中国工程物理研究院电子工程研究所自动清洗腐蚀机采购项目（第二次）竞争性磋商公告

项目概况

自动清洗腐蚀机采购项目的潜在供应商应在四川省绵阳市游仙区科学城物资部获取竞争性磋商文件（以下简称：磋商文件），并于2021年9月22日14点40分（北京时间）前递交响应文件。

一、项目基本情况

1.项目编号：WTSB21060400025；

2.项目名称：自动清洗腐蚀机采购项目；

3.采购方式：竞争性磋商；

4.预算金额：90.0万元；

5.最高限价：88.7万元；

6.采购需求：

7.合同履行期限（交货时间）：合同签订生效后7个月内完成交货。

8.本项目不接受整机进口产品；

9.本项目不接受联合体参加；

二、申请人的资格要求

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定：

1.1具有独立承担民事责任的能力；

1.2具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；

1.3具有履行合同所必须的设备和专业技术能力；

1.4具有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；

1.5参加本次采购活动前3年内，在经营活动中没有重大违法记录；

1.6法律、行政法规规定的其他条件。

2．落实政府采购政策需满足的资格要求：无；

3.本项目的特定资格要求：

3.1参加本次采购活动前3年内，供应商单位及其现任法定代表人不得具有行贿犯罪记录；

3.2截至递交响应文件截止时间，供应商不得为“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）中被列入失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单或政府采购严重违法失信行为记录名单中被财政部门禁止参加政府采购活动的供应商（处罚决定规定的时间和地域范围内）；

3.3被列入中国工程物理研究院不良行为记录名单的供应商及其法定代表人名下的其他企业在禁止期内不得参加本次釆购活动；

3.4单位负责人***

3.5本项目提出的特定条件：无。

三、获取磋商文件

1. 凡有意参与者，请于2021年9月1日至2021年9月8日（北京时间，法定公休日、法定节假日除外），上午8:10-11:30，下午14:40-17:40，联系工作人员获取磋商文件（本项目磋商文件只能通过中国工程物理物资部获取）。

联系人***

联系电话***

电子邮箱***

2.获取程序（通过邮件方式获取）

2.1供应商将介绍信（格式自拟）直接发到工作人员邮箱（获取时间以邮件接收时间进行认定，超出获取时间的无效），工作人员1个工作日内将采购文件推送到报名邮箱。

2.2本项目采购文件免费提供。

四、提交响应文件截止时间和地点

时间：2021年9月22日14:40（北京时间）。

地点：响应文件应在递交响应文件截止时间前送达开启地点。逾期送达或未按要求密封的不予接收。本次采购不接收邮寄的响应文件。

五、开启

时间：2021年9月22日14:40（北京时间）；

地点：四川省绵阳市科学城中物院招投标交易中心（科学城九区旁老动力部院内）。    

六、公告期限

自本公告发布之日起3个工作日。

七、其他补充事宜

1. 本项目需要落实的政府采购政策：扶持不发达地区和少数民族地区、促进中小企业发展政策、支持监狱企业发展政策、促进残疾人就业政策、优先购买节能产品政策、优先购买环境标志产品政策、强制购买节能产品政策、优先采购无线局域网认证产品政策、《关于开展政府采购信用担保试点工作的通知》。

2.本公告在中国工程物理研究院招投标信息网上发布。

八、对本次磋商提出询问，请按以下方式联系

1.采购人信息

名    称：中国工程物理研究院电子工程研究所　　　　　　　　　　　　

地    址：四川省绵阳市绵山路64号　　　　　　　　　　　　

联系方式***

2.采购代理机构信息

名    称：中国工程物理研究院物资部　　　　　　　　　　　　

地　  址：四川省绵阳市科学城物资部　　　　　　　　　　　　

联系方式***

3.项目联系方式

项目联系人***

 

 

2021年9月1日

附件：技术要求

一、设备技术实施方案概况

基本技术原则及保证

 1．外观整洁美观，最大限度的减少净化间使用面积。

2．设备结构布局合理，用户操作、使用、维修方便。

3．采用成熟、可靠的系统结构方式，确保设备工作的可靠性。

4. 机台所有配件要方便维修，方便购买为原则。

二、设备用途及基本配置：

★1、具备超声槽、喷淋槽、酸腐蚀槽；

★2、具备机械手传递；

★3、超声功率：≥500W；

★4、热水：常温～80℃可控。

★5、基本尺寸：不超过2100L×1500W×2200H mm。

6、槽体要求为至少5个槽体（两个丙酮/乙醇/纯水超声清洗槽，具备隔水超声能力，一个冷热水QDR槽）。一个QDR冲水槽，一个腐蚀槽。其中两个超声清洗槽与冷热水QDR槽用于硅片自动化清洗，腐蚀槽和QDR冲水槽用于手动清洗。

