加入日期: | 2022.12.02 |
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截止日期: | 2022.12.23 |
招标业主: | 清华大学 |
地 区: | 北京市 |
关键词: | 大学 |
一、项目基本情况
项目编号:清设招第20221398号
项目名称:清华大学8"深硅刻蚀机采购项目
预算金额:1100.0000000 万元(人民币)
采购需求:
包号 |
名称 |
数量 |
是否允许进口产品投标 |
01 |
8"深硅刻蚀机 |
1套 |
是 |
设备用途介绍 :
主要用于处理8英寸及以下Si、SOI、SOG、石英材料,相同硬件兼容小尺寸MEMS深槽或者深孔刻蚀、硅通孔刻蚀工艺。
简要技术指标 :1)本底真空<1.5mTorr;2)静电卡盘ESC 200mm,包含可更换为150mm配置;下电极控温范围涵盖-10~20℃;下电极控温精度±2℃;3)等离子系统:ICP功率不低于3000W;下电极功率不低于1000W;4)工艺气体控制:提供Ar、O2、SF6、C4F8等至少6路工艺气体,独立MFC和阀门控制。
合同履行期限:合同签订后20个月内完成设备交货
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求:
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;
2.落实政府采购政策需满足的资格要求:
扶持小微企业、监狱企业、残疾人福利性企业发展,优先采购节能产品、环境标志产品等。
3.本项目的特定资格要求:1)在中华人民共和国境内注册;2)符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件;3)通过“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)和中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)查询信用记录(截止时点为投标截止时间),被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商,没有资格参加本项目的采购活动;4)单位负责人***
三、获取招标文件
时间:2022年12月02日 至 2022年12月09日,每天上午8:00至12:00,下午13:00至16:30。(北京时间,法定节假日除外)
地点:登记报名网址:http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn
方式:本项目招标文件网上登记报名,潜在投标人在线提供申请材料(营业执照复印件、法人代表授权书等),经审核通过后获取电子版招标文件
售价:¥0.0 元,本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间:2022年12月23日 09点10分(北京时间)
开标时间:2022年12月23日 09点10分(北京时间)
地点:北京市海淀区清华大学华业大厦实验室管理处1区5层第一评标室(清华大学东南门东侧,无须办理入校手续)
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称:清华大学
地址:***
联系方式***
2.项目联系方式
项目联系人***
电 话:***