大连理工大学微纳米压痕仪采购项目单一来源采购公告

供应商名称：南通菲希尔测试仪器有限公司

供应商地址：***

制造商名称： HELMUT FISCHER GMBH INSTITUT FÜR ELEKTRONIK UND MESSTECHNIK

制造商地址：***

2.单一来源采购原因及相关说明：

大连理工大学物理学院拟开展芯片工艺中等离子体在线诊断方面的研究，研究等离子体刻蚀后样品材料的各种性能演化。基于该项目研究内容，提出需采购菲希尔HM500微纳米压痕仪。经调研，国内无相关设备；国际的某相关设备位移分辨率<0.01nm，载荷分辨率<1nN，不能满足微纳米硬度等力学性能测试，而德国HELMUT FISCHER GMBH INSTITUT FÜR ELEKTRONIK UND   MESSTECHNIK的HM500微纳米压痕仪可以满足微纳米力学性能测试。因此，只有菲希尔HM500微纳米压痕仪是微纳米级的压痕测试仪器，位移分辨率0.01nm，有效载荷分辨率20nN，有效加载载荷范围0.005-500mN，最大压入深度300μm，样品最大高度130mm，全自动平台精度£0.5μm。压头类型：维氏/柏氏，非常适合微纳米尺度的压入实验分析，能够测量材料的马氏硬度、压痕硬度、压痕模量以及蠕变等塑性与弹性特性。测试范围介于显微硬度和纳米硬度之间，该设备能够很好地服务于薄膜材料、等离子体改性层等材料力学性能测试，同时适合复杂形状上测试。德国HELMUT FISCHER GMBH INSTITUT FÜR ELEKTRONIK UND MESSTECHNIK的HM500微纳米压痕仪能够满足本项目微纳米硬度等力学性能测试技术要求的需要，只能采用单一来源采购方式进行采购。

二、开标时间：2022年11月30日 09:30

三、其它补充事宜

无。

四、预算金额：

预算金额：160.0000000 万元（人民币）