溅射成膜系统询价中南钻石

项目编号：XJ021110300457

专业领域：其他

主要内容

本询价来自中南钻石有限公司，一、主要技术要求： 1、抽气系统：机械泵+分子泵机组，极限真空度：≤1×10-4Pa； 2、磁控阴极： ? 3组阴极，用于溅射常规金属和磁性金属材料； ? 阴极角度和靶基距可调； ? 可适用于直径为φ3.5mm~φ40.0mm基片薄膜沉积。 ? 电源：RF电源，不低于0.5kw 3、基片载台：可自转，加热时温度≤350℃； 4、掩膜：双面同轴≤±0.1mm； 5、预留离子清洗功能扩展接口； 6、备用一套腔体内部防护板，方便日常保养清洁更换； 7、电气控制：采用PLC+触摸屏实现对系统整体控制和监视，软件上设计操作条件的自锁保护；工艺配方固化后，可方便保存及调取。 二、要求知名品牌；报价提供详细技术参数、产品图片；明确交货期、质保期、易损件清单及明细；未提供不予考虑； 三、报价含税含运费，货到付款；四、技术沟通请与张工118238127417联系具体采购详情请登录后查看https://newtd.norincogroup-ebuy.com/inquiryweb/notice，如有意报价请在阳光七采平台报价，本平台响应无效，询价方联系方式***

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