高真空热蒸发设备竞价公告-CB102932021000177

基本信息：

发布时间：2021-12-30 15:22:55

截止时间：2022-01-04 15:22:40

申购单号：CB102932021000177

申购主题：高真空热蒸发设备

采购单位：南京邮电大学

报价要求：国产含税

发票类型：增值税专用发票

币种：人民币

预算：

付款方式：货到验收合格后付款

备注说明：一、设备简述： 该系统主要用于各种金属薄膜、化合物薄膜、绝缘膜、介质膜、半导体膜等单层/多层膜的制备，也可用于制备合金薄膜、化合物混合膜及薄膜掺杂等。 二、设备主要技术指标 1、蒸发室技术指标 1) 蒸发室极限真空度： 5×10-5pa 2) 蒸发室从大气开始抽气，40分钟能达到8×10-4Pa。 (充氮气） 3) 系统真空检漏漏率：≤5.0x10-11 Pa.l/S 4) 基片尺寸：最大100mm×100mm 向下兼容 、 5) 金属蒸发源2组。有机蒸发源2个. 三、设备配置说明： 本设备从右到左依次为电控柜系统， 蒸发室。 1.1 蒸发室腔体1台。真空腔体为内尺寸约380mm×400mm.圆型真空室，上开盖结构，材质为高真空专业SUS304不锈钢，内外表喷丸，电解抛光处理，腔体周围有CF35法兰，四芯引线法兰、电阻规管、金属电离规管、蒸发源挡板等。 1.2 上观察窗组件 1套。由一只ISO100观察窗。用于观察内部样品架运行情况。观察窗挡板为磁耦合密封运动结构。手动开关。 1.3 样品架 1套。可旋转0～20转/分.样品尺寸最大为100*100MM 。 1.4 金属蒸发源2套 1.5 有机蒸发源 2套。 1.6 挡板4套。气动结构，挡板片可方便拆卸。 1.7 照明 1套。 内部安装24V照明灯。可以独立控制，独立输出。 1.8 机械泵 1套。抽速4L/S。 1.9 帕纳600L分子泵 1套。抽速600L/S。 1.10 KF40电磁压差阀 1套。安装在机械泵口。用于防止放气时机械泵返油。 1.11 水冷膜厚探头2路. 1.13 KF40电磁角阀 1套。安装在分子泵与机械泵中间。 1.14 手动放气阀1套。 2、电控部分 2.1电控机架1套。 用于放置各种电控U箱.电器集成设备右方。 2.2 控制系统1套。按键结构，控制前级，机械泵。样品旋转控制，蒸发源挡板，设备安全报警。 2.3复合真空计 1套. ZDF-5227型数显复合真空计。一高一低。 2.4 金属蒸发电源1套， 国产，5V,200A。两源切换。 2.5 有机蒸发电源2套，最高加热600度，两源切换。 2.6分子泵电源 1台FF600分子泵的控制电源一套。 2.7 双通道塞恩斯膜厚仪。

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安装要求：免费上门安装（含材料费）

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