招标编号: | CB119422022001756 |
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加入日期: | 2022.06.20 |
截止日期: | 2022.06.23 |
招标业主: | 中南大学 |
地 区: | 湖南省 |
内 容: | 基本信息: 发布时间:****-**-** **:**:** 截止时间:****-**-** **:**:** 申购单号:***************** 申购主题:热蒸发系统 采购单位:**** 报价要求:国产含税 发票类型:增值税专用发票 币种:人民币 预算: 付款方式:货到验收合格后付款 备 |
基本信息:
发布时间:2022-06-20 09:23:07
截止时间:2022-06-23 09:20:00
申购单号:CB119422022001756
申购主题:热蒸发系统
采购单位:中南大学
报价要求:国产含税
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:
签约时间:发布中标结果后7天内签约合同
送货时间:发布竞价结果后7天内送达
安装要求:免费上门安装(含材料费)
收货地址:***
申购明细:
采购内容 | 数量 | 单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 |
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热蒸发系统 | 1 | 台 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | DZ-300 | 1. 真空室:尺寸300mmx300mmX400mm,全不锈钢结构,极限真空度:≤5x10-5Pa(经烘烤除气后)。 2. 基片台:配备专用工装夹具基片台可从基片台组件中抽拉出来,方便安装基片。 3. 样品台可连续自转旋转,转速5~12转/分,步进电机驱动磁力耦合控制,另外手动自动均可实现升降;另配气动挡板组件; 4. 蒸发源:可使用丝状源与舟状源,兼容金属材料蒸发与有机材料蒸发(有机材料蒸发使用钨篮与坩埚组合的蒸发源)。蒸发源材料可采用钨、钼、钽、石英坩埚等。 5. 真空系统:采用“分子泵+涡旋干泵”真空系统;“一低一高”数显复合真空计;分子泵的型号为脂润滑分子泵700L/S,抽速:700 L/S;机械泵型号为HiScroll 12(普发),抽速:4L/S;真空测量采用数显复合真空计,配备低真空电阻真空规管及高真空电离真空规管,测量范围从 1×10 5 Pa 到 1×10 -5 Pa; 6. 水路系统:给分子泵、蒸发电极配备独立的进、出水,可保证设备长时间稳定运行。膜厚仪探头独立的进、出水。总进水采用水压继电器检测供水及水压状态,执行异常报警。总进、出水采用标准的水路接口连接现场供水系统。 7. 电气控制系统:采用 PLC+触摸屏手自动控制系统,以方便进行镀膜工艺参数的摸索;自动记录保存真空度、膜厚、镀膜时间等曲线及数据;控制内容包括:1)机械泵、分子泵、旁抽阀、电磁阀、放气阀、样品自转、样品升降开与关;2)真空计参数显示及通过真空度识别判断泵、阀开关状态控制,可实现一键抽气、一键工艺、一键破真空等操作。 8. 机架:碳钢制作,静电喷塑表面,支撑腔体与真空系统;前后配门,方便使用和维护;底下配脚轮,方便移动、定位。 9. 控制柜:控制柜与机架一体化设计,组装总控制电源、真空系统控制(分子泵电源、机械泵阀开关、复合真空计显示及控制)、蒸发电源电流显示及控制、蒸发电源切换控制等。 10. 配备4套金属掩膜板。 | 1、 产品免费质保期为 1 年(整机)。 2、 质保期内设备的维修免费(人为损坏因素除外)。 3、 承担质保期内由于设备本身原因而引起的零配件(易损件除外)的更换所造成的费用。 4、 建立设备信息档案,随时跟踪设备运行及维护,保证设备正常运行。 5、 对于质保期以外设备的维护,只收取成本费。 6、 所有配件、备件质保期外可长期按成本价及时提供。 7、 按ISO9001质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输; 8、提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书; 9、在设备验收后,一年内免费维修正常使用出现的故障,非正常的故障维修只核收工本费,终身维修只核收工本费。 10、提供设备培训服务,培训内容包括:1)了解设备的工作原理、组成及各部组件、控制系统的工作原理和使用方法;2)熟练掌握整套系统的操作规程;3)能够对设备的一般故障进行诊断和简单维修,进行易损件的更换;4)对设备能够进行日常的维护和保养。 |
报价地址:***