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制备芯片专用设备—氧化扩散、退火炉（JJ22001368）采购公告

信息发布日期：2022.12.05 标签： 辽宁省招标 沈阳市招标 和平区招标 
加入日期：2022.12.05
截止日期：2022.12.08
招标业主：东北大学
地 区：和平区
内 容：项目名称 制备芯片专用设备—氧化扩散、退火炉 项目编号 JJ******** 公告开始日期 ****-**-** **:**:** 公告截止日期 ****-**-** **:**:** 采购单位 **** 付款方式 货到验收合格后付全款 联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系电话 中标后在我参与的
 
招标公告正文
项目名称 制备芯片专用设备—氧化扩散、退火炉 项目编号 JJ22001368
公告开始日期 2022-12-05 10:21:01 公告截止日期 2022-12-08 09:00:00
采购单位 东北大学 付款方式 货到验收合格后付全款
联系人*** 中标后在我参与的项目中查看 联系电话*** 中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求 成交后60天 到货时间要求 签约后3天
预算总价 ￥ 300000.00 + NaN + NaN
发票要求 增值税普通发票 增值税专用发票
含税要求
送货要求
安装要求
收货地址 辽宁省沈阳市和平区文化路三巷11号
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
公告说明
采购清单1
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
氧化扩散、退火炉 1 台 电工器材 无 无
品牌 品牌1 赛瑞达
型号 定制
品牌2
型号
品牌3
型号
预算单价 ￥ 300000.00
技术参数及配置要求 结构：双管结构；
硅片规格：4、6寸兼容
取送料方式：石英钩手动取送料
工控机：三管配置一台工控机控制
控制权限管理：三级权限管理
控温方式： 三段SPIKE控温+手动拉温区
可用恒温区长度：＞400mm
最高使用温度： 1180℃
尾气排放：水浴氧化工艺尾气排毒箱排放，排气管设计有风量调节板。
工作温度和精度：800-1180℃ ±0.5℃
升温速率：100-600℃ ＞15℃/min
600-1180℃＞10℃/min
降温速率：600-100℃ ＞3℃/min
1180-600 ＞5℃/min
气路器件：全部使用VCR结构连接
水浴氧化气路配置：N2 MFC（10SLM）
O2 MFC（10SLM）
O2 MFC（5SLM）
保护N2 针阀控制
水浴加热器：国产水浴加热器
工艺腔体管：石英腔体管
晶舟：石英舟
设备主要由排毒箱、加热炉柜、气源柜等部件组成。设备反应室置于加热炉体中，由工控机控制管内温度、流量、压力，工艺过程全自动控制，可实现远程控制。
参考链接
售后服务

东北大学

2022-12-05 10:21:01

报名地址:***

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