加入日期: | 2021.05.28 |
---|---|
截止日期: | 2021.05.30 |
地 区: | 深圳市 |
内 容: | 项目信息 项目名称:I*-*#光刻机故障解决项目编号:***RK******* 项目地址:**深爱半导体股份有限公司项目类型:服务 采购方式:其他 项目行业分类:制造业资金来源:企业自筹 项目概况:自****年*月以来,I*-*#光刻机自****年*月以来,出现复位位报警,Z轴复位不过, |
项目名称: | I3-2#光刻机故障解决 | 项目编号: | 211RK0230259 | ||
项目地址: | *** | 项目类型: | 服务 | ||
采购方式: | 其他 | ||||
项目行业分类: | 制造业 | 资金来源: | 企业自筹 | ||
项目概况: | 自2021年2月以来,I3-2#光刻机自2021年2月以来,出现复位位报警,Z轴复位不过,一直处于不能做片的情况。过程:关掉机台电源,用手转动Z轴电机铜齿轮,使chuck升到顶部,开电复位后chuck下降到低位的机械位置后不往上升,并报警。按掉报警继续复位后再次出现报警,报警代码25-932-0002和25-86-0100,前期通过处理,每次可以正常做片几天,后面就一直复位就出现报警,没办法恢复,目前处于DOWN状态。如下图所示。1.I3光刻机为MOS光刻机6寸对位设备,该工序为6寸瓶颈工序,一台设备停机会影响3500片/月的产能; 2.MOS光刻工序设备工程师人员缺少,也没有经过相关培训,无法处理此类光路调整、精度调整、软件校准方面的故障,无法恢复该设备; 3.由于此款设备比较老旧,在国内使用的公司很少,没有专业的调机公司可以提供设备的故障排除、进度调整以及调机方面的服务,目前只有四川广义公司有在使用此类型设备。综上,由于该设备故障导致6寸产量受到影响,急需解决,尽快投入生产 | ||||
邀请函名称: | I3-2#光刻机故障解决邀请函 | 发送时间 | 2021-05-28 | ||
答复截至时间: | 2021-05-29 13:00 |
标段/包名称: | I3-2#光刻机故障解决 | 标段/包编号: | 211RK0230259/01 |
报价方式: | 总价包干 | 采购控制价(元): | 100000 |
评审办法: | 其他 | 开启形式: | 线下开启 |
投标/响应文件: | 线下递交 | ||
是否缴纳保证金: | 否 | ||
是否采用评定分离方式: | 否 | ||
是否递交资格审核资料: | 否 | 满足开启家数: | 1 |
联合体投标: | 不允许 | ||
服务期(天): | 30 | 服务期说明: | 中标后30天内完成故障排除 |
招标/采购范围: | 自2021年2月以来,I3-2#光刻机自2021年2月以来,出现复位位报警,Z轴复位不过,一直处于不能做片的情况。过程:关掉机台电源,用手转动Z轴电机铜齿轮,使chuck升到顶部,开电复位后chuck下降到低位的机械位置后不往上升,并报警。按掉报警继续复位后再次出现报警,报警代码25-932-0002和25-86-0100,前期通过处理,每次可以正常做片几天,后面就一直复位就出现报警,没办法恢复,目前处于DOWN状态。 | ||
资格条件: | 处理过佳能FPA2500 I3光刻机故障经历 | ||
文件获取开始时间: | 2021-05-28 13:00 | 文件获取截止时间: | 2021-05-29 13:00 |
质疑截止时间: | 2021-05-29 17:00 | 澄清、修改、答疑截止时间: | 2021-05-29 20:00 |
递交文件截止时间: | 2021-05-30 13:00 | 开标时间: | 2021-05-30 16:00 |
邀请函附件: |
采购单位名称: | 深圳深爱半导体股份有限公司 | 采购单位地址: | *** |
联系人*** | *** | 联系电话*** | *** |