机械工程学院小型溅射仪设备采购项目网上竞价公告

一、 配制标准

1．1台 · 小型溅射仪KT-Z1650PVD主机 ； 2．1个 · 真空挡板阀KF25接口； 3.  1个 · 放气阀KF16接口 ； 4.  1个 · 52T真空计KF16 ； 5.  1台 · 机械泵 。 

二、性能要求 

1． 控制方式：7寸人机界面 手动 自动模式切换控制； 2． 溅射电源：直流溅射电源 ； 3． 镀膜功能： 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程 序 ； 4． 最大功率：≤1000W ； 5． 最大输出电压电流：电压≤1000V  电流≤1A ； 6． 真空度：机械泵 ≤5Pa（5分钟）   分子泵≤5*10^-3Pa ； 7． 射频真空：≤10Pa ； 8． 挡板类型：电控 ； 9． 真空腔室：石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm ； 10． 样品台：可旋转φ62  （最大可安装φ50基底） ； 11． 样品台转速：8转/分钟 ； 12． 样品溅射源调节距离：40-105mm ； 13． 真空测量：皮拉尼真空计（已安装 测量范围 10E5Pa  1E-1Pa） ； 14． 预留真空接口：KF25抽气口    KF16放气口  6mm卡套 进气口。