-
真空镀膜机（XF-WSBX-2100232）采购公告
- 信息发布日期：2021.05.19 标签： 浙江省招标 真空镀膜机招标
-
加入日期： 2021.05.19 招标业主： 浙江大学 地 区： 浙江省 内 容： 真空镀膜机（XF-WSBX-*******）采购公告 项目名称真空镀膜机项目编号XF-WSBX-******* 公告开始日期****-**-** **:**:**公告截止日期****-**-** **:**:** 采购单位****付款方式货到付款。境内供货的，甲方在到货验收后**日内向乙方一次 关键词： 真空镀膜机 -
招标公告正文
-
真空镀膜机（XF-WSBX-2100232）采购公告
项目名称 真空镀膜机 项目编号 XF-WSBX-2100232 公告开始日期 2021-05-19 09:42:48 公告截止日期 2021-05-26 11:00:00 采购单位 浙江大学 付款方式 货到付款。境内供货的，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总款项。 境外供货需要由甲方办理进口减免税业务的，也必须以人民币报价，且包含货送到用户指定实验室前的所有费用。甲方指定的外贸代理公司在甲方到货验收后15日内向乙方指定的外方公司一次性支付款项。支付方式在《技术参数及配置要求》栏内另有约定的，从其约定。 联系人*** 中标后在我参与的项目中查看 联系电话*** 中标后在我参与的项目中查看 签约时间要求 到货时间要求 成交后3天 预 算 ￥ 410,000.00 收货地址 浙江大学三门OLED产业研究中心-浙江省杭州市金色西溪11楼 供应商资质要求 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件采购清单1采购商品 采购数量 计量单位 所属分类 真空镀膜机 1 台 机电设备 预算 ￥ 410,000.00 技术参数及配置要求 真空室
真空室尺寸大致为500mm×600mm×650mm。
真空室应装有两个可以完全打开的门，前门为快开门，打开后可以对腔体内部进行维护；后面是推拉门，可以与手套箱连接。
腔体的极限真空要达到8x10-5Pa，在氮气保护下开门装卸基片和更换镀料后，重新抽真空需在10分钟内达到5x10-4Pa的真空度。
基片装置
四个磁力传动的旋转基片，最大尺寸为32*32mm，可自动识别的基片位置。基片架转速为0-60转/分（转速可调）。
蒸镀均匀度应优于±3%。
基片总挡板，气动控制，可通过触摸屏操作。
蒸发源
要求有14个蒸发源，其中束源炉式有机蒸发源12套，电极式金属蒸发源2套。
蒸发源都应配有独立的电动挡板，可单独打开或关闭，操作在触摸屏上完成。每个源应有独立防污罩，防止源与源之间的污染。
有机源加热温度均匀，寿命要超过1000小时，温度最高要能达到800℃。多源间不应有温度干扰。
金属源要采用水冷电极，蒸发舟尺寸为90mm。
有机蒸发电源控温精度应达到±1℃，温度调节需在触摸屏上完成。
金属蒸发电源应采用百分比功率控制，操作及切换需在触摸屏上完成。
膜厚测量
四通道膜厚仪，应达到以下要求：
QCM 输入 4
测量频率范围 Adjustable: 1.0 MHz minimum，6.5 MHz maximum
频率分辨率 ± 0.012 Hz
频率稳定性 ± 2 ppm total, 0 to 50C
厚度和速率分辨率/测量 ±0.015 ？
测量周期 0.10 to 1.0 s (adjustable)
存储 100 processes, 1000 layers, 50 films
数字输入 5 VDC non-isolated
输出信号 ± 0 to 10 VDC, 15 bits
控制输出 4
四个水冷膜厚探头应安装在蒸发源上方。
真空系统
真空分子泵应达到以下参数：
抽气速（L/S） 1300
压缩比 N2 ＞10E9， H2 ＞1×10E4
极限压强（Pa） ＜5×10E-7
电机转数（rpm） 24000
振动值 ≤0.1μm
启动时间（min） ＜5
冷却方式 水冷
水冷冷却水温度（℃） ≤20
机械泵 BRV16应达到以下参数：
抽气速率 m3/h 14.4
极限压力（Pa） ＜5×10E-1
电机功率（kw） 1.5
电压（三项） 380
所需油量（L） 1.5
进气接口 KF25
出去接口 KF25
重量（KG） 27
复合真空计，应达到大气---1x10E-5Pa的测量范围。
控制系统
应采用触摸屏控制，要求设备的所有操作均可在触摸屏上完成。
控制内容包括：
机械泵、分子泵、阀的启、停；
在缺水、过流、短路、漏电、误操作、断电等情况下的报警及保护系统；
基片台的旋转，基片的选择，基片总挡板的开关；
蒸发源的控制，蒸发源挡板的开关。
独立可更换衬板
真空室应配有衬板系统，便于清洗及更换，减小真空室的污染。售后服务 服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务年限:1;服务时限:报修后24小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品; 浙江大学2021-05-19 09:42:48
报价网址:http://www.zupc.zju.edu.cn
.
客户咨询:400-633-1888 信息发布电话:13030031390 传真号码:010-59367999 总部地址:北京市海淀区中关村大街11号7层(100190)
北京智诚风信网络科技有限公司 北京中招国联科技有限公司 北京中招国联咨询有限公司 北京国建伟业咨询有限公司 哈尔滨中招国联科技有限公司 石家庄易投网络科技有限公司
Copyright © 2005-2024 版权所有 招标网 京ICP证050708号-1 证书
京公网安备 11010802028602号
北京智诚风信网络科技有限公司 北京中招国联科技有限公司 北京中招国联咨询有限公司 北京国建伟业咨询有限公司 哈尔滨中招国联科技有限公司 石家庄易投网络科技有限公司
Copyright © 2005-2024 版权所有 招标网 京ICP证050708号-1 证书
京公网安备 11010802028602号