膜反应器控制仪竞价公告-CB105902022000378_招标网

膜反应器控制仪竞价公告-CB105902022000378

信息发布日期：2022.05.23 标签：广东省招标反应器招标

招标编号：	CB105902022000378
加入日期：	2022.05.23
截止日期：	2022.05.31
招标业主：	深圳大学
地区：	广东省
内容：	基本信息：发布时间：**-- :: 截止时间：**-- :: 申购单号：*************** 申购主题：膜反应器控制仪采购单位：** 报价要求：国产含税发票类型：增值税专用发票币种：人民币预算：付款方式：货到验收合格后付款
关键词：	反应器

招标公告正文

基本信息：

发布时间：2022-05-23 17:26:08

截止时间：2022-05-31 12:00:00

申购单号：CB105902022000378

申购主题：膜反应器控制仪

采购单位：深圳大学

报价要求：国产含税

发票类型：增值税专用发票

币种：人民币

预算：

付款方式：货到验收合格后付款

备注说明：

签约时间：发布竞价结果后7天内签约合同

送货时间：合同签订后45天内送达

安装要求：免费上门安装（含材料费）

收货地址：***

申购明细：

采购内容	数量	单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务
膜反应器控制仪	1	台	190000	重庆瑶纳电子	E100-6882	(一) 设备采用不锈钢设备框架，采用定制抗指纹不锈钢，钢板厚度达到2 mm； (二) 样品基片尺寸：4英寸及以下； (三) 一体式不锈钢抛光反应器 1) 不锈钢圆形反应腔。反应器内径为150毫米，满足基片尺寸4英寸要求； 2) 反应器加热温度：室温~400 ℃；精度±0.3 ℃； 3) 反应器采用浇铸电阻丝进行加热并导热，便于温度均匀性调控； 4) 反应器盖子采用双层设计，并填充保温层，增加温度稳定性和均匀性。 (四) 采用进口8通道阀岛集成气动控制系统（最大可扩展至7路前体源）；1路用于控制尾阀。4路用于控制前体源（最大可扩展至7路源）。 (五) 采用8通道高精度PID温控系统；温控精度±0.3℃；固体继电器控温，节能高效。 (六) 载气采用数字流量计程序控制，控制精度±0.3sccm； (七) 真空泵系统：真空机械泵与相关管路；采用临海谭氏真空泵，抽速3L/s，KF快接接口，方便装卸。 (八) 尾气吸附肼1套，真空泵上面配备专用油雾过滤器，以吸附过量的反应物，从而保护真空泵。 (九) 控制系统： 1) 本设备由电脑进行控制。方便程序升级、更新、镀膜工艺加载和保存。 2) 沉积软件采用高度集成整合界面，可在同一界面方便对沉积参数进行控制。 3) 程序自动记录沉积参数（自动截屏保存）、气压、沉积线路等，利于长久保存、方便查询及故障检查。 4) 快速和高纵深比两种模式可选：程序可任选两种模式中的一种，一键设定，方便可选。 5) 沉积序列设置方便，可交替循环，实现多层交替复合膜、多层多组分变化的梯度膜的设计与制备。 6) 程序设计有最高气压限制、温度范围限定，可防止CVD反应。 (十) 集成整合界面自动控制软件;程序控制两种工作模式（Flow type和Close type）可选。	1、免费保修一年； 2、售后服务2小时响应，12小时内提供解决方案并进行维修； 3、厂家工程师上门安装、培训。

报价地址：***

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