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全自动涂胶显影一体机招标公告

信息发布日期:2021.07.08 标签: 上海市招标 
加入日期:2021.07.08
截止日期:2021.07.29
招标业主:上海交通大学
招标代理:上海中招招标有限公司
地 区:上海市
内 容:******电子信息与电气工程学院全自动涂胶显影一体机国际招标公开招标公告项目概况 本项目采购设备用于深紫外曝光(KrF,波长***nm)用光刻胶的涂胶、显影等工艺处理,通过与DUV步进投影光刻机的集成,实现*英寸、*英寸及*英寸晶圆亚微米/深亚微米线宽的全自动光刻工艺。 一、项目基本情况 项目编号
 
招标公告正文
上海交通大学电子信息与电气工程学院全自动涂胶显影一体机国际招标公开招标公告项目概况

本项目采购设备用于深紫外曝光(KrF,波长248nm)用光刻胶的涂胶、显影等工艺处理,通过与DUV步进投影光刻机的集成,实现4英寸、6英寸及8英寸晶圆亚微米/深亚微米线宽的全自动光刻工艺。

一、项目基本情况

项目编号:0834-2141SH21A082

校内编号:招(设)[2020][A]243

项目名称:上海交通大学电子信息与电气工程学院全自动涂胶显影一体机

预算金额:1000.00万元(人民币) (大写:人民币壹仟万元整)

最高限价:1000.00万元(人民币) (大写:人民币壹仟万元整)

采购需求:

序号

货物名称

数量

简要技术规格

交货期

交货地点

1

全自动涂胶显影一体机

1 台

★4.3.1 旋转速度:10?5000rpm, 精度:±1rpm,   加速度:100~20000rpm/sec.

(详见第八章)

合同签订后9个月内

关境外货物:

CIP上海机场

关境内货物:

上海交通大学

合同履行期限:合同签订后9个月内

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求:

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;/

2.落实政府采购政策需满足的资格要求:

本项目为机电产品国际招标项目,相关法规与政策均按照《机电产品国际招标投标实施办法(试行)》执行。

3.本项目的特定资格要求:

1)具有独立的法人资格,相应的经营范围;
2)投标人是专业生产本次所需设备的制造商,或由制造商指定一个代理商作为本次投标的唯一授权代理;
3)投标人提供的投标机型应是原产地的全新产品;
4)投标人必须在机电产品招标投标电子交易平台上注册,网址:http://注册成功后还须通过网站的验证;
5)不接受联合体投标;
6)已购买本招标文件。

三、获取招标文件

时间:2021年7月8日  至 2021年7月15日(提供期限自本公告发布之日起不得少于5个工作日),每天上午9:30至11:30,下午13:00至16:00。(北京时间,法定节假日除外)

地点:上海市共和新路1301号C座110室

方式:见其它补充事宜

售价:¥500.0 元,本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

2021年7月29日 9点30分(北京时间)(自招标文件开始发出之日起至投标人提交投标文件截止之日止,不得少于20日)

地点:上海市共和新路1301号C座111室

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

校内编号:招(设)[2020][A]243

有意向的投标人可从2021年7月8日起至2021年7月15日,每天(节假日除外)上午9:30时至下午16:00时(北京时间)至在上海中招招标有限公司购买招标文件,本招标文件每套售价为人民币500元或美元75,标书售后不退。

 有意向的投标人报名时须先登录“上海交通大学招投标与政府采购办公室(http://zcb.sjtu.edu.cn/)”进行网上注册。

 因疫情原因,本招标文件不现场发售,有意向购买的投标人将营业执照复印件、法人代表授权书、身份证复印件(以上材料须加盖公章)、汇款底单(须公对公)和开票信息发送至lins32@126.com,在邮件中注明项目名称、联系人***

 招标机构:上海中招招标有限公司

开户银行(人民币):中国民生银行上海分行虹桥支行

账号(人民币):0208014210004789

摘要:0834-2141SH21A082

七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称:上海交通大学     

地址:***

联系方式:陆老师 86-21-54744366,技术联系***

2.采购代理机构信息

名 称:上海中招招标有限公司            

地 址:***

联系方式***

 



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