三维测量显微镜采购公告

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型号

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技术规格及参数

功能：表面三维粗糙度非接触测量；表面微观三维结构测量；显微反射光谱测量；一键式快速测量。
技术参数：
1.测量模式 PSI/VSI/明场
2.单次测量视场（20X物镜） 500*350μm
3.纵向扫描范围 0-10mm
4.纵向测量重复性 0.2nm （PSI 模式）
5.高度测量示值误差<3%
6.横向分辨率 0.35μm （随物镜倍率变化）
7.测量时间＜5s （PSI模式）
8.分析功能 高度测量，尺寸测量，粗糙度分析
9.3D数据输出 3D点云数据， 灰度图像数据，订制报告
配置清单：
三维测量显微镜主机及控制箱
改进型大框架大理石框架
电动XY位移台，可旋转晶圆样品台，精调角度调整台
气浮隔振工作台（830*630*700mm,承重200kg）
静音无油空压机
干涉物镜 10X （单次测量视场:1007 *703μm ）
干涉物镜 50X （单次测量视场180*130μm）
平场显微物镜（10X，20X，50X，100X）
工作站台式机及显示器
测量软件：PSI/VSI-粗糙/VSI-光滑/明场 全模式

售后及质保要求

质保期：中标人提供合格代理商免费质保【1】年。
维修响应时间：提供设备报修电话及联系人***