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原子层沉积系统（GY202103542）采购公告
- 信息发布日期：2021.07.08 标签： 山东省招标
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加入日期： 2021.07.08 地 区： 山东省 内 容： 项目名称原子层沉积系统项目编号GY********* 公告开始日期****-**-** **:**:**公告截止日期****-**-** **:**:** 采购单位信息科学与工程学院付款方式货到验收合格后付款 联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看 签约时间要求到 -
招标公告正文
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项目名称 原子层沉积系统 项目编号 GY202103542 公告开始日期 2021-07-08 11:56:22 公告截止日期 2021-07-13 12:00:00 采购单位 信息科学与工程学院 付款方式 货到验收合格后付款 联系人*** 中标后在我参与的项目中查看 联系电话*** 中标后在我参与的项目中查看 签约时间要求 到货时间要求 签订合同后一周内 预 算 ￥ 320,000.00 收货地址 山东大学青岛校区N5楼 供应商资质要求 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件采购清单1采购商品 采购数量 计量单位 所属分类 原子层沉积系统 1 台 机电设备 品牌 迈纳德 型号 MNT-S100-L3S1 预算 ￥ 320,000.00 技术参数及配置要求 1 设备主机
2 设备主机规格
2.1 机柜主体采用铝型材可移动框架，门板采用不锈钢拉丝，面板为不锈钢镜面
2.2 触摸屏固定于面板上，可360度自由旋转，可调视距、视角、自由悬停
2.3 主控系统为PLC，采用PID温度控制方式
2.4 设备本底真空为0.67 Pa
2.5 设备漏率≤ 5×10-10 Pa·m3/s
3 反应腔
3.1 反应腔：反应腔体材质为316L，漏率≤ 5×10-10 Pa·m3/s，腔体表面镜面抛光后电解。
3.2 样品台尺寸φ100mm ，标准4英寸腔体。
3.3 开启方式：通过界面操作自动充气，配备压差计以及开腔指示灯。
3.4 样品台加热温度最高可达400 oC，采用程序PID控制方式，温度控制精度为±1 oC。
4 前驱体源输送系统
4.1 配备6路金属前驱体源输送管路，常温源1路，加热源2路，固态源1路，预留2路，配备载气管路和质量流量控制器（品牌Hariba）
4.2 前驱体源输送管路均包裹在加热套中，最高加热温度可达250℃。配置温度传感器，温度控制精度满足±1℃；
4.3 ALD专用阀门（品牌Swagelok）为自带吹扫功能的三孔阀，响应时间小于5 ms，采用耐高温执行器，耐温高达200 oC，阀体材料为超高纯应用场合的316L VIM-VAR不锈钢，隔膜材料为高强度和耐腐蚀的钴基超级合金。阀体内置直径为1/8”加热器，外包定制柔性保温套，最高加热温度可达200℃，温度控制精度满足±1℃
4.3 每路常温源输送管路，配备1个ALD专用阀门（品牌Swagelok）和1套常温源容器，每套常温源容器包括1个Swagelok@ DOT钢瓶和1个隔膜手动阀（品牌Swagelok）。钢瓶的容积为50mL ，接口规格为高流量H型1/4” FVCR，隔膜手动阀耐温为121 oC。
4.4 每路加热源输送管路，配备1个ALD专用阀门（品牌Swagelok）、1套加热源容器以及加热保温系统，加热源容器包括1个Swagelok@ DOT钢瓶和2个隔膜手动阀（品牌Swagelok），钢瓶的容积为100mL ，入口规格为1/2” MVCR，出口为1/4” FVCR，加热源容器定制柔性加热保温套，最高加热温度可达250℃，温度控制精度满足±1℃。
4.5 每路载气辅助源输送管路，配备1个ALD专用阀门（品牌Swagelok）、1套载气辅助源容器以及加热保温系统，加热源容器包括1个钢瓶和2个波纹筒管高温手动阀（品牌Swagelok），钢瓶的容积为50mL ，接口规格为高流量H型1/4” FVCR，波纹管手动阀耐温为315 oC。加热源容器定制柔性加热保温套，最高加热温度可达250℃，温度控制精度满足±1℃。
4.6 管路及接头均采用316 EP级电解抛光不锈钢材料，所有气体管路连接处采用金属VCR密封；载气管路采用N2或者Ar气体，通过质量流量控制器控制(品牌为Horiba，量程为200 sccm)；配备惰性气体自清洗系统，在控制界面中可以设置自动清洗的次数；
5真空系统：
5.1 真空泵采用双级油封式真空泵(品牌为ULVAC)，抽速为14 m3/h，本底真空0.5*10-3Torr。
5.2 真空测量：配备进口压力传感器，检测范围：1000-2.3*10-4 Torr。
5.3 真空抽气管道可以烘烤至150℃，且真空泵前级配置热阱，加热温度300℃，控制精度±1℃；
6 控制系统
61 控制系统要使用网络通信PLC控制方式，控制元器件之间有足够的散热空间。设备的电气控制系统安全可靠，维护方便；
6.2 界面操作界面支持历史数据、报警日志以及配方的导入导出功能；
6.3 界面操作系统实时展示系统加热状态，可根据工艺要求在配方结束后以及清洗后自动关闭加热系统
6.4 界面操作系统实时展示阀门开关状态、腔室压力状态、配方进展、薄膜沉积剩余时间
6.5 操作界面可编辑配方，可对工艺参数沉积温度、阀门编号、前驱体源脉冲时间、清洗时间、流量进行编辑、保存以及导入配方
6.6 操作界面含独立的高级设置界面，可对各个温度进行PID调试、编辑前驱体源标签、查看前驱体源使用循环次数
6.7 操作界面支持多个配方交替沉积，实现单一和多层薄膜材料的制备
6.8 操作界面中所有ALD阀门具备自动排空功能，所有管路具备自动清洗功能，可设置清洗次数，确保ALD阀门以及腔体管路中没有前驱体源的残留
6.9 系统中所有ALD阀门以及真空阀配备电磁阀，电磁阀响应时间<3 ms，带过电压保护回路，带动作指示灯。售后服务 质保期限:1年; 报价地址：http://zcgl.sdu.edu.cn/provider/#/enquiry/1665374523522A916FCC4E7CEFE7F952/bid2021-07-08 11:56:22
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