招标编号: | CB102932022000001 |
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加入日期: | 2022.01.04 |
截止日期: | 2022.01.07 |
招标业主: | 南京邮电大学 |
地 区: | 南京市 |
内 容: | 基本信息: 发布时间:****-**-** **:**:** 截止时间:****-**-** **:**:** 申购单号:***************** 申购主题:原子层沉积装置 采购单位:****** 报价要求:国产含税 发票类型:增值税专用发票 币种:人民币 预算: 付款方式:货到验收合格后 |
基本信息:
发布时间:2022-01-04 09:42:14
截止时间:2022-01-07 09:52:11
申购单号:CB102932022000001
申购主题:原子层沉积装置
采购单位:南京邮电大学
报价要求:国产含税
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:ALD系统: 包括:4英寸,400℃腔体,2路液源,预留4路; 1)反应腔系统:4英寸腔体; 2)多反应模式:“快速沉积模式”(适用于平面基底)、“充分暴露模式”(专用于3维结构材料、粉末基底)、“掺杂模式” 3)前驱体输送系统:高配2路自清洗;含自伴热Swagelok ALD阀门(≤200℃,精度±1℃,开启时间ms),水及其它1路源,配备已验证的成熟标准工艺; 载气:高纯氮气/氩气; 4)电气温控系统:PLC控制,全系统部件及管路采用第三代可拆卸式加热保温套(≤200℃,精度≤±1℃); 5)配备触摸屏外设。
签约时间:
送货时间:
安装要求:免费上门安装(含材料费)
收货地址:***
申购明细:
采购内容 | 数量 | 单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 |
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原子层沉积装置 | 1 | 套 | 迈纳德 | MNT | ALD系统: 包括:4英寸,400℃腔体,2路液源,预留4路; 1)反应腔系统:4英寸腔体; 2)多反应模式:“快速沉积模式”(适用于平面基底)、“充分暴露模式”(专用于3维结构材料、粉末基底)、“掺杂模式” 3)前驱体输送系统:高配2路自清洗;含自伴热Swagelok ALD阀门(≤200℃,精度±1℃,开启时间ms),水及其它1路源,配备已验证的成熟标准工艺; 载气:高纯氮气/氩气; 4)电气温控系统:PLC控制,全系统部件及管路采用第三代可拆卸式加热保温套(≤200℃,精度≤±1℃); 5)配备触摸屏外设。 | 一年以上原厂保修,运送并安装至指定位置。 |
报价地址:***