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匀胶旋涂仪竞价公告-CB102862022000428

信息发布日期：2022.05.06 标签：江苏省招标

招标编号：	CB102862022000428
加入日期：	2022.05.06
截止日期：	2022.05.13
招标业主：	东南大学
地区：	江苏省
内容：	基本信息：发布时间：**-- :: 截止时间：**-- :: 申购单号：*************** 申购主题：匀胶旋涂仪采购单位：** 报价要求：进口含税发票类型：增值税专用发票币种：人民币预算：付款方式：货到验收合格后付款备

招标公告正文

基本信息：

发布时间：2022-05-06 08:27:06

截止时间：2022-05-13 09:00:00

申购单号：CB102862022000428

申购主题：匀胶旋涂仪

采购单位：东南大学

报价要求：进口含税

发票类型：增值税专用发票

币种：人民币

预算：

付款方式：货到验收合格后付款

备注说明：

签约时间：发布竞价结果后7天内签约合同

送货时间：合同签订后7天内送达

安装要求：免费上门安装（含材料费）

收货地址：***

申购明细：

采购内容	数量	单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务
匀胶旋涂仪	1	台		美国MYCRO	WS-650Mz-23NPPB	一．技术参数： 1.1 智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全； 1.2 防腐装置； 1.3 设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护； 1.4 通信接口，蓝牙连接； 2．处理腔体 2.1 处理腔体内径不小于 9.5 英寸 (241 毫米)； 2.2 Wafer 芯片尺寸至少满足 10-150mm 直径的材料，方片125x125mm，无需更换片托； 2.3 腔体具有易清洁的 NPP 天然聚丙烯材质； 3．旋转马达 3.1 转动速度至少满足 0-12,000rpm； 3.2 旋涂加速度不小于 12,000rpm/sec； 3.3 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%； 4．控制系统 4.1 工艺时间设定范围至少满足 1-5999.9 sec/step ，精度不超过0.1s； 4.2 配有高精度 PLC 可编程的控制器； 4.3 可存储不少于 20 个程序段，每个程序段可设置不少于 51 个不同步骤的速度状态； 4.4 分辨率不超过 1RPM，重复性误差不超过 1RPM，具有国际标准认证，并且无需再校准； 5．配套泵浦 5.1 配套真空泵系统：无油型 220~240 伏交流，50/60 赫兹； 5.2 真空吸附范围 25-28 英寸汞柱 (~635-711 毫米汞柱)可调节，抽速不小于 4.5 SCFM (0.11 立方米/分钟) ； 6．系统附件 6.1 免费赠送基于 Windows 的操作软件； 6.2 原装进口水平测试仪； 6.3 两袋密封圈； 6.4 *配有两套可更换的废液接收单元；二：配置要求： 1 匀胶机主机数量：1台 2 真空泵 Vacuum Pump Rock300配套真空泵浦 Rock300 数量：1台 3 真空托盘 Spinner Chuck 50~150mm匀胶托盘 50~150mm 数量：1套 4 真空托盘 Spinner Adapter 10~50mm匀胶转接托盘 10~50mm 数量：1套 5 系统附件含密封圈若干、标准样片、水平仪、连接管若干数量：1套 6 操作软件 Spin 3000 Software 数量：1 7 安装文档 Installation Documents 数量：1 8 自动滴胶装置数量：1套	1 设备保修期为设备验收合格后 1 年(保修期内免费提供非人为因素损坏的备件及服务)，并长期提供技术支持。 2 机器发生故障时,供方在 24 小时内明确回复。 3 如果未能解决问题,供方工程师应在 2 个工作日内与用方达成故障解决方案。 4 设备保修期内，损坏的备件原则上卖方应在 1 个工作日内明确回复备件的交货期限。并当供方国内仓库有备件库存时,在 1 个工作日内寄出。 5 保修期结束后，供方应在收到买方定单后 1 个工作日内明确回复备件的交货期限。 6 保修期结束后，供方应优惠供应相关备件。涉及的相关技术服务尽量免费解决，不可避免的收费项目，卖方应提供优惠，届时协商解决。 7 供方承诺向用方长期优惠供应设备相关的耗材。 8 售后服务联系电话***

报价地址：***

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