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技改项目之尼康光刻机采购公开招标采购公告
- 信息发布日期：2021.08.19 标签： 广东省招标 深圳市招标 光刻机招标
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加入日期： 2021.08.19 截止日期： 2021.09.03 地 区： 深圳市 内 容： 项目信息 项目名称: 技改项目之尼康光刻机采购 项目编号: ***RA******* 项目地址: ***宝龙七路*号深爱公司 项目类型: 货物 采购方式: 公开招标 项目行业分类: 制造业 资金来源: 企业自筹 项目概况: 深爱公司拟通过公开招标方式采购二手翻新尼康NSR **** I*光刻机*台， 关键词： 光刻机 -
招标公告正文
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项目信息
项目名称: 技改项目之尼康光刻机采购 项目编号: 211RA0248966 项目地址: *** 项目类型: 货物 采购方式: 公开招标 项目行业分类: 制造业 资金来源: 企业自筹 项目概况: 深爱公司拟通过公开招标方式采购二手翻新尼康NSR 2005 I8光刻机5台，用于制造6英寸晶圆，晶圆厚度580±50微米，设备报价需包含运到我司制造部厂房内，以及安装调式直至验收通过交付我司止所需的全部费用，质保期为验收通过后1年以上；凡符合资质要求并能提供1台及以上该设备的单位均可参与投标，最终中标家数以满足深爱公司采购5台设备为止（不排除多家中标的可能）；设备为交钥匙工程。 相关主要技术要求包括但不限于以下内容： （1）光刻机在现场安装调试及质保期内所有备品备件由中标人提供，备品备件费用由中标人承担； （2）掩模传输成功率：100%，连续传输20次以上； （3）芯片传输成功率：100%；连续传片500片以上； （4）必须要有FIA对准功能和LSA对准功能； （5）双视场均可正常使用，验收时参数以20.0视场为准（5寸掩膜版。如果掩膜版是6寸的，必须保证22.0视场情况下可以满足所有技术指标，否则必须改造成5寸掩膜版）； （6）必须能够实现双工位放片，每次可以同时放2个花篮做片； （7）STAGE的X、Y方向传动丝杆必须是滚珠丝杆，不接受铜套丝杆； （8）设备MTTR小于6小时，MTBF大于600 小时； （9）设备调试完成试运行3个月后才能进行验收，如有关键指标达不到要求，招标人有权要求中标人解决后才进行验收；验收时各项指标实际值（Actual Spec）按招标人的测量值为准。 公告名称: 技改项目之尼康光刻机采购公开招标采购公告 公告发布媒体: 深圳阳光采购平台，中国招投标公共服务平台 公告开始时间: 2021-08-19 15:37 公告信息: 1、投标人以邮件方式将报名表发送到招标人邮箱weisq@sisemi.com.cn，抄送xutj@sisemi.com.cn； 2、招标人收到有效报名表后回复招标文件下载提取码； 3、投标报名表获取地址：*** *** 招标段/包标段/包名称: 技改项目之尼康光刻机采购 标段/包编号: 211RA0248966/01 报价方式: 总价包干 采购控制价（元）: 19500000 采购控制价说明: 本次投标报价不设标底报价，请参与头投标单位给予最真诚的报价。 采购控制价说明附件: 评审办法: 综合评估法 开启形式: 线下开启 投标/响应文件: 线下递交 是否缴纳保证金: 否 是否采用评定分离方式: 否 是否递交资格审核资料: 否 联合体投标: 不允许 交货期(天): 150 交货期说明: 自合同签订生效之日起至设备验收通过交付之日。 招标/采购范围: 二手翻新尼康 NSR 2005 I8光刻机5台。 资格条件: (一)合法注册并具有独立承担民事责任的能力； (二)所提供的设备必须满足招标文件中的全部技术指标。 (三)主要客户群体主要是半导体芯片厂家，近三年内有给客户提供过尼康光刻机设备采购供应、设备安装调试、设备改造方面相关证明材料3份以上（包括但不限于合同、发票扫描件） 文件获取开始时间: 2021-08-19 15:37 文件获取截止时间: 2021-08-24 15:37 质疑截止时间: 2021-08-24 15:37 澄清、修改、答疑截止时间: 2021-08-25 09:00 递交文件截止时间: 2021-09-03 17:00 开标时间: 2021-09-03 18:00 文件获取地点: 链接：https://pan.baidu.com/s/1nAfyRdYtrrc9lBZUbNFxhA 开标地点: 深圳市龙岗区宝龙七路3号深爱公司 招标人信息报价网址:https://www.szygcgpt.com/yg-jy-toubiao/index.html#/login采购单位名称: 深圳深爱半导体股份有限公司 采购单位地址: 联系人*** *** 联系电话*** *** 监督人: 郑女士 监督人联系电话*** ***
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客户咨询:400-633-1888 信息发布电话:13030031390 传真号码:010-59367999 总部地址:北京市海淀区中关村大街11号7层(100190)
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