-240V，50Hz，输出电压 : 0 - 800 V，数字通讯: RS485，标准Modbus协议，针对磁控溅射和偏压电源专门设计，功率、电压、电流三种控制方式任选，具有抗打火和灭弧设计。 9、进口薄膜规1台，使用温度0～50℃，零点压力温度影响测量误差为满量程的002%,显示压力温度影响测量误差为压力显示示数的005%。	按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务）

报价地址：***

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