招标编号: | CBJHU2022000310 |
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加入日期: | 2022.10.12 |
截止日期: | 2022.10.15 |
招标业主: | 季华实验室 |
地 区: | 广东省 |
内 容: | 基本信息: 发布时间:****-**-** **:**:** 截止时间:****-**-** **:**:** 申购单号:*************** 申购主题:L---远程等离子源 采购单位:***** 报价要求:国产含税 发票类型:增值税专用发票 币种:人民币 预算: 付款方式:货到验收合格后 |
基本信息:
发布时间:2022-10-12 15:50:06
截止时间:2022-10-15 16:00:03
申购单号:CBJHU2022000310
申购主题:L---远程等离子源
采购单位:季华实验室
报价要求:国产含税
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:参与竞价请上传盖章报价单,需体现竞价产品的详细信息,包括品牌、规格型号、参数、货期等等。否则,做无效处理。
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装(含材料费)
收货地址:***
申购明细:
采购内容 | 数量 | 单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 |
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远程等离子源 | 1 | 台 | MKS | AX7710MTS-02 | 点火时供气 100% Ar for ignition only 点火后供气 Up to 8 slm 工艺气体进料和排气 Inlet Gas Connection KF40 Outlet Gas Connection KF50 占空比 2 sec on time minimum to 100% (process times >45 minutes) 气流 During Ignition: 1 to 8 Torr @ 1 to 5 slm for Ar Post Ignition: 1 to 10 Torr @ 1 to 8 slm for NF3 腔体及材料 PEO coating, 6061-T6 Aluminum, Chemraz@, Alumina 工作温度 Ambient air 40℃max. 所需的冷却水 2 gpm, <30℃ 控制接口 EtherCAT and analog I/O 25 pin D 功率要求 208 VAC, 50/60 Hz, 35A, 3 phase (50A Service recommended) 尺寸 18.40 x 9.50 x 10.50 inches (467 x 241 x 267 mm nominal) 重量 54 lb. (24.5 Kg) | 按行业标准提供服务 |
报价地址:***