  三、分系统说明

3.1 槽体说明

1）丙酮/乙醇/纯水超声清洗槽需具备隔水超声能力

l  主要由不锈钢槽体、内置水浴缸、超声换能器、排放口、液位检测、管路和管件等组成。

l  ★内置水浴缸有效尺寸：不低于：长×宽×深 =180（mm）×180（mm）×160（mm），不超过长×宽×深 =240（mm）×240（mm）×230（mm）。

l  化学液：丙酮/乙醇/纯水。

l  液位控制：槽内安装有液位检测系统，当液面过低时发出,报警。

l  超声组件：槽体底部安装有超声换能器，频率：40KHz最大功率为600w，功率连续可调。

l  ▲药液供给方式：丙酮/乙醇机台供液桶自动供至内置水浴缸内（选配）。

2）腐蚀槽

腐蚀槽为PVDF材质，腐蚀液手动配置及加入，可实现搅拌及快速排出

l  主要由槽体、搅拌机构、排放口、管路和管件等组成。

l  ★槽内口有效尺寸：不低于：长×宽×深 =180（mm）×180（mm）×160（mm），不超过长×宽×深= 240（mm）×240（mm）×230（mm）。

l  搅拌控制：工作状态下可使腐蚀液保持旋转搅拌状态。

l  药液供给方式：手动供给。

l  药液排放方式：直排，初次排除腐蚀液排入废液收集桶，后续排入厂务排放管道。

3）QDR冷热水槽

l  QDR快排冷热水冲洗槽，主要具备喷淋、N2鼓泡系统、快排功能、加热功能（从室温到至少85度）、可控型冷热水切换、电阻率检测功能。

l  ★槽体内口有效尺寸：不低于：长×宽×深 =180（mm）×180（mm）×160（mm），不超过长×宽×深= 240（mm）×240（mm）×230（mm）。

l  在溢流排放口安装有电阻率检测仪，可对冲洗溢流的水质实时检控

4）QDR槽

l  QDR快排水冲洗槽，主要具备喷淋、N2鼓泡系统、快排功能。

l  ★槽体内口有效尺寸：不低于：长×宽×深 =180（mm）×180（mm）×160（mm），不超过长×宽×深= 240（mm）×240（mm）×230（mm）。

l  在溢流排放口安装有电阻率检测仪，可对冲洗溢流的水质实时检控。

5）废液收集机构

机台内配有废液收集机构， 两个箱体分别收集乙醇和丙酮，箱体配有液位传感器，废液液位达到高位时会报警提示。

3.2设备排风系统

机台应具备排风系统。

3.3 电气控制系统

1.  整机的电控系统应布局合理。

2.  设备具有自动和手动运行功能，自动运行根据用户编制的工艺程序设备自动完成各槽间的传输及清洗功能，各个动作实现互锁，确保设备安全及人身安全。手动功能完成所有的单步动作，以便用户维修及特殊需要。

3.  设备具有上电手动操作复位功能。

4.  机台能存储至少5套工艺参数，操作者可调用预先编制好的工艺程序。

5.  电气控制排线整齐，标识清楚。

3.4 水、气路系统

1.  设备气路（氮气、压缩空气）可分开控制，化学液体及去离子水路采用进口PFA、PP、PE、PVC管件和接头。

2.   整机管路系统、控制阀体、循环泵等标识清楚。

3.5 机械手传输系统

机械手传动系统机械手整体结构采用臂式机械手。传动部分采用导轨和伺服电机控制系统，安装在相对清洗槽体完全独立的空间, 伸到清洗槽部分的机械手臂全部用耐腐蚀材料包裹。

四、设备安全设置

1． 设备采用防腐材料或防腐结构处理，操作区与工作区隔离。

2． 具有漏电断路保护装置。

3． 具有过温和过载保护装置。

4． 设备的各种管件、接头均采用专业厂家产品，保障连接、使用的可靠性。

5． 管路区底部有防漏检测装置。

6． 具有氮气、压缩空气压力报警功能。

7． 化学加热槽都配有相应的低液位传感器及超温保护开关，防止槽体干烧。

8． 设备具有风压检测装置，当厂务风压不足时报警提示。

9．整机所有元件通过CE，CCC或UL认证。

10．机台设有紧急停止回路（EMO急停按钮）。

 

五、其他有关说明：

1、验收方法

1)   出厂前预验收

设备在乙方公司装调完成后，甲方派相关人士进行设备出厂前的预验收，预验收内容主要包括：外观、配置、功能等静态指标；工艺设置、运行、稳定性等动态指标。在预验收完成后双方形成预验收备忘录。

2)   交付使用验收

在设备运到甲方后，由乙方工程师对设备进行调试，并对甲方操作人员进行操作培训，待调机及培训完成后，对设备进行交付使用验收。设备验收的功能及指标均按操作手册和技术协议提供的资料验收，无故障及设备工作正常为合格。

2、售后服务承诺

1） 售后服务响应时间：接到报告后4小时内提供电话解决方案。如果需要，技术工程师在48小时内到达甲方工作现场。

2） 质保期后乙方优先优价向甲方提供所需的各种备品备件。

 

    ★以上非★且非▲条款，超出16项及以上负偏离响应无效。