等离子增强型化学气相沉积设备竞价项目

设备品目类别

仪器设备

设备用途

科研

项目号

HW2021000666

是否批量报价

总价最低成交

竞价开始时间

2021-10-09 15:07:46

竞价结束时间

2021-10-12 14:53:00

交货时间

合同签订后90天

交货地点

华南理工大学五山校区

产品类型

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结算货币

人民币

贷款支付方式

1、验收合格后用户凭发票报账付清全额货款

商品名称

等离子增强型化学气相沉积设备

数量

1

参考品牌

沈阳思联

参考型号

KF60

计量单位

个

本商品预算单价(元)

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保修年限

2年

技术指标

1. 反应腔室 1）方形基片有效尺寸10cm×10cm； 2）基板和电极之间的距离可根据试验需要进行调节； 3）长膜时，腔室内的气体流量、压力可以根据试验要求进行调节； 4）生长的薄膜厚度均匀性小于+/-10％（厚度在200-500nm） （9点法测量：Uniformity = [(Max-Min) / (Max+Min)*100%]）； 5）可对腔室内的残留气体进行检测，并有清排装置； 6）提供观察窗，方便对基片进行观察； 7）绝对压力检测系统（薄膜规） 2. 真空系统 1）低真空部分，干泵； 2）高真空部分，分子泵； 3）反应腔室极限真空优于1×10－5 Pa，工作真空约10－100Pa；从常压抽到1×10－4Pa，时间不超过60分钟。 3. 加热系统 1）反应腔室内，基板温度至少达到500℃； 2）控温精读为±1℃（进口电温控表，品牌：日本岛电）； 3）温度均匀性达到±10度（9点法测试标准）； 4）带有温度传感器，可以实时监测基板温度； 5）可以控制升温和降温的速率； 4. 气路系统 1）4条气路，所需工艺气体为： SiH4、N2O、NH3、N2； 2）另外预留两条气路接口； 3）气体流量可控； 4）带有安全防爆气路柜+气路（带气路反充洗功能 泄露报警器 ），N2O、NH3、N2采用特气专用质量流量控制器+专用电磁阀+进口隔膜阀（气动）；SiH4采用进口质量流量控制器（品牌：日本堀场）+进口隔膜阀（气动）；安全进气总阀门；进口隔膜阀（气动 急停控制）+高真空电磁阀 5. 反应源 1）方式；多孔喷淋式 2）尺寸；6英寸 6. 射频电源 1）供电AC220V/50Hz/10A 2）输出13.56MHz(±0.1%) 3）匹配器：自动匹配 7. 其他辅助设备 1）照明系统：腔室内安装照明系统，方便对内部系统的观察； 2）腔室的清洗方便，提供可行的清洗方案； 3）所有腔室要求使用不锈钢材料加工制造，高洁净度（放置超净室）； 4）控制系统：(自动抽真空+自动关机+保护互锁装置+安全急停)； 5）排气管：不锈钢（或不可燃材料），带有氮气稀释接口

安装及售后要求

1. 电源要求：220V/380V，50Hz 2. 洁净级别要求：千级超净室 3. 原厂技术人员现场安装调试，安装时提供现场培训。

附件

无

1、本系统将向成交供应商收取成交金额的0.5%作为技术服务费；
????请成交供应商在参与项目竞价完成后及时登录系统，务必在项目成交后7个工作日内点击“操作”确认成交并缴纳平台使用服务费。
???（特别提醒： 超过7个工作日逾期未支付平台服务费用，视为自动放弃成交结果！） 2、必须提供原装原厂新货品； 3、为防止恶意控制价格，在网上竞价结果公布前，不允许任何供应商向厂家或总代理商报备；4、本系统预算仅供参考，采购人不能支付的超预算报价，作无效报价处理；5、一般以人民币报价的项目，必须含税；以外币报价的项目，必须按照CIF广州港/CIP广州机场/DAP华南理工大学进行报价；如项目有特殊说明的从其说明；6、定制类项目竞价完毕后，如用户单位如需要提供样品，竞价单位则必须要提供，因此，报价时必须考虑；7、空调、监控等强、弱电安装项目，竞价单位必须具有相关安装资质的技术人员（并能提供相关证明材料），严禁无证上岗；8、供货完毕后，提供购销类发票（非工程类发票或服务类发票）给用户单位。