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微纳材料精密温控合成系统（HITJJ-2021000016）采购公告
- 信息发布日期：2021.07.15 标签： 黑龙江省招标
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加入日期： 2021.07.15 截止日期： 2021.07.20 招标业主： 哈尔滨工业大学 地 区： 黑龙江 内 容： 项目名称微纳材料精密温控合成系统项目编号HITJJ-********** 公告开始日期****-**-** **:**:**公告截止日期****-**-** **:**:** 采购单位*******付款方式一次付清 联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看 签约时间 -
招标公告正文
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项目名称 微纳材料精密温控合成系统 项目编号 HITJJ-2021000016 公告开始日期 2021-07-15 08:24:24 公告截止日期 2021-07-20 09:00:00 采购单位 哈尔滨工业大学 付款方式 一次付清 联系人*** 中标后在我参与的项目中查看 联系电话*** 中标后在我参与的项目中查看 签约时间要求 成交后15个工作日内 到货时间要求 预算总价 ￥ 350000.00 收货地址 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号明德楼 供应商资质要求 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件采购清单1采购商品 采购数量 计量单位 所属分类 微纳材料精密温控合成系统 1 套 无 品牌 九所科技 型号 JSPECVD-12IIH-4Z/G-13Q 预算单价 ￥ 350000.00 技术参数及配置要求 温度范围： 极限温度1200℃ ；控温精度：0.1℃。额定功率：≥3.2kW；加热区长度：700mm；恒温区长度：400mm；预加热加热区300mm，恒温区200mm炉温稳定度：±1℃；温度控制系统:程序温控仪128 段程序控温； PLC控制和自整定功能，支持图像记录与导出；设有超温及断偶报警；炉膛材料采用多晶莫来纤维真空吸附制成。电热元件采用优质的合金OCr27A17Mo2。双环密封挤压法兰有效的保证炉管的密封可靠性。气路具有进出气微量可调功能，气量调节精度量程比在 1︰3 范围内，流量校准扩展不确定度≤±0.2％，重复性≤± 0.15%F.S，外漏率≤1×10-9 SCCM(He)，响应速度≤0.5 秒。两端气路支架，支撑着气路装置，空气隔热技术当炉体表面降温采用风冷。配 高真空 系 统： 极 限真 空 度 ≤ 2*10-6Pa；配粉体吸附器，密封压力：≥1Mpa,调压精度：≤0.1Mpa,粉体吸附器通过极限分子量 ≤3K，高压强耐冲击，与专业的控制电源配套使用，提高了使用的可靠性，尤其当炉管密封系统与大气相通时系统会自动停止工作，待炉管密封系统恢复正常仍可正常工作。。采用数显流量显示仪，配质量流量控制器，采集数据并控制流量。具有控制精度高，响应时间1S,线性2点方式。采用单向阀技术，使气体流量在可控压力范围内控制，保证安全。采用混气罐装置，使气体可以在充分混合后导入工作室内，确保不会泄露。4路控制范围氢气、氧气范围: 0~100 sccm；甲烷: 0~200 sccm ；氮气: 0~500 sccm 。信号频率13.56MHz±005%，功率输出范围5W-500W，射频输出接口50Ω，N-type,temale，谐波分量≤-50dbc，整机功率≥70%，屏幕显示正方向功率，匹配器电容位置，偏置电压值。高温处理器：极限温度：1300度；炉膛尺寸（mm）400*300*200（深*宽*高）；功率：6KW；结构实用性：不锈钢罐体，耐腐蚀性良好，气体循环冷却技术，表面温度低；设备安全性：特有的紧急报警泄压设计，采用防爆装置原理，罐内压力超过0.1MPa，紧急泄压口爆破泄压，确保罐体安全。采用进口高真空真空系统，确保罐体极 限真 空 度 ≤ 2*10-6Pa。 售后服务 电 话 支 持 :7x24 小时;质 保 期 :2年; 服务时限:报修 后 24 小时;销售 资质:协议供货 商;商品承诺: 原厂全新未拆封 正品;供货周期:1个月; 哈尔滨工业大学招标与采购管理中心2021-07-15 08:24:24
报名地址:***
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客户咨询:400-633-1888 信息发布电话:13030031390 传真号码:010-59367999 总部地址:北京市海淀区中关村大街11号7层(100190)
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