全自动等离子体化学气相沉积系统采购采购公告

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技术规格及参数

主机参数：
1.微波系统
★a)微波频率：2450±25MHz
★b)输出功率：0.6kw~6kw连续可调
c)微波调谐：三销钉调配器，模式转换天线；
d)微波反射保护：环形器，水负载；
e)微波工作模式：TM013
f)微波泄漏：≤ 2 mw/cm2

2.真空系统
★a)工作气压范围：10~250Torr
b)自动稳压范围：40~250Torr
c)真空泵：4.4L/s双级旋片式真空泵
★d)系统漏率：<1.0x10-9 Pa·m3 /s(通过氦质谱检漏仪检测)
★e)腔体保压能力：每24小时压升小于0.2 Torr
f)本底极限真空：0.1Pa（7.5 x10-4 Torr)
g)真空测量：配备两个佳能canon薄膜规（分别测本底真空和工作气压）

3.真空反应腔
a)反应腔材料及结构：双层水冷不锈钢反应腔
b)真空密封：CF刀口法兰金属密封+氟胶圈密封(取样门)
c)样品台窗口：110x63mm长方形端口，带O形氟橡胶圈密封的前门
d)观察窗口： 两个端口，CF35大口径，180°分布
e)测温窗口： 两个窗口水平角度25~30°，180°分布；窗口方便从反应腔上部的斜角向下检测样品台的温度

4.样品台：
a)电动升降式水冷基片台，直径120mm，高度可调范围0～110mm
b)钼基片台直径≥50mm，在5000w, 180Torr工作状态，等离子体火球可覆盖整个基片台
c)基片台温度 250～1400℃（取决于工艺参数）

5.气路：
★a)系统自带五路MFC
★b)五路MFC最大流量：H2: 1000sccm，CH4：100sccm，O2：20sccm，N2：10sccm，Ar:10sccm,

6.测温系统
a)采用红外测温系统，测温范围：250~1400℃

7.系统软件
a)配置PLC控制的15“触摸显示屏，用户操作界面友好，所有操作均可在触摸屏上完成
b)系统支持工程师和操作员两个用户级别，提供用户权限管理功能
c)系统自带缺水，缺气，电源缺相，火球跳变，过温过载，打火等自动保护
d)可设置多达10套工艺配方，每套配方有40行数据，生产流程通过工艺配方自动控制，工艺数据可通过U盘备份导出
e)系统自带全自动抽气，点火，升温，降温等预设流程，用户操作简便
f)全自动温度控制，气压控制，极大减轻系统操作员的工作量

售后及质保要求

1.质保期：1年；
2.为保证售后服务质量，供应商承诺提供制造厂家售后服务;
3.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人***